【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电子机械系统MEMS的
，涉及微波功率耦合器和基于热电堆的终端式微波功率传感器，具体为一种。
技术介绍
在微波技术研究中，微波功率是表征微波信号特征的一个重要参数，微波功率的测量在无线技术应用中具有重要的地位。现有的微波功率传感器包括两种基于二极管、 热敏电阻和热电堆的终端式微波功率传感器，它们具有低损耗和高灵敏度的优点，然而其最大的缺点是在测量微波功率时完全消耗输入信号功率；基于MEMS技术的在线式微波功率传感器，其最大的优点是在功率测量过程时微波信号仍是可用的，即在线微波功率测量。 这两种微波功率传感器最大的不足是功率传感器传输微波信号时无论要不要求监测功率， 总是会有全部的(终端式微波功率传感器)或一定的(在线式微波功率传感器)功率被消耗，造成了不必要的功率损耗。目前传统的微波功率耦合器得到了广泛地研究，这就为利用微波功率耦合器的原理来研究微波功率传感器奠定了基础。微波功率耦合器是用于微波功率定向分配或功率组合的无源器件，通常使用定向耦合器对微波功率进行耦合。定向微波功率耦合器是一种具有方向性的四端口功率耦合器件，包含主传输线(主线)...
【技术保护点】
１．一种微电子机械定向耦合式微波功率传感器，其特征是由四端口的定向微波功率耦合器和基于热电堆的终端式微波功率传感器（２３）组成，以砷化镓衬底（１９）为基底；在基底上设置定向微波功率耦合器的主线（５）和副线（６），所述四端口分别为主线输入端口（１）、主线输出端口（２）、副线耦合输出端口（３）和副线隔离端口（４），副线（６）与主线（５）耦合的部分设有ＭＥＭＳ固支梁（９），ＭＥＭＳ固支梁（９）作为副线（６）的一段耦合线段，并位于副线（６）中部；ＭＥＭＳ固支梁（９）下方设有驱动电极（１１），对应驱动电极（１１）在副线（６）外侧设有电输入压焊块（１８），通过引线（１７）与驱动电极（１...
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。