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本实用新型提供了一种晶圆盒存放架，它包括若干存放层，围杆、栏杆和隔杆，若干存放层之间通过所述围杆连接；每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，栏杆和隔杆安装在存放层的三条边上；每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，两个子存放部拼接成一存放层...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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