【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微电子
的器件，具体是一种基于微电子加工技术的电离气体传感器微阵列结构。
技术介绍
基于气体分子在电场中的电离与由此而产生的带电粒子输运为机理的传感器，可以用于传感不同气体成分与含量信息，相对于其他类型的传感器，这种传感器的主要优点在于它有很高的选择性。但使用传统加工工艺和电极材料，并且基于电容结构的此类传感器却有非常多的缺陷，主要是由于工作电压过高，通常达到千伏左右，造成使用安全性低、需要一个相对复杂昂贵的高压电路、无法加工实现便于携带的微器件、成本高、难于实现传感器阵列化，因此，基于这一原理的传感器很难被用于作为基于大规模微传感器阵列的智能传感器系统的基础敏感元器件。因此，基于分子电离原理的气体传感器是有其传感原理上的相对优势的，但必须设法降低工作电压。经对现有技术的文献检索发现，Zhang Yong等人在“Sensors and Actuators A(传感器与执行器A)”2005年第125期报道的题为“Study of improvingidentification accuracy of carbon nanotube film...
【技术保护点】
一种基于微电子加工技术的电离气体传感器微阵列结构，包括，衬底（１）、微电极阵列（２）、微电极条单元（３）、传感器单元（４），其特征在于，所述的微电极阵列（２）设置在衬底（１）上，微电极阵列（２）包括多个微电极条单元（３），每对相邻阴阳电极条构成侧壁电极对，作为产生可控电场的结构，从而构成一个传感器单元（４），多个传感器单元组成微电极阵列，依据各个传感器单元内的相邻阴阳电极条的平面几何形状与间距是否相同，传感器单元分为等同单元和相异单元，等同单元是指两个单元内的相邻阴阳电极条的平面几何形状与间距完全相同，相异单元是指两个单元内的相邻阴阳电极条的平面几何形状或者间距不同。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：侯中宇，蔡炳初，张亚非，徐东，魏星，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。