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本实用新型公开了一种搬运装置。该搬运装置包括运输机构、架设在运输机构上的扩展框架；扩展框架上配置有至少两个物料载盘；至少两个物料载盘沿竖直方向分布，至少两个物料载盘中存在两个物料载盘在竖直方向上交叠，且当至少两个物料载盘仅包括两个物料载盘时...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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