自动预烧测试架构制造技术

本公开是有关于一种自动预烧测试架构，包括有多个预烧炉体、一进出料模块、一料盘储放架、一载盘储放架以及一自动运载模块。自动运载模块包括一料盘自动导引车、一载盘自动导引车以及一输出入自动导引车，料盘自动导引车运载于料盘储放架与进出料模块之间，载盘自动导引车运载于载盘储放架、进出料模块与输出入自动导引车之间，输出入自动导引车运载于多个预烧炉体之间。因此，全自动化的作业流程包括自动取放半导体组件、自动安装或卸除预烧板以及自动运载预烧板、载盘及料盘等作业，比起人工操作可大幅提升产量，并支持较大体积重量的高功率半导体组件测试。功率半导体组件测试。功率半导体组件测试。

【技术实现步骤摘要】
自动预烧测试架构


[0001]本公开为关于一种自动预烧测试架构，尤指一种适用于半导体组件预烧测试的自动预烧测试架构。

技术介绍

[0002]随着科技的进步以及工业上的需要，使得半导体设计公司(IC Designhouse)必须设计及制造更复杂的芯片，例如整合多颗不同功能的芯片于一颗IC的SOC芯片(System on Chip)或是高运算及控制能力的可程序化逻辑门阵列(FPGA)芯片或5G通讯芯片等，这些高性能的芯片有共同的特色，就是须要供应大电流才能使其工作。由于大电流会产生大的功率消耗，因此这些芯片均会产生高热，也因此使得这些芯片必须常常在高温下工作。
[0003]为了确保上述高性能芯片能够在制造过程中筛选出正常的芯片，所以在半导体厂完成芯片制造后，都会进行可靠度的测试，以目前所使用的方法而言，都是对这些芯片进行环境测试，例如芯片的操作寿命测试(Operational Life Tests；OLTs)，这种测试方法是将这些芯片放入一个高温炉体中，并以一些仿真的控制信号输入芯片，以仿真芯片在高温环境下执行这些控制讯号的状况，其目的是希望在制造过程中经由这些测试过程来发现不良品，以确保每一颗制造出的芯片都能符合设计地正常工作。
[0004]然而，由于高功率预烧芯片取放的动作繁琐，且预烧板的尺寸和重量皆大幅增加，目前多为人工或半自动作业，而人工操作需投入大量人力，效率低的同时也存在更多安全风险。此外，现行设备商所开发的自动化预烧炉在进行安装或卸除预烧板的作业时非常耗用人力，而整体自动化预烧系统体积庞大，无尘室空间效率不佳，且有低单位小时产能、低效益、板数过少、后续扩充性不佳等问题。
[0005]专利技术人缘因于此，本着积极公开的精神，积极思考一种可以解决上述问题的自动预烧测试架构，几经研究实验终至完成本公开。

