用于校准盘抛光机的测力传感器的系统和方法技术方案

本申请提供用于执行设置在盘抛光机内的测力传感器的原地测试的系统和方法。一种此类系统包括附接至盘抛光机的部件的测力传感器托架，其中，所述测力传感器安装在所述测力传感器托架内并具有力测量表面。所述测力传感器托架可以经取向，使得所述力测量表面面向与重力方向大约相反的方向。所述系统还可以包括预选砝码和砝码支架，所述砝码支架经构造容纳预选砝码、安装至所述测力传感器托架并与所述测力传感器对齐。所述预选砝码可以放置在所述砝码支架内和所述测力传感器的力测量表面上。根据需要，可以测试、校准和/或替换所述测力传感器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
盘抛光/擦拭机器往往用来抛光/擦拭盘表面的两侧(诸如，经制造用于硬盘驱动器的磁记录系统的盘基片)，以确保去除颗粒和其它碎屑，从而使盘表面更清洁。在此过程中，盘被夹紧至心轴，在抛光过程中，所述心轴转动所述盘。在所述盘正在旋转时，带有非常精细研磨带的抛光单元的接触辊(垫)的两侧同时向所述盘表面移动，并且以一定的压力/力促使所述带表面抵靠所述盘表面以抛光所述盘表面的两侧。从而去除和/或减少在所述盘表面上的颗粒。在以类似的方式操作的后续处理步骤中，可以应用带有编织棉带的擦拭单元以去除被抛光盘表面上的碎屑，因此使得盘表面更光滑和清洁。
技术介绍
在抛光/擦拭过程中，用于过程质量的显著参数是由抛光/擦拭单元通过接触辊或垫施加在所述盘表面上的加载力。为了高产品产率和积极的测试结果，最好是所施加的加载力非常精确和一致。更具体而言，最好是面与面的加载力变化和机器与机器的加载力变化是最小的或不存在的。为了实现这一点，需要精确和重复地校准测量加载力的测力传感器。在常用的抛光/擦拭机器中，小的测力传感器被紧紧粘在测力传感器托架中，所述测力传感器托架以垂直方向附接至载荷力调节机构。测力传感器的控制和反馈线路通过各种机器部件路由，并因此隐藏在里面。因此，由于多种原因，可能难以校准测力传感器。首先，在抛光机中的空间限制往往不允许使用现有的测力传感器校准工具。其次，测力传感器体积小并往往垂直定位在抛光机中，使得在不拆卸它的情况下，校准极其困难或几乎不可能。同时，测力传感器被紧紧粘至测力传感器托架，因此拆卸它很可能会损坏测力传感器。第三，测力传感器控制/反馈线路被隐藏在机器内部，断开此线路是麻烦的。第四，有效作为测力传感器的力测量表面的测力传感器表面上的小突出部可能使得在所述突出部上平衡任何校准工具变得困难。还没有开发出有效解决这些问题的校准方法或工具。由于这些原因，用于这类测力传感器的校准方法是盘制造行业高度期望的。另外，期望可行的任何此类校准方法具有高精度和良好的可重复性。附图说明图1是用于进行盘抛光机的测力传感器的现场测试的校准系统的示意横截面视图，其中校准系统包含根据本专利技术的一个实施例的砝码支架、砝码和盘抛光机的各种部件。图2是根据本专利技术的一个实施例的图1的测力传感器校准系统的砝码的横截面视图。图3a是根据本专利技术的一个实施例的图1的测力传感器校准系统的砝码支架和砝码的顶部透视图，其中，所述砝码支架包括加工孔和调节螺钉且与所述砝码隔开。图3b是根据本专利技术的一个实施例的图1的测力传感器校准系统的砝码支架和砝码的底部透视图。图3c是根据本专利技术的一个实施例的在砝码已插入砝码支架的加工孔之后的图1的测力传感器校准系统的砝码支架和砝码的顶部透视图。图4a-4d根据本专利技术的一个实施例示出在用于测试盘抛光机内的测力传感器的原地过程期间的盘抛光机、砝码支架和砝码的一系列透视图。具体实施方式现参考附图，其示出用于执行设置在盘抛光机内的测力传感器的原地测试的系统和方法的实施例。所述系统可以包括附接至盘抛光机的部件的测力传感器托架，其中，待测试的测力传感器安装在所述测力传感器托架内并具有力测量表面。所述测力传感器托架可以经安置，使得所述测力传感器的力测量表面面向与重力方向大约相反的方向。