与批式炉偕同使用的用于储存晶圆匣的储存装置制造方法及图纸

揭露了一种储存装置，其与用于批处理支承于晶舟中的晶圆的至少一个批式炉偕同使用。该储存装置包含贮匣旋转料架，用于储存多个晶圆匣于可旋转平台层上。旋转料架壳体限定出容纳该平台层于其中的迷你环境腔室。该储存装置的气体再循环回路随后包含气体入口通道、气体入口过滤器、该迷你环境腔室、在该旋转料架壳体的底壁中的多个气体出口开孔、限定充气部腔室的充气部壳体、充气部腔室出口、使该充气部腔室出口连接至该气体入口导管的入口端的气体循环泵。

Storage device used with batch furnace for storing wafer box

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】与批式炉偕同使用的用于储存晶圆匣的储存装置
本专利技术有关于一种储存装置，其与用于批处理支承于晶舟中的一批晶圆的炉偕同使用。
技术介绍
美国专利第US-5407449号揭露一种批式炉，其具有包含用于储存各自容纳多个晶圆W的多个晶圆匣C的贮匣旋转料架(cassettestoragecarousel，参考图1及图2)的储存装置。该储存装置也可包含晶圆转移机器人14用于转移个别晶圆W于存入贮匣旋转料架的匣C与容纳于批式炉站13(参考图1)中的晶舟B之间。贮匣旋转料架12可包含旋转料架壳体16，其具有构造为可转移匣C进出贮匣旋转料架12的至少一个匣转移开孔18。旋转料架壳体16也有至少一个晶圆转移开孔20，经由它可转移晶圆W进出存入旋转料架壳体16的匣C。旋转料架壳体16中容纳许多平台层(platformstage)22，它们连接至经安装成可绕着垂直轴线旋转的中央支撑物。各平台层22构造为可容纳许多匣C。贮匣旋转料架12包括驱动组件，其操作性地连接至该中央支撑物用于使该中央支撑物与该平台层22一起旋转。旋转料架壳体16限定容纳平台层22本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于储存晶圆匣(C)的储存装置，该储存装置(10)包含：/n贮匣旋转料架(12)，其用于储存经构造及配置成可容纳多个晶圆(W)的多个晶圆匣(C)；/n其中，该贮匣旋转料架(12)包含：/n旋转料架壳体(16)，其具有构造为可转移匣或晶圆进出该贮匣旋转料架的至少一个开孔(18，20)；/n至少一个平台层(22)，其用于容纳晶圆匣(C)，该至少一个平台层连接至中央支撑物，该中央支撑物经安装成在该旋转料架壳体(16)内可绕着垂直轴线旋转；/n驱动组件，其操作性地连接至该中央支撑物，用于使该中央支撑物与该至少一个平台层(22)一起旋转；/n迷你环境腔室(24)，其以该旋转料架壳体(16)为界且...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171127 US 62/590,6921.一种用于储存晶圆匣(C)的储存装置，该储存装置(10)包含：
贮匣旋转料架(12)，其用于储存经构造及配置成可容纳多个晶圆(W)的多个晶圆匣(C)；
其中，该贮匣旋转料架(12)包含：
旋转料架壳体(16)，其具有构造为可转移匣或晶圆进出该贮匣旋转料架的至少一个开孔(18，20)；
至少一个平台层(22)，其用于容纳晶圆匣(C)，该至少一个平台层连接至中央支撑物，该中央支撑物经安装成在该旋转料架壳体(16)内可绕着垂直轴线旋转；
驱动组件，其操作性地连接至该中央支撑物，用于使该中央支撑物与该至少一个平台层(22)一起旋转；
迷你环境腔室(24)，其以该旋转料架壳体(16)为界且容纳该平台层(22)于其中；
气体再循环回路，其随后包含：
气体入口通道(26)，其在垂直方向延伸且以该中央支撑物为界，该中央支撑物体现为可绕着该垂直轴线(L)旋转的中央气体入口导管(28)，其中，该气体入口导管(28)有多个气体入口开孔(30)，该多个气体入口开孔提供在该气体入口通道(26)与该迷你环境腔室(24)之间的流体连接且分布于该气体入口导管(28)的高度及周围上，藉此，在使用时，提供气体至该迷你环境腔室(24)中的径向向外定向流入；
该迷你环境腔室(24)；
多个气体出口开孔(34)，其设于该旋转料架壳体(16)的底壁(36)，而限定充气部腔室(40)的充气部壳体(38)在该底壁(36)下方延伸，因此该多个气体出口开孔(34)提供在该迷你环境腔室(34)与该充气部腔室(40)之间的流体连接；
充气部腔室出口(42)；
气体循环泵(44)，其具有气体循环泵入口(46)及气体循环泵出口(50)，该气体循环泵入口经由泵入口导管(48)连接至该充气部腔室出口(42)，且该气体循环泵出口经由泵出口导管(52)连接至该可旋转的气体入口导管(28)的入口端(28a)。


2.如权利要求1所述的储存装置，其中，该充气部腔室(40)在该底壁(36)下方延伸有该底壁(36)的表面积的至少60％。


3.如前述权利要求中的任一项所述的储存装置(10)，其中，该充气部壳体(38)具有甜甜圈形状且有形成充气部壳体凹部(38a)的中断部，其中，位于该充气部壳体凹部(38a)附近的气体出口开孔(34)大于离该充气部壳体凹部(38a)较远的气体出口开孔(34)。


4.如前述权利要求中的任一项所述的储存装置(10)，其还包含：
底座(54)；与
体现为标准滚珠轴承(56)的旋转料架轴承，其具有固定地连接至该入口导管(28)的该入口端(28a)的内座圈(58)，且有固定地连接至该底座(54)的外座圈(60)。


5.如权利要求4所述的储存装置，其中，该旋转料架壳体(16)及该充气部壳体(38)连接至该底座(54)。


6.如前述权利要求中的任一项所述的储存装置，其包含：
第一气封(62)，其呈基本环形且提供在该旋转的气体入口导管(28)的该入口端(28a)与该旋转料架壳体(16)的该底壁(36)之间的基本气密连接。


7.如前述权利要求中的任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·加尔森，
申请(专利权)人：阿斯莫IP控股公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL