具有半圆形门板的立式溅镀设备制造技术

本实用新型专利技术是一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，包括有：溅镀腔体，其内部设有治具设置部且于至少一侧设有门板转轴设置部及挡止部；半圆形门板，是枢设于该门板转轴设置部，其面对该溅镀腔体的一侧具有一开口且内部具有溅镀阴极设置部；门板闭锁单元，是设置于该半圆形门板上对应于该挡止部的位置；通过上述的结构，溅镀阴极可直接装、卸于该门板，也可加大门板开合角度，以便于溅镀靶材的更换。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特别是关于一种可将溅 镀阴极设置于能进行开闭的半圆形门板上，以便溅镀靶材装卸溅镀设备。
技术介绍
真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要技术，近年来已 经逐渐取代喷导电漆或电解电镀等方式，大量地应用在光电、通信、半导体等产业， 成为相当重要的表面处理技术。一般而言，真空溅镀设备可依照其溅镀靶材的设置方式而区分为立式溅镀设备及卧式溅镀设备，其中，现有技术的立式溅镀设备的溅镀靶材是设置于该溅镀设备 的腔体中央位置，当该溅镀靶材需要更换时，作业人员需要利用机具从该腔体的上 方将溅镀阴极吊取出来，再进一步将溅镀靶材予以更换，更换完毕后，仍必须再使 用机具的辅助将溅镀阴极置回该腔体中央，然而，溅镀阴极的吊取过程相当不便， 倘若溅镀阴极是以置放于该溅镀设备的门板内侧的方式取代设置于腔体内部中央的 方式，则其需要更换时，仅需打开门板更换即可，如此将可省却更换过程的不便。再者，目前现有技术溅镀设备的门板是为一长方体的构造，是由六片金属板体 所构成，其具有相当的重量并且应力是集中于该门板的角落，造成门板开合支点承受较大的重力负担，此外，由本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特征在于该结构包括有：　一溅镀腔体，其内部设有治具设置部且至少一侧的一边设有门板转轴设置部，相对于该门板转轴设置部的一边则设有挡止部；　半圆形门板，是枢设于该溅镀腔体的门板转轴设置部，其面对该 溅镀腔体的一侧具有一开口且内部具有溅镀阴极设置部；　门板闭锁单元，是设置于该半圆形门板上对应于该挡止部的位置。

【技术特征摘要】
1、一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特征在于该结构包括有一溅镀腔体，其内部设有治具设置部且至少一侧的一边设有门板转轴设置部，相对于该门板转轴设置部的一边则设有挡止部；半圆形门板，是枢设于该溅镀腔体的门板转轴设置部，其面对该溅镀腔体的一侧具有一开口且内部具有溅镀阴极设置部；门板闭锁单元，是设置于该半圆形门板上对应于该挡止部的位置。2、 根据权利要求l所述的具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特征在于，该半圆形 门板具有枢设于该门板转轴设置部的转轴与门板连...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚朝祯，
申请(专利权)人：钰衡科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]