所述系统还可以包括预选砝码和经构造容纳所预选砝码的砝码支架，其中，所述砝码支架经构造安装至所述测力传感器托架并与所述测力传感器对齐。一旦砝码支架已经安装和对齐，预选砝码可以安置在所述砝码支架内，并且在所述测力传感器的力测量表面上。根据需要，可以测试、校准和/或替换所述测力传感器。所述方法可以包括：提供附接至所述盘抛光机的部件的测力传感器托架，其中，所述测力传感器安装在所述测力传感器托架内并具有力测量表面，移动所述测力传感器托架，使得所述测力传感器的力测量表面面向与重力方向大约相反的方向，在所述测力传感器托架上对齐和安装砝码支架，在所述砝码支架内和所述测力传感器的力测量表面上安装预选砝码，并确定所述测力传感器的重量测量是否在所预选砝码的重量的预选公差内。在一些实施例中，如果所述测力传感器不在所预选的重量公差内，则可以替换所述测力传感器。所述系统和方法可以提供具有良好可重复性的快速、现场精确校准。在若干实施例中，所述砝码支架经构造在精确加工的圆孔中容纳校准砝码。这个孔保持所述砝码，并且还使所述砝码在所述测力传感器的突出部(例如，力测量表面)上平衡。所述精确加工孔和在突出部上的适当平衡的能力可以实现精确且可重复的加载力读数。根据本公开，本领域的技术人员应当明白，虽然各种示例性制造方法在本文参考磁记录盘来讨论，但是具有某些更改或没有更改的方法可以用于制造其它类型的记录盘，例如，光记录盘，诸如光盘(CD)和数字多功能盘(DVD)或磁光记录盘或铁电数据存储装置。图1是根据本专利技术的一个实施例的用于执行盘抛光机的测力传感器102的原地测试的校准系统100的横截面视图，其中，所述校准系统100包括砝码支架104、砝码106和盘抛光机的各种部件。砝码支架104包括圆孔104a，其被精确加工用于容纳砝码106。砝码支架104安装在抛光机的测力传感器托架108上。测力传感器托架108安装至盘抛光机的一个或多个其它部件110。测力传感器102被粘至测力传感器托架108内并从而有效嵌入所述测力传感器托架。测力传感器102通过传感器线路114耦接至数字指示器112。砝码106已被放置在砝码支架104的加工孔104a内，并且置于测力传感器102的测量表面102a上(例如，位于中心的小突出部的顶部表面上)。校准系统的用户可以从这个位置确定测力传感器102的所测重量是否在砝码106(例如，具有熟知和精确确定重量的预选砝码)的预选公差内。如果所测的重量不在预选公差内，则用户可以替换所述测力传感器。在一些实施例中，用户可代替地再次校准测力传感器102和/或数字指示器110以便具有基于测力传感器102的误差度的更精确的读数。图2是根据本专利技术的一个实施例的图1的测力传感器校准系统100的砝码106的横截面视图。砝码106经精确加工以具有适于与砝码支架104的加工孔104a间隙配合的高度(H)和直径(D)。在多个实施例中，砝码106具有支持另外砝码116的平坦或大致平坦的顶部表面。图3a是图1的测力传感器校准系统100的砝码支架104和砝码106的顶部透视图，其中根据本专利技术的一个实施例，砝码支架104包括加工孔104a和调节螺钉104b且与砝码106隔开本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于执行盘抛光机的测力传感器的原地测试的系统，所述系统包括：经构造抛光盘的盘抛光机，所述盘抛光机包括：测力传感器托架，其附接至所述盘抛光机的部件；以及其中，所述测力传感器安装在所述测力传感器托架内并包括力测量表面，以及其中，所述测力传感器托架经构造取向使得所述测力传感器的力测量表面面向与重力方向大约相反的方向；预选砝码；以及砝码支架，其经构造容纳所述预选砝码，其中所述砝码支架经构造安装至所述测力传感器托架并与所述测力传感器对齐，其中所述预选砝码经构造放置在所述砝码支架内和所述测力传感器的力测量表面上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.09.26 US 61/882,707;2014.03.07 US 14/200,6661.一种用于执行盘抛光机的测力传感器的原地测试的系统，所述系统包括：
