一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置和方法制造方法及图纸

依据本发明专利技术的一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统。侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置，其中，电压采集装置分别与机台主体和控制系统通信连接，并且电压采集装置定时采集机台主体的电压信号，并将电压信号传送至控制系统；控制系统处理电压信号，并显示电压的变化趋势。本发明专利技术能够更精确地侦测到气相沉积机台的实际清理结束时间点，便于合理控制气相沉积机台的最佳清理时间。本发明专利技术同时公开一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法。

Device and method for detecting time of cleaning end of gas deposition machine platform

According to the invention, a device for detecting the end time of the cleaning stage of a gas deposition machine is provided, and the vapor deposition machine comprises a machine body and a control system connected with the communication. The device for detecting the time point of clearing the end of the air phase deposition machine includes the voltage acquisition device, in which the voltage acquisition device is connected to the main body of the machine and the control system, and the voltage acquisition device collects the voltage signal of the main body of the machine, and transfers the voltage signal to the control system; the control system handles the voltage signal. And show the trend of voltage change. The invention can detect the actual clearing time of the gas deposition machine more accurately and facilitate the reasonable control of the optimal cleaning time of the gas deposition machine. The invention also discloses a method for detecting the time for cleaning up the end of the gas deposition machine.

【技术实现步骤摘要】
一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置和方法
本专利技术涉及检测领域，特别涉及一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置和方法。
技术介绍
传统气相沉积机台在进行外气相沉积操作后通常会在沉积腔体以及沉积腔体的内部器件上残留有大量的颗粒状或薄膜状残渣，为了不影响下一次气相沉积的工作效率，需要对这些残渣进行清理。现有技术中通常使用高压N2进行吹扫清理，或者利用氟离子等能够与残渣发生反应的物质进行清理。然而，清理时间过短会导致沉积腔体无法清理干净；而清理时间过长则容易损坏沉积腔体内部的其他器件，从而影响这些器件的使用寿命或直接影响机台的气相沉积效果。清理结束时间点(cleanendpoint)是指机台本身判定清理结束所在的时刻，并且该清理结束时间点会根据清理方法、清理介质等实际清理条件的不同而发生变化。操作者通常会根据实际情况在该清理结束时间点的基础上适当延长清理时间，以实现最佳的实际清理效果。然而，传统气相沉积机台无法直接准确地确定机台实际的清理结束时间点，每当机台清理条件发生变化时，只能总结不同时间段的清理效果来估算清理结束时间点，最终得到的清理时间过于依赖操作者的经验，并且不够精确。因此急需对现有设备进行改进，以更直观、更准确地确定气相沉积机台的清理结束时间点。
技术实现思路
为了克服现有技术中所存在的缺陷，本专利技术基于气相沉积机台清理过程中电压的变化规律提供一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，该装置能够使用方便、准确地侦测到气相沉积机台的清理结束时间点。并且本专利技术进一步提供一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法。依据本专利技术的一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统，侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置，其中，电压采集装置分别与机台主体和控制系统通信连接，并且电压采集装置定时采集机台主体的电压信号，并将电压信号传送至控制系统；控制系统处理电压信号，并显示电压的变化趋势。进一步地，电压采集装置每隔2s采集一次电压信号。依据本专利技术的一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法，气相沉积机台包含机台主体和控制系统，方法包含以下步骤：步骤1：在气相沉积机台清理过程中使用电压采集装置定期采集机台主体的电压信号；步骤2：电压采集装置将采集到的电压信号传送至控制系统；步骤3：控制系统对电压信号进行处理，确定并显示清理结束时间点。进一步地，步骤1包含电压采集装置每隔2s采集一次电压信号。进一步地，步骤3包含：步骤3a：控制系统将电压信号转换为数字信号；步骤3b：控制系统依据数字信号绘制并显示电压的变化曲线；步骤3c：操作者依据电压变化曲线确定电压骤变点，并将电压骤变点确定为清理结束时间点。由于采用以上技术方案，本专利技术与现有技术相比(1)仅需在传统机台上加装电压采集装置，无需大规模改造，操作简单、成本低；(2)通过电压采集装置直接采集机台在清理过程中的电压信号，通过电压骤变点来确定实际的清理结束时间点，从而能够依据该清理结束时间点设定更合理的清理时间。附图说明图1为依据本专利技术的侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置的示意图；图2为本专利技术一实施例中机台主体电压随清理时间变化的趋势图；图3为依据本专利技术的侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法的流程图。附图标记说明：100机台主体，200控制系统，300电压采集装置。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。图1示出了依据本专利技术的侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置。侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置应用于包含机台主体100和控制系统200的气相沉积机台，其中机台主体100与控制系统200彼此通信连接，以方便控制系统200向机台主体100发送命令信息和接收并显示由机台主体100反馈回来的工况信息。如图1所示，侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含分别与机台主体100和控制系统200通信连接的电压采集装置300。其中，电压采集装置300定时采集机台主体100的电压信号，并将该电压信号传送至控制系统200。控制系统200对接收到的电压信号进行处理，并显示机台主机100的电压变化趋势。由于机台主体100的电压在清理结束时间点——即机台本身判定清理结束的时刻——会发生骤变，操作者可以通过控制系统200显示的电压变化趋势来观察电压骤变发生的时间，该时间即为清理结束时间点。操作者可根据实际情况在此基础上适当延长清理时间，以实现最佳的实际清理效果。在图2所示的实施例中，电压采集装置300每隔2s采集一次电压信号。机台主体100的电压在清理过程进行到105s时出现骤变，即达到清理结束时间点。操作者在清理过程进行到135s，即到达清理结束时间点后30s时结束清理。如图3所示，采用上述装置对气相沉积机台清理结束时间点进行侦测的方法包含以下步骤：步骤1：在气相沉积机台清理过程中使用电压采集装置300定期采集机台主体100的电压信号，例如每2s采集一次电压信号；步骤2：电压采集装置300将采集到的电压信号传送至控制系统200；步骤3：控制系统200对电压信号进行处理，确定并显示清理结束时间点。在本专利技术的实施例中，控制系统200对电压信号的处理可以具体包括：步骤3a：控制系统将电压信号转换为数字信号；步骤3b：控制系统依据数字信号绘制并显示电压的变化曲线；以及步骤3c：操作者依据电压变化曲线确定电压骤变点，并将电压骤变点确定为清理结束时间点。采用专利技术的装置及方法能够更精确地侦测到气相沉积机台的实际清理结束时间点，便于合理控制气相沉积机台的最佳清理时间，以实现确保良好的气相沉积效果和延长机台使用寿命的技术效果。以上所述实施例仅表达了本专利技术的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本专利技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本专利技术的保护范围。因此，本专利技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，所述气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统，其特征在于，所述侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置，其中，所述电压采集装置分别与所述机台主体和所述控制系统通信连接，并且所述电压采集装置定时采集所述机台主体的电压信号，并将所述电压信号传送至所述控制系统；所述控制系统处理所述电压信号，并显示所述电压的变化趋势。

【技术特征摘要】
1.一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，所述气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统，其特征在于，所述侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置，其中，所述电压采集装置分别与所述机台主体和所述控制系统通信连接，并且所述电压采集装置定时采集所述机台主体的电压信号，并将所述电压信号传送至所述控制系统；所述控制系统处理所述电压信号，并显示所述电压的变化趋势。2.根据权利要求1所述的侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，其特征在于，所述电压采集装置每隔2s采集一次所述电压信号。3.一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法，所述气相沉积机台包含机台主体和控制系统，其特征在于，所述方法包含以下步骤：步骤1：在所述气相沉积机...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹勇，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32