搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种搬运装置。该搬运装置包括运输机构、架设在运输机构上的扩展框架；扩展框架上配置有至少两个物料载盘；至少两个物料载盘沿竖直方向分布，至少两个物料载盘中存在两个物料载盘在竖直方向上交叠，且当至少两个物料载盘仅包括两个物料载盘时，两个物料载盘在竖直方向上部分交叠，可以使得至少两个物料载盘在垂直于搬运装置正向移动的方向的宽度减小，进而在设置扩展框架时，可以减小扩展框架在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向的宽度，从而减小了搬运装置在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向的宽度，即减小了搬运装置的尺寸，以使搬运装置更好地适应比较狭窄的搬运通道，扩展了搬运装置的使用范围。

Handling device

【技术实现步骤摘要】
搬运装置
本技术实施例涉及机械搬运
，尤其涉及一种搬运装置。
技术介绍
在半导体加工车间内，空间十分宝贵，需要在有限的空间内布置尽可能多的加工机台。此时搬运物料的搬运通道变得非常狭窄，因此对搬运装置的长宽尺寸提高了很高的要求。图1为现有的一种搬运装置的结构示意图。如图1所示，该搬运装置包括两个物料载盘，分别放置一个待搬运物料1。而搬运装置中两个物料载盘水平并排放置，使得搬运装置的宽度很大，很难使搬运装置在狭窄的搬运通道中运行。示例性地，当搬运装置的物料载盘用于承载片盒，且每个搬运装置包括两个并排放置的物料载盘时，搬运装置的宽度将达到900mm左右。而搬运通道中最窄宽度一般小于1.2m，因此搬运装置很难在1.2m宽度的搬运通道中运行，更无法在搬运通道内掉头和转弯等。
技术实现思路
本技术提供一种搬运装置，以减小搬运装置的宽度尺寸，扩展搬运装置的使用范围。第一方面，本技术实施例提供了一种搬运装置，包括运输机构、架设在所述运输机构上的扩展框架；所述扩展框架上配置有至少两个物料载盘；所述至少两个物料载盘沿竖直方向分布，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬运装置，其特征在于，包括运输机构、架设在所述运输机构上的扩展框架；所述扩展框架上配置有至少两个物料载盘；所述至少两个物料载盘沿竖直方向分布，所述至少两个物料载盘中存在两个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠，且当所述至少两个物料载盘仅包括两个所述物料载盘时，两个所述物料载盘在所述竖直方向上部分交叠。/n

【技术特征摘要】
1.一种搬运装置，其特征在于，包括运输机构、架设在所述运输机构上的扩展框架；所述扩展框架上配置有至少两个物料载盘；所述至少两个物料载盘沿竖直方向分布，所述至少两个物料载盘中存在两个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠，且当所述至少两个物料载盘仅包括两个所述物料载盘时，两个所述物料载盘在所述竖直方向上部分交叠。


2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，任一所述物料载盘与至少一个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠。


3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，沿所述竖直方向任意相邻的两个所述物料载盘中，上方的所述物料载盘相对于下方的所述物料载盘向同一预设方向错开。


4.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述扩展框架包括支撑框架、四个脚轮和电气柜；所述支撑框架包括四个支撑柱和固定于所述支撑柱顶部的支撑板，四个所述脚轮分别连接于所述支撑框架的四个所述支撑柱的底部，所述运输机构固定于所述支撑板的底部，所述电气柜垂直固定于所述支撑板的顶部的靠近所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐常恺，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31