用于清洗晶圆盒底部的机器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种清洗机器，尤其涉及一种用于清洗晶圆盒底部的机器。这种用于清洗晶圆盒底部的机器，包括主工作台，所述主工作台的顶部设有用于擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台内还设有用于驱动所述清洗部件的驱动部件，所述主工作台的内部对应清洗部件的下方设有排气装置。本实用新型专利技术，结构简单，使用方便，通过转动的清洗部件，可以将附着于晶圆盒底部内壁的塑料小颗粒擦拭下来，然后通过排气装置将晶圆盒底部的空间内的塑料小颗粒抽排出去，从而彻底将晶圆盒底部内的塑料小颗粒清除，防止这些塑料小颗粒进入晶圆盒污染晶圆致使晶圆良率降低。同时，也避免了机台由于要清洗相关部件而不得不停机所造成的损失。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，包括主工作台，所述主工作台的顶部设有用于擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台内还设有用于驱动所述清洗部件的驱动部件，所述主工作台的内部对应清洗部件的下方设有排气装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：田华，桂鹏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]