真空蒸镀用掩模制造技术

提供一种真空蒸镀用掩模及有机ＥＬ显示器面板，该真空蒸镀用掩模能够调整蒸镀用掩模的张力，并且能够容易地从掩模框架上卸下蒸镀用掩模。该掩模是保持在掩模框架（１１）上的真空蒸镀用掩模（１），并包括：蒸镀用掩模主体（１０），安装在蒸镀用掩模主体（１０）的至少１个边上的导向部件（１２），在保持在掩模框架（１１）上时、通过导向部件（１２）向蒸镀用掩模主体（１０）施加规定的张力的张力施加机构（１４），和将上述导向部件与上述掩模框架相对于掩模表面沿垂直方向进行固定的固定机构（２１）。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空蒸镀用掩模及用其制造的有机电致发光(有机EL)显示器面板。
技术介绍
最近，随着彩色化的发展，有机EL等发光元件的象素的RGB最小节距分别微细化到50μm，人们也正在进一步探讨更小的象素。另一方面，其制造所用的蒸镀用掩模的大小为400mm～500mm左右，因有机EL等显示器面板的大型化，有进一步变大的趋势。这样，蒸镀用掩模变得大型化且其掩模节距变小。如果大型化的蒸镀用掩模的掩模节距变小，则蒸镀用掩模(マスク)本身的刚性下降，在将蒸镀用掩模固定到其保持部件的掩模框架上时，由于产生挠曲，所以需要在蒸镀用掩模上施加张力。因此，以前，在通过向蒸镀用掩模施加张力来消除挠曲的状态下，将蒸镀用掩模的端部利用粘接剂粘接在掩模框架上，或者通过焊接等进行固定，将蒸镀掩模的端部通过螺纹固定进行夹紧。此外，作为施加张力的手段，还有丝网印刷用金属掩模的框铺设中所用的被称为“打入法”的方法。该方法将金属掩模夹持固定在版框槽和嵌入该槽中的压紧件之间(参照特开平9-142053号)。但是，在用以前的方法将蒸镀用掩模固定在掩模框架上的方法中，由于固定后，调整蒸镀用掩模的张力比较困难，所以，蒸镀用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空蒸镀用掩模，是保持在掩模框架上的真空蒸镀用掩模，其特征在于，包括：蒸镀用掩模主体，安装在上述蒸镀用掩模主体的至少１个边上的导向部件，在将上述导向部件保持在上述掩模框架上时、通过上述导向部件向上述蒸镀用掩模主体 施加规定的张力的张力施加机构，和将上述导向部件与上述掩模框架相对于掩模表面沿垂直方向进行固定的固定机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安彦浩志，高桥晃，
申请(专利权)人：东北先锋电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]