反应室压力检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种反应室压力检测装置，包括弯管、压力计、接头、连接管，连接管、接头、弯管、压力计以串联形式竖直安装在反应室的下方，在反应室的真空管路上装有调压阀，机台ＣＰＵ的信号线与压力计和调压阀相连，其特点是压力计与接头之间设有连接弯管，弯管数量为１～４根，每根通常呈９０°弯角。运行时，气态原材料经调节阀均匀导入到反应室参加反应，压力计将检测到的压力信号反馈给ＣＰＵ，由ＣＰＵ适时控制调压阀，从而实现反应室气体压力的控制及监测。该设计可有效避免固体生成物或其它固体颗粒直接进入压力计，充分保证压力计的精度不受影响，延长压力计的使用寿命，并可消除压力计读值偏移所产生的工艺变异风险。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
反应室压力检测装置，包括压力计、接头及连接管，连接管、接头、压力计以串联方式竖直安装在反应室的下方，在反应室的真空管路上装有调压阀，机台ＣＰＵ的信号线与压力计和调压阀相连，其特征在于：在压力计与接头之间设置有连接弯管。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周世峰，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]