技术实现思路

[0006]鉴于上述，本公开提供一种自动预烧测试架构，通过全自动化的作业流程，包括自动取放半导体组件、自动安装或卸除预烧板以及自动运载预烧板、载盘及料盘等作业，比起人工操作可大幅提升产量，并支持较大体积重量的高功率半导体组件测试，此外人员只需到料盘储放架取放料盘，后续作业皆为自动化流程，故可取代大部分的人工而避免工安意外的发生。
[0007]为达成上述目的，本公开的第一实施例的自动预烧测试架构包括有多个预烧炉体、一进出料模块、一料盘储放架、一载盘储放架以及一自动运载模块。多个预烧炉体用以装载预烧板(Burn
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in Board，BIB)，进行预烧测试；进出料模块用以交换半导体组件，使半导体组件可由料盘装载至载盘上，或由载盘装载至料盘上。料盘储放架用以储放料盘(Tray)，载盘储放架用以储放载盘(Carrier)。自动运载模块是使用多台自动导引车(Automated Guided Vehicle，AGV)进行运作，其可照预先设定的路线自动行驶或承载对象
至指定地点，再透过自动或人工方式卸除对象的运作载具，包括一料盘自动导引车、一载盘自动导引车以及一输出入自动导引车，料盘自动导引车运载于料盘储放架与进出料模块之间，载盘自动导引车运载于载盘储放架、进出料模块与输出入自动导引车之间，输出入自动导引车运载于多个预烧炉体之间。
[0008]本公开的第二实施例的自动预烧测试架构包括有多个预烧炉体、一进出料模块、一料盘储放架、一载盘储放架以及一自动运载模块。预烧炉体用以装载预烧板，进行预烧测试。进出料模块用以交换半导体组件，使半导体组件可由料盘装载至载盘上，或由载盘装载至料盘上。料盘储放架用以储放料盘，载盘储放架用以储放载盘。自动运载模块包括一料盘自动导引车以及一载盘自动导引车，料盘自动导引车运载于料盘储放架与进出料模块之间，载盘自动导引车运载于载盘储放架、进出料模块与预烧炉体之间。
[0009]本公开的第三实施例的自动预烧测试架构包括有多个预烧炉体、一进出料模块、一料盘储放架以及一自动运载模块。多个预烧炉体用以装载预烧板，进行预烧测试；进出料模块用以交换半导体组件，使半导体组件可装载至料盘上，或由料盘中取出。料盘储放架用以储放料盘。自动运载模块是使用多台自动导引车进行运作，其可照预先设定的路线自动行驶或承载对象至指定地点，再透过自动或人工方式卸除对象的运作载具，包括一料盘自动导引车以及一输出入自动导引车，料盘自动导引车运载于料盘储放架、进出料模块与输出入自动导引车之间，输出入自动导引车运载于多个预烧炉体之间。
[0010]本公开的第四实施例的自动预烧测试架构包括有一预烧炉体、一进出料模块、一料盘储放架以及一自动运载模块。预烧炉体用以装载预烧板，进行预烧测试。进出料模块用以交换半导体组件，使半导体组件可装载至料盘上，或由料盘中取出。料盘储放架用以储放料盘。自动运载模块包括一料盘自动导引车，料盘自动导引车运载于料盘储放架、进出料模块与预烧炉体之间。
[0011]通过上述四种设计，本公开以单板启动取代已知整炉启动的预烧架构，亦即本公开预烧炉体在取放半导体组件的过程中，以每一预烧板为单位，在预烧炉体旁直接将半导体组件取放完成后即可进行预烧测试作业；相对地，有别于现行需以人工将半导体组件取放至每一预烧板上且全数完成后，再将预烧板分别安装至预烧炉体后，方可进行整炉的预烧测试作业，故本公开自动预烧测试架构可避免如现行作业需频繁拆卸及安装预烧板，有效提升系统的稳定性及使用寿命，增加预烧测试设备的竞争力。
[0012]上述输出入自动导引车可包括一预烧板装卸除单元，用以安装或卸除预烧板，以配合不同半导体组件的预烧测试需求，自动运载模块可更包括一预烧板自动导引车，该预烧板自动导引车用以运载预烧板至预烧板装卸除单元。因此，透过预烧板装卸除单元及预烧板自动导引车的设置，可将待更换的预烧板由预烧板自动导引车运载至预烧板装卸除单元，并将预烧炉体原装载的预烧板由预烧板自动导引车从预烧板装卸除单元运载至仓库存放，以达到由预烧板自动导引车自动传送预烧板的效果。
[0013]上述预烧炉体可包括一预烧板装卸除单元，用以安装或卸除预烧板，以配合不同半导体组件的预烧测试需求，自动运载模块可更包括一预烧板自动导引车，该预烧板自动导引车用以运载预烧板至预烧板装卸除单元。藉此，透过预烧板装卸除单元及预烧板自动导引车的设置，可将待更换的预烧板由预烧板自动导引车运载至预烧板装卸除单元，并将预烧炉体原装载的预烧板由预烧板自动导引车从预烧板装卸除单元运载至仓库存放，以达
到由预烧板自动导引车自动传送预烧板的效果。
[0014]上述自动运载模块可更包括一预烧板自动导引车，自动预烧测试架构可更包括一避车区，该避车区设置于载盘储放架与进出料模块间或进出料模块中，载盘自动导引车与预烧板自动导引车的运载路线可部分重叠。因此，当多台载盘自动导引车及预烧板自动导引车欲同时移动，可先行将载盘自动导引车移动至避车区，以空出道路让预烧板自动导引车或其他载盘自动导引车通过。上述自动运载模块可更包括一预烧板自动导引车，自动预烧测试架构可更包括一避车区，该避车区设置于料盘储放架与进出料模块间或进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动预烧测试架构，包括有：多个预烧炉体，用以装载预烧板，进行预烧测试；一进出料模板，用以交换半导体组件；一料盘储放架，用以储放料盘；一载盘储放架，用以储放载盘；以及一自动运载模板，包括一料盘自动导引车、一载盘自动导引车以及一输出入自动导引车，该料盘自动导引车运载于该料盘储放架于该进出料模板之间，该载盘自动导引车运载于该载盘储放架、该进出料模板与该输出入自动导引车之间，该输出入自动导引车运载于该多个预烧炉体之间。2.一种自动预烧测试架构，包括有：一预烧炉体，用以装载预烧板，进行预烧测试；一进出料模块，用以交换半导体组件；一料盘储放架，用以储放料盘；一载盘储放架，用以储放载盘；以及一自动运载模块，包括一料盘自动导引车以及一载盘自动导引车，该料盘自动导引车运载于该料盘储放架与该进出料模块之间，该载盘自动导引车运载于该载盘储放架、该进出料模块与该预烧炉体之间。3.一种自动预烧测试架构，包括有：多个预烧炉体，用以装载预烧板，进行预烧测试；一进出料模块，用以交换半导体组件；一料盘储放架，用以储放料盘；以及一自动运载模块，包括一料盘自动导引车以及一输出入自动导引车，该料盘自动导引车运载于该料盘储放架、该进出料模块与该输出入自动导引车之间，该输出入自动导引车运载于该多个预烧炉体之间。4.一种自动预烧测试架构，包括有：一预烧炉体，用以装载预烧板，进行预烧测试；一进出料模块，用以交换半导体组件；一料盘储放架，用以储放料盘；以及一自动运载模块，包括一料盘自动导引车，该料盘自动导引车运载于该料盘储放架、该进出料模块与该预烧炉体之间。5.根据权利要求1或3所述的自动预烧测试架构，其中，该输出入自动导引车包括一预烧板装卸除单元，该自动运载模块更包括一预烧板自动导引车，该预烧板自动导引车用以运载该预烧板至该预烧板装卸除单元。6.根据权利要求2或4所述的自动预烧测试架构，其中，预烧炉体包括一预烧板装卸除单元，该自动运载模块更包括一预烧板自动导引车，该预烧板自动导引车用以运载该预烧板至该预烧板装卸除单元。7.根据权利要求1或2所述的自动预烧测试架构，其中，该自动运载模块更包括一预烧板自动导引车，该自动预烧测试架构更包括一避车区，该避车区设置于该载盘储放架与该进出料模块间或该进...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹勋亮，蔡宗益，伍展佑，张祐嘉，
申请(专利权)人：京元电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：