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本实用新型是一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，包括有：溅镀腔体，其内部设有治具设置部且于至少一侧设有门板转轴设置部及挡止部；半圆形门板，是枢设于该门板转轴设置部，其面对该溅镀腔体的一侧具有一开口且内部具有溅镀阴极设置部；门板闭锁单元，是设置...
该专利属于钰衡科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过钰衡科技股份有限公司授权不得商用。

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