温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种台车快速降温设备，包括溅镀线体、升降机、冷却隧道、和冷却组件，所述溅镀线体包括缓冲腔体、转接腔体和镀区腔体；所述冷却隧道设置在溅镀线体的下方；所述升降机设置在溅镀线体的两个端头处，所述升降机...
该专利属于柏霆(苏州)光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过柏霆(苏州)光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。