搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种搬运装置。该搬运装置包括运输机构、架设在运输机构上的扩展框架；扩展框架上配置有至少两个物料载盘；至少两个物料载盘沿竖直方向分布，至少两个物料载盘中存在两个物料载盘在竖直方向上交叠，且当至少两个物料载盘仅包括两个物料载盘时，两个物料载盘在竖直方向上部分交叠，可以使得至少两个物料载盘在垂直于搬运装置正向移动的方向的宽度减小，进而在设置扩展框架时，可以减小扩展框架在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向的宽度，从而减小了搬运装置在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向的宽度，即减小了搬运装置的尺寸，以使搬运装置更好地适应比较狭窄的搬运通道，扩展了搬运装置的使用范围。

Handling device

【技术实现步骤摘要】
搬运装置
本技术实施例涉及机械搬运
，尤其涉及一种搬运装置。
技术介绍
在半导体加工车间内，空间十分宝贵，需要在有限的空间内布置尽可能多的加工机台。此时搬运物料的搬运通道变得非常狭窄，因此对搬运装置的长宽尺寸提高了很高的要求。图1为现有的一种搬运装置的结构示意图。如图1所示，该搬运装置包括两个物料载盘，分别放置一个待搬运物料1。而搬运装置中两个物料载盘水平并排放置，使得搬运装置的宽度很大，很难使搬运装置在狭窄的搬运通道中运行。示例性地，当搬运装置的物料载盘用于承载片盒，且每个搬运装置包括两个并排放置的物料载盘时，搬运装置的宽度将达到900mm左右。而搬运通道中最窄宽度一般小于1.2m，因此搬运装置很难在1.2m宽度的搬运通道中运行，更无法在搬运通道内掉头和转弯等。
技术实现思路
本技术提供一种搬运装置，以减小搬运装置的宽度尺寸，扩展搬运装置的使用范围。第一方面，本技术实施例提供了一种搬运装置，包括运输机构、架设在所述运输机构上的扩展框架；所述扩展框架上配置有至少两个物料载盘；所述至少两个物料载盘沿竖直方向分布，所述至少两个物料载盘中存在两个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠，且当所述至少两个物料载盘仅包括两个所述物料载盘时，两个所述物料载盘在所述竖直方向上部分交叠。可选地，任一所述物料载盘与至少一个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠。可选地，沿所述竖直方向任意相邻的两个所述物料载盘中，上方的所述物料载盘相对于下方的所述物料载盘向同一预设方向错开。可选地，所述扩展框架包括支撑框架、四个脚轮和电气柜；所述支撑框架包括四个支撑柱和固定于所述支撑柱顶部的支撑板，四个所述脚轮分别连接于所述支撑框架的四个所述支撑柱的底部，所述运输机构固定于所述支撑板的底部，所述电气柜垂直固定于所述支撑板的顶部的靠近所述搬运装置正向移动方向的一侧；所述物料载盘设置在所述电气柜的远离所述正向移动方向的侧面。可选地，在水平面内，所述搬运装置沿垂直于所述正向移动方向的宽度小于0.7米。可选地，在水平面内，所述电气柜沿垂直于所述正向移动方向的宽度，小于或等于所述支撑板沿垂直于所述正向移动方向的宽度。可选地，沿所述竖直方向，相邻两个所述物料载盘之间的垂直距离大于待搬运物料的垂直高度。可选地，搬运装置还包括机械臂，所述机械臂固定于所述电气柜的顶部。可选地，所述电气柜的顶部距离所述物料载盘的最短垂直距离大于或等于待搬运物料的垂直高度。可选地，所述运输机构包括自动引导小车。本技术实施例的技术方案，通过设置扩展框架上配置有至少两个物料载盘；至少两个物料载盘沿竖直方向分布，至少两个物料载盘中存在两个物料载盘在竖直方向上交叠，且当至少两个物料载盘仅包括两个物料载盘时，两个物料载盘在竖直方向上部分交叠，可以使得至少两个物料载盘在垂直于搬运装置正向移动的方向的宽度减小，进而在设置扩展框架时，可以减小扩展框架在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向的宽度，从而减小了搬运装置在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向的宽度，即减小了搬运装置的尺寸，以使搬运装置更好地适应比较狭窄的搬运通道，扩展了搬运装置的使用范围。附图说明图1为现有的一种搬运装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的一种搬运装置的正面结构示意图；图3为本技术实施例提供的一种搬运装置的侧面结构示意图；图4为本技术实施例提供的一种搬运装置的搬运位置的主视图；图5为本技术实施例提供的一种搬运装置的搬运位置的俯视图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。图2为本技术实施例提供的一种搬运装置的正面结构示意图，图3为本技术实施例提供的一种搬运装置的侧面结构示意图。如图2和图3所示，该搬运装置包括运输机构110、架设在运输机构110上的扩展框架120；扩展框架120上配置有至少两个物料载盘121；至少两个物料载盘121沿竖直方向Z分布，至少两个物料载盘121中存在两个物料载盘121在竖直方向Z上交叠，且当至少两个物料载盘121仅包括两个物料载盘121时，两个物料载盘121在竖直方向Z上部分交叠。