一种晶圆盒存放架制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆盒存放架，它包括若干存放层，围杆、栏杆和隔杆，若干存放层之间通过所述围杆连接；每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，栏杆和隔杆安装在存放层的三条边上；每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，两个子存放部拼接成一存放层，两个折叠杆平行安装在所述两个子存放部拼接的位置；围杆为圆筒状，分若干节子围杆，子围杆节与节连接成围杆，子围杆的直径节节向上递减。本实用新型专利技术可将存放层的两个子存放部折叠起，缩小存放架的存储容量；围杆可收缩成一子围杆的高度实现存放架的完全折叠。该晶圆盒存放架的灵活性大可有效解决传统存放架存在的灵活性低和占用空间大的问题。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造配件的存储装备领域，尤其涉及半导体制造配 件晶圆盒存放架。背景技木在制造工厂中通常需要存储装备来存放制造配件。例如在半导体晶圆代工 厂中每天就需要大量的存放架来存放制造配件晶圆盒。晶圆盒内部是微洁净环 境，可用来存放对环境洁净度要求较高的晶圓。然而，目前使用的存放架均是 形状固定的存放架。然而在未存放晶圆盒时，这种存放架的体积较大占据洁净 制造车间较多的使用面积，造成洁净车间空间的浪费。当同时需要较多的晶圆 存放架时，形状固定的晶圆盒存放架不便于流通和运输，因此，容易造成晶圆 盒存放架使用效率低的问题。在一些较为特殊的情况，当需要尺寸相对较小的 存放架时，这些尺寸较小的存放架需向制造商重新定制，因此，不同程度增加 了存放架的成本。综上所述，传统的晶圆盒存放架灵活性较低，未使用的晶圆 存放架存在占用空间较大的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圓盒存放架以解决传统晶圓盒存放架存 在的灵活性较低的问题及未使用的晶圆存放架存在的占用空间较大的问题。为解决上述问题，本技术的晶圓盒存放架，它包括多个存放层，围杆、栏杆和隔杆，若干存放层之间通过围杆连接；每个存放层通过围杆均安装有栏 杆和隔杆，栏杆和隔杆安装在存放层的三条边上；每层存放层包括两个子存放 部和两个折叠杆，两个子存放部拼接成一存放层，两个折叠杆平行安装在两个 子存放部拼接的位置；围杆为圆筒状，分若干节子围杆，子围杆节与节连接成 围杆，子围杆的直径节节向上递减。子围杆与子围杆之间安装有螺栓和螺帽，通过螺栓和螺帽固定子围杆之间的连接。栏杆和隔杆以可拆卸的方式安装在存 放层的三条边。进一步地，围杆顶端的子围杆与与其下相邻的子围杆略倾斜后 进行连接。子存放部为相同尺寸的方形板块，该两个方形的板块拼接成的存放 层为方形。依据该晶圆盒存放架的存放层为方形，该晶圆盒存放架包括四个围 杆，四个围杆分别连接各个方形存放层的对应顶点。四个围杆的底部分别安装 有一车轮。位于与折叠杆垂直的存放层的边的两个顶点的围杆的底部套有水平 补偿杆。两折叠杆分别安装在方形存放层相平行的两边的中间位置，存放层的 折叠杆之间均相互平行。每个方形存放层上安装一个栏杆和两个隔杆。栏杆包 括一横梁和该横梁垂直的两个支撑杆，橫梁两端分别安装在两个围杆上，支撑 杆一端与支撑杆垂直连接，另一端与存放层垂直连接。隔杆安装在两个围杆上， 与同层存放层栏杆的横梁垂直且在同一水平面内。两个隔杆相互平行，通过围 杆安装在存放层相互平行的两个边沿上方。安装隔杆的围杆对应位置开有安装 隔杆的卡槽，隔杆安放在围杆的卡槽内。安装在存放层上的栏杆与栏杆之间相 互平行。晶圆盒存放架的顶层存放层栏杆的横梁两端具有插销，插销分别插入 两个围杆的顶端，而围杆对应安装其他存放层的栏杆的横梁的位置开有卡口， 其他存放层栏杆的橫梁安放在所述围杆的卡口内。与传统晶圆盒存放架相比，本技术的晶圓盒存放架存放层由两块子存放部拼接而成，且子存放部由折叠杆连接；且围杆是由节节直径递减的子围杆 接成；当存储晶圓盒存放架时，可将每层的存放层的两个子存放部折叠起，将 直径小的子围杆套入直径大的子围杆，这样就可将晶圆盒存放架折叠起便于存 储和运输，节约存储空间和运输空间。因此本技术的晶圆盒存放架可有效 解决传统晶圆盒存放架存在的灵活性较低和占用空间大的问题。以下结合附图和具体实施例对本技术的晶圆盒存放架作进一步详细具 体的说明。图l是本技术的晶圆盒存放架示意图。图2是本技术的晶圆盒存放架部分折叠示意图。图3是图2所示部分折叠后的晶圆盒存放架示意图。图4是图3所示的晶圓盒存放架改变成手推晶圆盒存放架的示意图。 