【技术实现步骤摘要】
一种测漏装置
本公开涉及漏液检测领域,并且更具体地涉及一种测漏装置。
技术介绍
APCVD机台装置内目前无漏水检测机制。当发生漏水情况时,不能及时发现,这可能会造成大量产品报废。由于APCVD机台内部温度较高,底部可达210℃,造成目前市场上已有的测漏装置无法在该环境下使用。
技术实现思路
为了克服上述问题,本技术提供一种可以检测机台装置内存在漏水情况的测漏装置。根据本技术的一方面,提供一种测漏装置,该测漏装置包括:绝缘层外壳,绝缘层外壳由耐高温的绝缘材料制成,绝缘层外壳一端为封闭结构并且在靠近封闭端的侧壁上开设有槽口;一对电极端子,一对电极端子位于绝缘层外壳内并且一对电极端子彼此不接触,每个电极端子的至少一部分区域从槽口外露;导线,导线将每个电极端子连接到接线插头。根据本技术的一个实施例,绝缘层外壳由聚四氟乙烯材料制成。根据本技术的一个实施例,电极端子由钛、金或银制成。根据本技术的一个实施例,绝缘层外壳为圆柱状,电极端子为棒状。根据本技术的一个实施例,绝缘层外壳为分体式结构,分体式结构包括容纳电极端子的头部以及容纳导线的部分,两部分之间通过两节旋转接头可拆卸地连接。根据本技术的一个实施例,与绝缘层外壳的封闭端相对的另一端通过耐高温胶密封。根据本技术的一个实施例,插头为四线接插头,每个电极端子分别连接两根导线。根据本技术的一个实施例,绝缘层外壳的直径为20mm,长度为300mm。由于采用以上技术方案,本技术的测漏装置能够在高温环境下使用,并且能够有效检测到机台壳体内存在漏水情况,实现对机台冷却水漏水状况的实时监控。同时,本技术的测漏装置易于拆装、耐用、抗老化,满足 ...
【技术保护点】
一种测漏装置,其特征在于,所述测漏装置包括:绝缘层外壳,所述绝缘层外壳由耐高温的绝缘材料制成,所述绝缘层外壳一端为封闭端并且在靠近封闭端的侧壁上开设有槽口;一对电极端子,所述一对电极端子位于所述绝缘层外壳内并且所述一对电极端子彼此不接触,每个所述电极端子的至少一部分区域从所述槽口外露;导线,所述导线将每个所述电极端子连接到接线插头。
【技术特征摘要】
1.一种测漏装置,其特征在于,所述测漏装置包括:绝缘层外壳,所述绝缘层外壳由耐高温的绝缘材料制成,所述绝缘层外壳一端为封闭端并且在靠近封闭端的侧壁上开设有槽口;一对电极端子,所述一对电极端子位于所述绝缘层外壳内并且所述一对电极端子彼此不接触,每个所述电极端子的至少一部分区域从所述槽口外露;导线,所述导线将每个所述电极端子连接到接线插头。2.根据权利要求1所述的测漏装置,其特征在于,所述绝缘层外壳由聚四氟乙烯材料制成。3.根据权利要求1所述的测漏装置,其特征在于,所述电极端子由钛、金或银制成。4.根据权利要求1所述的测漏装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:万照云,吕东生,郭斌斌,沈鑫,
申请(专利权)人:和舰科技苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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