非挥发性存储器及其制造方法与操作方法技术

技术编号:3236736 阅读:182 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种非挥发性存储器,是由基底、选择栅极、掺杂区、控制栅极与浮置栅极所构成的。基底中具有一沟槽。选择栅极设置于沟槽中,且选择栅极的表面低于基底表面。掺杂区设置于沟槽下方的基底中。控制栅极设置于选择栅极上。浮置栅极设置于选择栅极与控制栅极之间,且位于沟槽顶端两侧的边角处。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种非挥发性存储器,包括:基底,该基底中具有至少沟槽;至少选择栅极,设置于该沟槽中,且该选择栅极的表面低于该基底表面;至少第一掺杂区,设置于该沟槽下方的该基底中;控制栅极,设置于该选择栅极上;以及多个浮置栅极,设置于该选择栅极与该控制栅极之间,分别位于各该沟槽顶端两侧的边角处。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王炳尧杨立民
申请(专利权)人:力晶半导体股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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