假片存储盒制造技术

一种用于存储假片的假片存储盒。该假片存储盒可具有多于30个晶片槽以用于容纳假片。该假片盒可以具有与具有25个晶片槽的标准化晶片盒基本相同的外部尺寸，并且该假片存储盒的晶片槽的间距可以小于标准化晶片盒中的晶片槽之间的间距。

Fake film storage box

【技术实现步骤摘要】
假片存储盒
本专利技术涉及一种用于存储假片的假片存储盒、以及一种包括至少一个假片存储盒的批量晶片处理装置。本专利技术还涉及一种用于借助于假片存储盒在批量晶片处理装置的处理腔室中处理晶片的方法。
技术介绍
EP1341213描述了一种用于处理晶片的装置，该装置尤其包括盒式存储转盘。转盘可以容纳用于存储晶片的匣盒。所述所使用的匣盒可以是用于具有300毫米直径的晶片的高度标准化的FOUP(前开式统一晶圆盒)晶片存储盒或者用于具有200毫米直径的晶片的其他类型的标准化匣盒，其可具有用于容纳25个晶片的25个槽。该装置可以具有晶片存储箱处置装置，该晶片存储箱处置装置可以从输入/输出站取出匣盒并将其放入盒式存储转盘中。这些匣盒也可被手动放置在盒式存储转盘中。该装置还可以包括晶片处置器，通过该晶片处置器可以将晶片从匣盒中取出并放置在用于在该装置的处理腔室内处理的舟皿中。在批式炉(batchfurnace)的处理腔室内处理晶片期间，填充晶片舟皿中的所有空间可能有利于该过程。假片(也被称为填充物)可被用于填充量产晶片之间的空白空间。还可以将假片放置在晶片舟皿中的晶片叠层的顶部和/或底部以改善放置在这些假片之间的量产晶片的反应特性。一般而言，假片可被重复使用并且可以停留在装置中直到需要清洁它们。当在装置中使用假片时，将假片存储在存储设备中降低了量产晶片的存储容量。对于需要大量假片的配置，这可能导致存储问题。针对该问题的显而易见的解决方案是增加存储设备中盒容纳点的数量。然而，此类解决方案需要装置中的额外空间，这可能是不可用的和/或可能是高代价的。
技术实现思路
因此可需要提供用于假片的改进的存储解决方案。根据一实施例，可以提供根据权利要求1的假片存储盒。该晶片存储盒可以是用于存储假片的假片存储盒，并且可以具有多于30个晶片槽以用于容纳假片。因为可以在假片存储盒中存储比在标准化晶片盒中更多的假片，所以需要比使用具有25个槽的标准化晶片盒时所需的更少的所述假片存储盒来存储相同量的假片。因此，存储设备中的更多空间可用于存储容纳量产晶片的标准化晶片盒。根据进一步实施例，提供了根据权利要求8的批量晶片处理装置。更具体地，本专利技术提供了一种批量晶片处理装置以用于批量处理晶片舟皿中支撑的一批晶片。该批量晶片处理装置可被提供有存储设备，该存储设备包括数个盒容纳点和至少一个假片存储盒。该数个盒容纳点中的每个盒容纳点被配置成用于存储具有25个晶片槽的标准化晶片盒。因为批量晶片处理装置的存储设备使用假片存储盒，所以需要比使用标准化晶片盒时所需的更少的所述假片存储盒来存储相同量的假片。这意味着可以存储更多的具有量产晶片的标准化晶片盒，而无需改变该存储设备的设计。因此本专利技术提供了针对该存储问题的解决方案。根据又进一步的实施例，提供了根据权利要求13的方法。更具体地，本专利技术提供了一种用于在批量晶片处理装置的处理腔室中处理晶片的方法以用于批量处理晶片舟皿中支撑的一批晶片。该方法包括：提供具有例如25个槽并容纳多个量产晶片的标准化晶片盒，将多个量产晶片中的至少一者和来自具有多于30个用于容纳假片的晶片槽的专用假片存储盒的至少一个假片置于批量晶片处理装置的晶片舟皿中，在处理腔室内的晶片舟皿中处理晶片，并将至少一个假片放回到假片存储盒。由于可以多次使用假片，因此可以将假片存储盒保持在批量晶片处理装置内。仅当需要假片时，可以将该假片从假片存储盒中取出并放置在晶片舟皿中。在处理之后，可以将该假片放回到假片存储盒中以便存储直到再次需要它。通过使用具有多于30个晶片槽的假片存储盒，可以存储比通过使用标准化晶片盒来存储假片可能的更大量的假片。因此该方法减轻了以上所提及的存储问题。在从属权利要求中要求保护各实施例，其将参考附图中所示的示例进一步来阐明。这些实施例可被组合或者彼此分开地被应用。附图说明图1示出了根据本专利技术的存储设备的示例的横截面侧视图，其中具有根据本专利技术的假片存储盒的示例。图2示出根据本专利技术的晶片处理装置的示例的立体侧视/俯视图。附图的详细描述在本申请中，类似或相应的特征由类似或相应的附图标记来表示。各实施例的描述不限于这些附图中所示的示例，并且在详细描述和权利要求中使用的附图标记不旨在限制实施例的描述，而是被包括以通过参考附图中所示的示例来阐明这些实施例。本公开涉及一种用于存储具有直径为150、200或300毫米的晶片12、22的晶片存储盒10。根据本公开的晶片存储盒10可以是用于存储假片12的专用假片存储盒10，并且可以具有多于30个晶片槽16以用于容纳假片12。晶片存储盒10的效果和优点已在
技术实现思路
部分中描述，并且这些效果和优点通过引用插入本文。在一实施例中，晶片存储盒10可以具有与具有25个晶片槽的现有技术标准化晶片盒14基本相同的外部尺寸。假片存储盒10的晶片槽16的间距可以小于现有技术标准化晶片盒14中的晶片槽之间的间距，对于用于存储具有300毫米直径的晶片的存储盒，该间距可以是10毫米。用于存储具有300毫米直径的晶片的假片存储盒10的晶片槽16的间距可以在3至9之间，优选地在4至8之间，最优选地在5至7毫米之间。标准化晶片盒14中的晶片槽的10毫米的间距的尺寸被确定以便确保标准化晶片盒14内的晶片22(晶片22被用于生产)可由半导体厂中的任何晶片处置工具来处置。对于假片，此要求可能不那么严格，因为它们可能大部分时间仅由一个晶片处置器在一个工具中进行处置。与标准化晶片盒14相反，假片存储盒10的晶片槽16的较小间距可以使得在假片存储盒10内具有更多晶片槽16。在一实施例中，晶片存储盒可以是箱体状的并限定内部的FOUP晶片盒，其具有开口的前端和用于关闭箱体的开口前端的门。该箱体可以具有顶壁、一对侧壁、后壁和底部。侧壁可在内部的每侧被提供有两组相对的扩展，该扩展限定了用于通过开口前端来容纳300毫米直径的晶片的多个槽。在一实施例中，用于存储300毫米直径晶片的假片存储盒10可以具有290-320毫米的高度。这与用于存储300毫米直径晶片的标准化FOUP晶片盒的高度相同。在一实施例中，用于存储具有150或200毫米直径的晶片的假片存储盒10的间距可以小于用于具有200毫米直径的晶片的现有技术的标准化晶片盒14中的晶片槽之间可约为6毫米的间距。例如，对于200毫米直径的晶片，假片盒中的间距可以在2至6毫米之间，优选地在3至4毫米之间。假片盒可具有150-300毫米之间的高度。在一实施例中，假片存储盒10可以具有50个晶片槽16。以此方式，与标准化晶片盒14相比，假片存储盒10具有双倍容量。本公开还提供了一种批量晶片处理装置以用于批量处理晶片舟皿28中支撑的一批晶片12、22。批量晶片处理装置可被提供有存储设备18，存储设备18包括数个盒容纳点20和至少一个假片存储盒10。数个盒容纳点20中的每个盒容纳点20可被配置成用于存储具有25个晶片槽的标准化晶片盒14。该至少一个假片存储盒10可以容纳多个假片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于存储晶片(12、22)的晶片存储盒(10)，其特征在于，所述晶片存储盒(10)是用于存储假片(12)的专用假片存储盒(10)，并且具有多于30个用于容纳假片(12)的晶片槽(16)。/n

