一种具有自动吹气系统的机台技术方案

本实用新型专利技术公开了一种具有自动吹气系统的机台，该具有自动吹气系统的机台包括剥离装置、工作台和自动吹气系统。自动吹气系统包括传感器、继电器、电磁阀、CDA管路和气嘴。本实用新型专利技术的具有自动吹气系统的机台能够在每一片晶圆撕膜完成后都对工作台进行自动吹气清洁，能够及时、准确、高效的清洁机台的工作台，杜绝了晶圆因工作台上残留物而产生的报废，而且由于吹气系统是机械自动化装置，节约了人力成本，省时省力。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆的背面研磨和金属镀膜制程中的一种机台，具体涉及一种具有自动吹气系统的机台。
技术介绍
在晶圆的背面研磨和金属镀膜制程(BacksideGrindingandBacksideMetalDeposition，BGBM)中，首先为了保护晶圆(wafer)正面不在背面研磨和背面刻蚀的过程中受到损坏，会对晶圆正面贴覆蓝膜进行保护。在晶圆完成背面研磨和背面刻蚀后，需要在撕胶机台(ProtectionTapeRemover，PTR机台)上使用剥离装置(PeelingUnit)撕掉贴覆在晶圆正面的蓝膜，撕膜过程为：先将待撕膜的晶圆真空吸附至工作台上，使用剥离装置上的撕膜滚轮从左至右的将蓝膜从晶圆上撕下，使用机械手臂抓取撕膜完成的晶圆使其离开工作台，再进行下一片待撕膜晶圆的撕膜。在撕膜过程中，会有例如晶渣的残留物掉落在工作台上，由于此时待撕膜的晶圆厚度已经减薄至120μm，当将较薄的晶圆真空吸附至带有残留物的工作台上时，残留物会导致晶圆产生十字型裂痕，从而晶圆报废无法使用。现有技术中克服上述缺陷的方法是技术人员每日用无尘布擦拭工作台一次以除去工作台上的残留物，但是这样的方法无法做到在每一片晶圆撕膜完成后都对工作台进行清洁，这样就会导致存在工作台上留有残留物损坏下一片晶圆的可能性，无法有效降低晶圆的报废率，而且这样的方法既耗费人工又费时费力。因此，提供一种能够及时、准确、高效的对PTR机台的工作台清洁的装置是十分必要的。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的目的是提供一种具有自动吹气系统的机台。该具有自动吹气系统的机台能够及时、准确、高效的清洁机台的工作台，杜绝了晶圆因工作台上残留物而产生的报废，而且由于吹气系统是机械自动化装置，节约了人力成本，省时省力。为达到上述目的，本技术采用如下技术方案：一种具有自动吹气系统的机台，包含：剥离装置，剥离装置包括用于撕下晶圆的保护膜的撕膜滚轮；工作台，工作台设置在剥离装置下方，用于放置晶圆；自动吹气系统，自动吹气系统包括传感器、继电器、电磁阀、CDA管路和气嘴；传感器设置在剥离装置后部；继电器与传感器通过电路相连；继电器与电磁阀通过电路相连，并且继电器用于接通或断开电磁阀；电磁阀一侧连接到CDA管路，电磁阀另一侧连接到气嘴；CDA管路用于输送压缩干燥空气，并且当电磁阀接通时压缩干燥空气可以通过CDA管路从气嘴中吹出；气嘴设置在工作台上方用于向工作台吹扫压缩干燥空气。进一步地，其中传感器为反射式光感传感器，传感器用于感测撕膜滚轮是否回到起始位置，其中当传感器感测到撕膜滚轮回到起始位置时产生用于使继电器工作的信号。进一步地，其中继电器为延时继电器，其中当继电器工作时接通电磁阀，继电器的工作时间为1-2s。进一步地，其中继电器的工作时间为1.6s。进一步地，其中气嘴的形状为鸭嘴状。进一步地，其中气嘴的位置是与竖直方向呈30-45度夹角。进一步地，其中气嘴吹出压缩干燥空气的压力为60-80psi。由于采用以上技术方案，本技术与现有技术相比具有如下优点：本技术提供的机台在现有的机台上增加了自动吹气系统，采用机械自动化装置，克服了现有技术中使用人工进行擦拭清洁的缺陷，节约了人力成本，省时省力。本技术提供的机台的自动吹气系统能够在每一片晶圆撕膜完成后都对机台上的工作台进行自动吹气清洁，使得工作台上始终不存在例如晶渣的残留物，因此晶圆真空吸附至工作台上时不会产生十字裂痕，使得晶圆的报废率降为零。本技术提供的自动吹气系统中气嘴的形状为鸭嘴，使得吹气面更广，确保压缩干燥空气能够到达工作台的每个位置。本技术提供的自动吹气系统中气嘴的位置是与竖直方向呈30-45度夹角，以及气嘴吹出压缩干燥空气的压力为60-80psi，上述特殊设计的吹气压力和角度能够保证工作台上的残留物能够被吹离工作台。附图说明图1是本技术的具有自动吹气系统的机台的示意图；图2是本技术的具有自动吹气系统的机台自动清洁过程的流程图。附图标记说明：1CDA储气装置、2电磁阀、3气嘴、4继电器、5传感器、6撕膜滚轮、7工作台、R竖直方向具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。