下载一种具有自动吹气系统的机台的技术资料

文档序号:15261610

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本实用新型公开了一种具有自动吹气系统的机台,该具有自动吹气系统的机台包括剥离装置、工作台和自动吹气系统。自动吹气系统包括传感器、继电器、电磁阀、CDA管路和气嘴。本实用新型的具有自动吹气系统的机台能够在每一片晶圆撕膜完成后都对工作台进行自动...
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