一种晶舟的辅助装置，其构造至少包括一导轨框，该导轨框具有一第一导轨槽板、一第二导轨槽板及至少一连接臂，该导轨框通过各连接臂而分别连接第一导轨槽板及第二导轨槽板的侧边，且第一导轨槽板及第二导轨槽板在对应于一晶舟的各个晶舟沟槽的位置分别设有一导轨槽，且各个导轨槽的一端的宽度向导轨槽中间呈现渐缩的态样，而可将导轨框的各个导轨槽分别串接其所对应的晶舟沟槽。通过本发明专利技术的晶舟辅助装置，使用者由晶舟取放晶圆框架时，可通过导轨槽的宽度来导引晶圆框架，使晶圆不至于因取出或置入的角度而造成碰触、摩擦或刮伤。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关于一种晶舟辅助装置，特别是有关于一种运送晶圆框 架的辅助装置，使得晶圆框架于取出或置入晶舟时不会造成晶圆的碰 触、摩擦或刮伤。
技术介绍
经研磨后的晶圆，将其贴附于晶圆框架(wafer frame)上，并置 于晶舟(或称为晶圆匣盒，cassette)内运送，以进行后续制程，如切 割(dicing)及晶粒(die)取出(pick-up)等。图IA显示晶圆框架100 的正面图，晶圆101通过粘胶片(wafer sheet/tape) 102贴附于晶圆框 架100的表面。图1B、图1C分别显示晶舟103的俯视图及立体图。 晶舟103两侧的内侧壁104具有多组相对称的晶舟沟槽(slot)105，晶圆 框架100即顺着这些晶舟沟槽105而之一滑置于晶舟103内。当所有 晶圆框架100都置入晶舟103后，操作人员即将旋转把手106旋转拉 出并藉以提起及运送晶舟103。又，在进行切割(dicing)作业前后，通常需要由操作人员以手动 方式将晶圆框架IOO取出作抽片检査。然而，由于晶舟沟槽105的间 距或沟槽宽度远较晶圆框架100的厚度来得大(通常约为三倍大)， 因此在取出或置入晶圆框架100的过程中，容易与相邻晶圆框架100 碰触、摩擦，造成晶圆101的刮伤。鉴于此，在不进行重新设计、制 造晶舟的成本考量下，亟需提出一种装置，用以辅助晶圆框架于抽取 及置入晶舟时，避免晶圆受到碰触、摩擦及刮伤。
技术实现思路
有鉴于上述传统技术的诸多缺陷，本专利技术的目的之一在于提出一种晶舟辅助装置，使得晶圆框架于取出或置入晶舟时不会造成晶圆的 碰触、摩擦、或刮伤。根据上述的目的，本专利技术提供一种晶舟辅助装置，至少包括一导 轨框，该导轨框包括有一第一导轨槽板、 一第二导轨槽板及至少一连 接臂，该导轨框通过各连接臂而分别连接第一导轨槽板及第二导轨槽 板的侧边，且第一导轨槽板及第二导轨槽板在对应于一晶舟的各个晶 舟沟槽的位置分别设有一导轨槽，且各个导轨槽之一端的宽度向导轨 槽中间呈现渐縮的态样，而可将导轨框的各个导轨槽分别串接其所对 应的晶舟沟槽。其中，该晶舟辅助装置包括有一底座、 一侧壁及一枢接器；该底 座用以定位该晶舟，该侧壁设于底座的侧边，而该枢接器的一端连接 该侧壁，其另一端连接该导轨框，使得该导轨框得以相对该侧壁旋转， 而可将该导轨框的各个导轨槽分别串接其所对应的晶舟沟槽。其中，该枢接器的另一端可选择连接该第一导轨槽板、该第二导 轨槽板及该连接臂的其中之一者。其中，该晶舟辅助装置尚包括有一斜度调整机构，其与该底座相 互组配，而用以调整该底座与该斜度调整机构的相对角度。其中，该晶舟辅助装置的斜度调整机构包括有至少一调整壁，各 个该调整壁的一端枢接该底座，而可相对该底座旋转。其中，该调整壁的另一端设有一调整槽，且该底座设有一可枢穿 该调整槽的调整螺杆，并通过一调整螺丝与该调整螺杆相互组配，而 可固定该底座与该斜度调整机构的相对角度。其中，该导轨槽一端的宽度与该晶舟沟槽的宽度一致，而该导轨槽的另一端的宽度向导轨槽中间呈现渐縮的态样。其中，该导轨槽中间的宽度小于该晶舟沟槽的宽度。其中，该晶舟辅助装置尚包括有一支撑块，其设于该侧壁的一面， 用以限制该导轨框的旋转角度。通过上述技术特征，本专利技术的晶舟辅助装置，由晶舟取放晶圆框 架时，可通过导轨槽的宽度来导引晶圆框架，使晶圆不至于因晃动而 碰触、摩擦或刮伤。附图说明图1A显示一晶圆框架的正视图。 图1B显示一晶舟的俯视图。图1C显示一 晶舟的立体图。图2A显示本专利技术一实施例晶舟辅助装置的立体示意图。 图2B显示图2A的实施例定位一晶舟的立体示意图。 图2C显示图2B的导轨框旋转至晶舟上方的立体示意图。 图2D显示导轨框旋转至晶舟上方时，导轨框的导轨槽与晶舟沟槽 的放大示意图。图中符号说明 100晶圆框架 101晶圆 102黏胶片 103晶舟 104内侧壁 105晶舟沟槽 106旋转把手 201晶舟辅助装置 202第一导轨槽板 203第二导轨槽板 204导轨槽 205连接臂 206侧壁 207导轨框 208支撑块 209底座 210调整壁 211调整螺杆 212调整槽 213枢接器具体实施方式本专利技术的一些实施例会详细描述如下。