图1显示了本技术的具有自动吹气系统的机台，该机台包括剥离装置、工作台7和自动吹气系统。剥离装置包括用于撕下晶圆的保护膜的撕膜滚轮6。工作台7设置在剥离装置的撕膜滚轮6下方，撕膜时将待撕膜的晶圆放置在工作台7上并使用真空装置将待撕膜的晶圆吸附至工作台7上。撕膜滚轮6的撕膜过程为：撕膜滚轮6从起始位置(如图1中实线圆圈所示)沿动作箭头A1方向滚动，最终在结束位置(如图1中虚线圆圈所示)停住，此时将晶圆上的保护膜已撕下；撕膜滚轮6在结束位置停留一定时间，待机械手将撕膜完成的晶圆从工作台7上取走后，撕膜滚轮6沿着动作箭头A2方向滚动，最终回到起始位置。自动吹气系统包括传感器5、继电器4、电磁阀2、CDA(CompressedDryAir，压缩干燥空气)管路、CDA储气装置1和气嘴3；传感器5设置在剥离装置后部，且具体地传感器5设置在撕膜滚轮6的起始位置对应的剥离装置后部位置；继电器4与传感器5通过电路相连；继电器4与电磁阀2通过电路相连，并且继电器4用于接通或断开电磁阀2；电磁阀2一侧连接到CDA管路和CDA储气装置1，电磁阀2另一侧通过CDA管路连接到气嘴3；CDA管路用于输送保存在CDA储气装置1中的压缩干燥空气且当电磁阀2接通时压缩干燥空气可以通过CDA管路从气嘴3中吹出；气嘴3设置在工作台7上方用于向工作台7吹扫压缩干燥空气。传感器5用于感测撕膜滚轮6是否回到起始位置，其中当传感器5感测到撕膜滚轮6回到起始位置时产生用于使继电器4工作的信号。在一优选的实施例中传感器5可以是反射式光感传感器。继电器4为延时继电器。当继电器4接收到传感器5产生的上述信号时，继电器4工作并接通电磁阀2，继电器4的工作时间(即继电器4接通电磁阀2的时间)可以为1-2s；从上述描述可知，继电器4接通电磁阀2后，压缩干燥空气可以通过电磁阀2从气嘴3中吹出，即继电器4的工作时间就是气嘴3的吹气时间。优选地，继电器4的工作时间可以设置为1.6s。本技术将气嘴3的形状设置为鸭嘴状，由于鸭嘴特有的扁平形状，使得气嘴3的吹气面更广，确保压缩干燥空气能够到达工作台7的每个位置。而且气嘴3的吹气角度为以竖直方向R作为基准，气流方向(气嘴3倾斜度)与竖直方向R呈30-45度夹角；从气嘴3吹出压缩干燥空气的压力为60-80psi；上述特殊设计的吹气压力和角度能够保证工作台7上的例如晶圆晶渣的残留物被完全吹离工作台7。图2显示了本技术的具有自动吹气系统的机台的自动清洁过程。待撕膜的晶圆真空吸附在工作台7上，剥离装置进行撕膜。剥离装置的撕膜滚轮6的撕膜过程中，传感器5检测撕膜滚轮6是否回到起始位置：如果撕膜滚轮6没有回到起始位置，则传感器5不发出使继电器4工作的信号；如果撕膜滚轮6回到起始位置，则传感器5发出使继电器4工作的信号。继电器4接收信号后开始工作，接通电磁阀2。电磁阀2接通后将存储本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有自动吹气系统的机台，其特征在于，包含：剥离装置，所述剥离装置包括用于撕下晶圆的保护膜的撕膜滚轮；工作台，所述工作台设置在所述剥离装置下方，用于放置所述晶圆；自动吹气系统，所述自动吹气系统包括传感器、继电器、电磁阀、CDA管路和气嘴；所述传感器设置在所述剥离装置后部；所述继电器与所述传感器通过电路相连；所述继电器与所述电磁阀通过电路相连，并且所述继电器用于接通或断开所述电磁阀；所述电磁阀一侧连接到所述CDA管路，所述电磁阀另一侧连接到所述气嘴；所述CDA管路用于输送压缩干燥空气，并且当所述电磁阀接通时所述压缩干燥空气可以通过所述CDA管路从所述气嘴中吹出；所述气嘴设置在所述工作台上方用于向所述工作台吹扫所述压缩干燥空气。

【技术特征摘要】
1.一种具有自动吹气系统的机台，其特征在于，包含：剥离装置，所述剥离装置包括用于撕下晶圆的保护膜的撕膜滚轮；工作台，所述工作台设置在所述剥离装置下方，用于放置所述晶圆；自动吹气系统，所述自动吹气系统包括传感器、继电器、电磁阀、CDA管路和气嘴；所述传感器设置在所述剥离装置后部；所述继电器与所述传感器通过电路相连；所述继电器与所述电磁阀通过电路相连，并且所述继电器用于接通或断开所述电磁阀；所述电磁阀一侧连接到所述CDA管路，所述电磁阀另一侧连接到所述气嘴；所述CDA管路用于输送压缩干燥空气，并且当所述电磁阀接通时所述压缩干燥空气可以通过所述CDA管路从所述气嘴中吹出；所述气嘴设置在所述工作台上方用于向所述工作台吹扫所述压缩干燥空气。2.如权利要求1所述的具有自动吹气系统的机台，其特征在于，其中所述传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐希锋，张敏飞，杨春辉，陈露，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32