图5是附图说明图1所示的晶圓盒存放架完全折叠后示意图。 图6是晶圆盒存》文架顶层存放层安装栏杆示意图。 图7是晶圆盒存放架的围杆的子围杆连接示意图。具体实施方式请参阅图1，本技术的晶圆盒存放架，它包括若干存放层，围杆，栏杆 和隔杆。以晶圆盒存放架具有三层存放层为例，若干存放层之间通过围杆连接。 每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，两个子存放部拼接成一存放层， 两个折叠杆平行安装在两个子存放部拼接的位置。例如第一层存放层包括两个 子存放部14和两个折叠杆13,同理，第二层存放层也包括两个子存放部24和 两个折叠杆23，第三层存放层包括两个子存放部34和两个折叠杆33。两个子 存放部14拼接成第一层存放层，两个折叠杆13安装在两个子存放部14拼接的 位置。同理，两个子存放部24拼接成第二层存放层，两个折叠杆23安装在两 个子存放部24拼接的位置。两个子存放部34拼接成第三层存放层，两个折叠 杆33安装在两个子存放部34拼接的位置。如图l所示，子存放部14、 24、 34 为相同尺寸的方形板块，两个方形的板块拼接成的三个存放层为方形。这三层 存放层每层的两折叠杆13/23/33分别安装在方形存^L层相平行的两边的中间位 置，存放层的折叠杆13/23/33之间均相互平行。依据该晶圓盒存放架的存放层为方形，该晶圆盒存放架包括四个围杆 41-44，四个围杆41-44分别连接各个方形存放层的对应顶点。围杆41-44为圆 筒状，分若干节子围杆，子围杆节与节连接成围杆，子围杆的直径节节向上递 减。请参阅图6所示围杆41的子围杆连接示意，实线所示的子围杆与虚线所示 的另一节子围杆之间安装有螺栓和螺帽8，通过螺栓和螺帽8固定子围杆之间的 连接。每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，栏杆和隔杆安装在存放层的 三条边上。第一层存放层通过围杆安装有栏杆11和隔杆12，第二层存放层通过 围杆安装有栏杆21和隔杆22，第三层存放层通过围杆安装有栏杆31和隔杆32。 每个方形存放层上均安装一个栏杆和两个隔杆。例如第一层存放层安装一栏杆 11和两个隔杆12，第二层存放层安装了一栏杆21和两个隔杆22，第三层存放6层安装了一栏杆31和两个隔杆32。每个栏杆11/21/31包括一横梁和该横梁垂直 的两个支撑杆，横梁两端分别安装在两个围杆上，支撑杆一端与支撑杆垂直连 接，另一端与存放层垂直连接。安装在三个存放层上的栏杆11、 21与31之间 相互平行。隔杆安装在两个围杆上，与同层存放层栏杆的横梁垂直且在同一水 平面内。例如，第一层存放层的隔杆12安装在围杆41和42上，与同层的栏杆 11的橫梁垂直且在同一水平面内，两个隔杆12相互平行，通过两个围杆41和42 (43和44)安装在第一层存放层相互平行的两个边沿上方。同理，第二层存方文 层的两个隔杆22和第三层存放层的两个隔杆32的安装方式同第一层存放层的 两个隔杆的安装方式相同。安装隔杆的围杆41-44对应位置开有安装隔杆的卡 槽，隔杆安放在围杆的卡槽内。四个围杆41-44的底部分别安装有一车轮6。晶 圓盒存放架的顶层存放层的栏杆的横梁，即第一层栏杆11的横梁两端具有插销， 插销分别插入两个围杆41和44的顶端。而围杆对应安装其他存放层的栏杆的 横梁的位置开有卡口，其他存放层栏杆21/31的横梁安放在所述围杆的卡口内。 在使用晶圓盒存放架时，晶圓盒存放架的示意图如图1所示，每层的存放 层可容纳较多的晶圆盒。图1虚线所示的栏杆和隔杆是可以拆卸的。当需要4交本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆盒存放架，其特征在于，它包括多个存放层，围杆、栏杆和隔杆，所述若干存放层之间通过所述围杆连接；每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，所述栏杆和隔杆安装在所述存放层的三条边上；每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，所述两个子存放部拼接成一存放层，所述两个折叠杆平行安装在所述两个子存放部拼接的位置；所述围杆为圆筒状，分若干节子围杆，所述子围杆节与节连接成围杆，所述子围杆的直径节节向上递减。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄臣，王明珠，康盛，赵国庆，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]