然而，除了详细描述外， 本专利技术还可以广泛地在其它的实施例施行，且本专利技术的范围不受限定， 其以之后的专利范围为准。再者，在本说明书中，各元件的不同部分 并没有依照尺寸绘图。某些尺度与其它相关尺度相比已经被夸张，以 提供更清楚的描述，利于本专利技术的理解。图2A为本专利技术一实施例晶舟辅助装置201的立体示意图，图2B 是图2A的实施例定位一晶舟的立体示意图；如图所示，其主要构造至 少包括有一底座209用以定位一设有复数个晶舟沟槽105的晶舟103; —侧壁206，设置于底座209之一侧边； 一导轨框207，该导轨框207 包括有一第一导轨槽板202、一第二导轨槽板203及至少一连接臂205， 通过各连接臂205而分别连接第一导轨槽板202及第二导轨槽板203 的侧边，且第一导轨槽板202及第二导轨槽板203在对应于各个晶舟 沟槽105的位置分别设有一导轨槽204;以及一枢接器(如图2C所示的 213)，其一端连接侧壁206，而另一端连接导轨框207，使得该导轨框 207得以相对侧壁206旋转，而可将导轨框207的各个导轨槽204分别串接其所对应的晶舟沟槽105。该枢接器213连接导轨框207的位置可 选择连接第一导轨槽板202、第二导轨槽板203及连接臂205的其中之 一者，均可达到同样的效果，使得导轨框207得以相对侧壁206旋转。 另外可包括有一支撑块208设置于侧壁206之一面，用以限制导轨框 207的旋转角度，例如当导轨框207被旋转掀起而成直立状时(如图 2A所示)，导轨框207可受到支撑块208的支撑，以免旋转过度。本专利技术的晶舟辅助装置，尚可包括有一斜度调整机构，其与底座 209相互组配，而用以控制底座209与斜度调整机构的相对角度。其中 斜度调整机构包括有至少一调整壁210，各个调整壁210之一端枢接于 底座209，而可相对底座209旋转。其中调整壁210的另一端设有一调 整槽212，且底座209设有一可枢穿调整槽212的调整螺杆211，并通 过一调整螺丝与调整螺杆211相互组配，而可加强固定底座209与斜 度调整机构的相对角度。斜度调整机构主要是让该晶舟103上的晶圆 框架100能同时靠抵该晶舟构槽105的同一边，使各晶圆框架100的 相互间距可以保持最大间距，有效防止各晶圆框架100互相碰触、摩 擦而导致晶圆101刮伤的状况。图2C显示图2B的导轨框207旋转至晶舟103上方的立体图，此 时，晶圆框架100即可经由导轨框207的导轨槽204上方插入；接着 滑入晶舟103的晶舟沟槽105。相反的，当晶圆框架100欲从晶舟103 内取出时，则可通过导轨槽204的导引，由导轨槽204上方取出。图2D显示导轨框207旋转至晶舟103上方时，导轨框207的导轨 槽204与晶舟沟槽105的放大示意图。设置于导轨框207的各导轨槽 204大致呈平行排列，各个导轨槽204朝向晶舟沟槽105的一端的宽度 与晶舟沟槽105的宽度相同，可使晶圆框架100顺利滑入晶舟沟槽本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种晶舟辅助装置，至少包括有：一导轨框，其包括有一第一导轨槽板、一第二导轨槽板及至少一连接臂，其通过各该连接臂而分别连接该第一导轨槽板及该第二导轨槽板的侧边，且该第一导轨槽板及该第二导轨槽板在对应于复数个设置于一晶舟的晶舟沟槽的位置 上分别设有一导轨槽，而各个该导轨槽之一端的宽度向该导轨槽中间呈现渐缩的态样，可将该导轨框串接于该晶舟，藉以令该导轨槽串接其所对应的该晶舟沟槽。
【技术特征摘要】
1.一种晶舟辅助装置，至少包括有一导轨框，其包括有一第一导轨槽板、一第二导轨槽板及至少一连接臂，其通过各该连接臂而分别连接该第一导轨槽板及该第二导轨槽板的侧边，且该第一导轨槽板及该第二导轨槽板在对应于复数个设置于一晶舟的晶舟沟槽的位置上分别设有一导轨槽，而各个该导轨槽之一端的宽度向该导轨槽中间呈现渐缩的态样，可将该导轨框串接于该晶舟，藉以令该导轨槽串接其所对应的该晶舟沟槽。2. 如权利要求l所述的晶舟辅助装置，尚包括有一底座、 一侧壁及一枢接器；其中，该底座用以定位该晶舟，该侧壁设于底座的侧边， 而该枢接器之一端连接该侧壁，其另一端连接该导轨框，使得该导轨 框得以相对该侧壁旋转，而可将该导轨框的各个该导轨槽分别串接其 所对应的该晶舟沟槽。3. 如权利要求2所述的晶舟辅助装置，其中该枢接器的另一端可 选择连接该第一导轨槽板、该第二导轨槽板及该连接臂的其中之一者。4. 如...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗志仁，戴碧辉，邹俊杰，陈秀怡，蒋文国，
申请(专利权)人：京元电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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