【技术实现步骤摘要】
用于磁盘溅射系统的磁性粒子捕集器
技术介绍
可以在磁盘驱动介质的制造中使用多种设备来形成不同的磁性层和非磁性层。在 典型的工艺中，玻璃衬底或铝衬底顺序地行进穿过许多工作台，在这些工作台处在不同的 条件下淀积不同的材料。例如，可以使用一个或多于一个溅射系统来将磁性和/或非磁性 材料溅射到介质上。在常规溅射工艺中，必须以有限的距离隔离用于介质的有源溅射工作台。如果没 有这种隔离，则在这些工作台之间可能发生电磁干扰，并且导致不均勻的溅射或甚至设备 失效。因此，溅射工作台在物理上是隔离的，或者如果位置上接近，则可能不同时使用这些 溅射工作台。实际上，在某些溅射系统中，可以在相邻的溅射工作台之间共享溅射部件，并 且当有源溅射工作台改变时，可以在它们之间往复移动溅射部件。Anelva公司(府中，日本)生产可以用来制造磁记录介质(例如硬盘)的设备。 Anelva供应标示为C-3040的单元。该单元包括主室、进出负载闭锁、衬底装载和卸载台以 及多个处理工作台。磁盘被送入系统中，被传送并且在处理工作台中被处理，并且接着被从 系统中送出，作为准备用作计算机应用中的硬盘的磁盘。描述这种系统的...
【技术保护点】
一种用于溅射系统的磁性粒子捕集器，其包括： 具有多个开口的滚筒覆盖板，所述多个开口被布置并且其尺寸被设计成容纳与所述溅射系统的机械传送机构关联的多个滚筒；以及 捕集磁性粒子的多个磁体，所述多个磁体在与所述多个开口接近的位置附连到所述滚筒覆盖板上。
【技术特征摘要】
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