具体地，运输机构110可以实现搬运装置的运动。示例性地，运输机构110可以为小车，通过小车的移动可以实现搬运装置的运动。扩展框架120用于对搬运装置进行扩展，使得搬运装置中物料载盘121和机械手130的位置满足搬运装置搬运物料时的需求。物料载盘121的一端固定于扩展框架120上，用于承载物料。如图2和图3所示，扩展框架120在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度大于或等于物料载盘121在垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度，以使物料载盘121的一端完全固定于扩展框架120上，保证物料载盘121的稳定性。扩展框架120上配置有至少两个物料载盘121，可以同时搬运多个物料，提高搬运效率。另外，至少两个物料载盘121沿竖直方向Z分布，且至少两个物料载盘121中存在两个物料载盘121在竖直方向Z上交叠，可以使得至少两个物料载盘121在垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度减小，进而在设置扩展框架120时，可以减小扩展框架120在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度，从而减小了搬运装置在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度，即减小了搬运装置的尺寸，以使搬运装置更好地适应比较狭窄的搬运通道，扩展了搬运装置的使用范围。示例性地，当搬运装置的物料载盘121用于承载片盒时，且物料载盘121为两个时，两个物料载盘121在竖直方向Z上交叠，可以在物料载盘121完全固定于扩展框架120上时，扩展框架120在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度小于或等于0.7m，相对于现有技术中两个物料载盘在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度达到0.9m时，减小了扩展框架120在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度。需要说明的是，图2和图3中示例性地示出了搬运装置包括两个物料载盘121，两个物料载盘121在在竖直方向Z上部分交叠。在其他实施例中，搬运装置还可以包括多个物料载盘121，多个物料载盘中至少有两个物料载盘在竖直方向Z上部分交叠。继续参考图2和图3，任一物料载盘121与至少一个物料载盘121在竖直方向Z上交叠。具体地，任一物料载盘121与至少一个物料载盘121在竖直方向Z上交叠，即可实现减小扩展框架120在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度，从而可以减小搬运装置在水平面内垂直于搬运装置正向移动的方向X的宽度，即减小搬运装置的尺寸，以使搬运装置更好地适应比较狭窄的搬运通道，扩展搬运装置的使用范围。例如，当搬运装置包括多个物料载盘121时，可以设置其中一个物料载盘12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬运装置，其特征在于，包括运输机构、架设在所述运输机构上的扩展框架；所述扩展框架上配置有至少两个物料载盘；所述至少两个物料载盘沿竖直方向分布，所述至少两个物料载盘中存在两个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠，且当所述至少两个物料载盘仅包括两个所述物料载盘时，两个所述物料载盘在所述竖直方向上部分交叠。/n

【技术特征摘要】
1.一种搬运装置，其特征在于，包括运输机构、架设在所述运输机构上的扩展框架；所述扩展框架上配置有至少两个物料载盘；所述至少两个物料载盘沿竖直方向分布，所述至少两个物料载盘中存在两个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠，且当所述至少两个物料载盘仅包括两个所述物料载盘时，两个所述物料载盘在所述竖直方向上部分交叠。


2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，任一所述物料载盘与至少一个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠。


3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，沿所述竖直方向任意相邻的两个所述物料载盘中，上方的所述物料载盘相对于下方的所述物料载盘向同一预设方向错开。


4.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述扩展框架包括支撑框架、四个脚轮和电气柜；所述支撑框架包括四个支撑柱和固定于所述支撑柱顶部的支撑板，四个所述脚轮分别连接于所述支撑框架的四个所述支撑柱的底部，所述运输机构固定于所述支撑板的底部，所述电气柜垂直固定于所述支撑板的顶部的靠近所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐常恺，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31