经构造抛光盘的盘抛光机，所述盘抛光机包括：
测力传感器托架，其附接至所述盘抛光机的部件；以及
其中，所述测力传感器安装在所述测力传感器托架内并包括力测量表面，以及
其中，所述测力传感器托架经构造取向使得所述测力传感器的力测量表面面向与重力
方向大约相反的方向；
预选砝码；以及
砝码支架，其经构造容纳所述预选砝码，其中所述砝码支架经构造安装至所述测力传
感器托架并与所述测力传感器对齐，
其中所述预选砝码经构造放置在所述砝码支架内和所述测力传感器的力测量表面上。
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述砝码支架包括用于容纳所述预选砝码的孔。
3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述砝码支架的孔包括圆柱形的形状并经加工以
具有：
正负约15微米的圆度公差，
正负约15微米的圆柱度公差，
小于约1.6微米的平均表面粗糙度，以及
正负约15微米的相对于所述孔的底部表面的垂直度公差。
4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述预选砝码包括正负约0.1克的重量公差。
5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述砝码支架经成形使得所述砝码支架在对齐后
不接触所述测力传感器。
6.根据权利要求5所述的系统：
其中，所述砝码支架包括用于容纳所述预选砝码的孔；
其中，所述砝码支架的孔包括在所述孔的端部的沉头孔部，所述端部经构造毗邻所述
测力传感器安装；以及
其中，所述沉头孔部提供间隙以确保所述砝码支架在对齐后不接触所述测力传感器。
7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述预选砝码包括经构造支持第二预选砝码的基
本上平坦的顶部表面区域。
8.根据权利要求1所述的系统：
其中，所述预选砝码包括第一圆柱部和第二圆柱部；
其中，所述第一圆柱部的直径大于所述第二圆柱部的直径；
其中，所述第二圆柱部经构造以在所述孔内配合；以及
其中，所述第一圆柱部包括经构造支持第二预选砝码的基本上平坦的顶部表面区域。
9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述砝码支架包括调节螺钉，其用于使所述砝码
支架和所述测力传感器对齐并将所述砝码支架安装至所述测力传感器托架。
10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述砝码支架包括：
具有矩形块形状的主体，所述矩形块形状具有顶部表面和底部表面，其中，孔从所述顶
部表面延伸至所述底部表面，并且其中，所述顶部表面和底部表面中的每个都具有比所述
块形状的其它侧面的面积更大的表面面积；以及
沿所述底部表面的较长边缘从所述主体的底部表面延伸的两个侧壁，
其中，所述砝码支架的孔包括在所述底部表面的沉头孔部。
11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述砝码支架包括穿过所述两个侧壁中的一个
侧壁内的孔的调节螺钉，所述调节螺钉用于使所述砝码支架和所述测力传感器对齐并将所
述砝码支架安装至所述测力传感器托架。
12.根据权利要求1所述的系统，其中，所述盘抛光机还包括测力传感器指示器，其经构
造显示对应于施加至所述测力传感器的力测量表面的力的重量。
13.根据权利要求1所述的系统，其中，所述盘包括经构造存储信息的磁记录层。

【专利技术属性】
技术研发人员：J·赵，
申请(专利权)人：西部数据传媒公司，
类型：发明
国别省市：美国;US