【技术特征摘要】
20180605 US 16/000,3531.一种用于存储晶片(12、22)的晶片存储盒(10)，其特征在于，所述晶片存储盒(10)是用于存储假片(12)的专用假片存储盒(10)，并且具有多于30个用于容纳假片(12)的晶片槽(16)。


2.如权利要求1所述的假片存储盒，其特征在于，所述假片盒具有与具有25个晶片槽的标准化晶片盒(14)基本相同的外部尺寸，并且所述假片存储盒(10)的所述晶片槽(16)的间距小于所述标准化晶片盒(14)中的所述晶片槽之间的间距。


3.如权利要求1或2所述的假片存储盒，其特征在于，用于存储具有300毫米直径的晶片的所述假片存储盒(10)的所述晶片槽(16)的间距在3至9、优选地在4至8、最优选地在5至7毫米之间。


4.如权利要求1-3中任一项所述的假片存储盒，其特征在于，所述假片存储盒为箱体并且限定内部的FOUP晶片盒，所述箱体被塑形成具有开口前端和用于关闭所述箱体的所述开口前端的门，所述箱体具有顶壁、一对侧壁、后壁和底部，所述侧壁进一步在所述内部的每侧提供有两组相对的扩展，所述扩展限定了用于通过所述开口前端来容纳300毫米直径的晶片的多个槽。


5.如权利要求1-4中任一项所述的假片存储盒，所述假片存储盒用于存储300毫米晶片，其中所述假片存储盒(10)具有290-320毫米的高度。


6.如权利要求1-4中任一项所述的假片存储盒，所述假片存储盒用于存储具有150或200毫米直径的晶片，其中所述假片存储盒(10)具有150-300毫米之间的高度。


7.如权利要求1、2、4或6中任一项所述的假片存储盒，其特征在于，用于存储具有150或200毫米直径的晶片的所述假片存储盒(10)的所述晶片槽(16)的间距在2至6、优选地在3至4毫米之间。


8.如权利要求1-7中任一项所述的假片存储盒，其特征在于，所述假片存储盒(10)具有50个晶片槽(16)。


9.一种用于批量处理支撑在晶片舟皿(28)中的一批晶片(12、22)的批量晶片处理装置(26)，所述装置被提供有存储设备(18)，所述存储设备(18)包括：
数个盒容纳点(20)，每个盒容纳点(20)被配置用于存储具有25个晶片槽的标准化晶片盒(14)，以及
如所述权利要求1-8中任一项所述的至少一个假片存储盒(10)。


10.如权利要求9所述的批量晶片处理装置，其特征在于，所述存储设备(18)被实施为盒式存储转盘。


11.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·G·M·德里德，T·G·M·奥斯特拉肯，A·加森，
申请(专利权)人：阿斯莫IP控股公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL