The invention discloses a new type quartz boat with diffusion boron deposition, which comprises a quartz boat body. The quartz boat body is provided with a first-class boat trough bracket, a bottom bracket, a first-class quartz boat trough, a second-class quartz boat trough. Both the first-class quartz boat trough and the second-class quartz boat trough are provided with boat trough notches. The angle of the boat trough notches is 88 degrees. When the inlet angle of the boat trough notches is 88 degrees, the effective balance gas is obtained After adjusting the angle of the quartz boat trough, the process gas can take away some by-products, effectively improve the uniformity, reduce the sticking problem, and greatly reduce the cost of the boron expansion process.
【技术实现步骤摘要】
一种扩散硼淀积新型石英舟
本专利技术涉及石英舟
,具体为一种扩散硼淀积新型石英舟。
技术介绍
石英又名石英玻璃,石英玻璃是由二氧化硅组成的矿物质。石英玻璃主要用于电光源,半导体,光学新技术等方面。新型光源方面:做高压水银灯、长弧氙灯、碘钨灯、碘化铊灯、红外线灯和杀菌灯等。半导体方面:是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料,如生长锗,硅单晶的坩埚、舟皿炉芯管和钟罩等。在新
中:用其声、光、电学的极佳性能、做雷达上的超声延迟线,红外跟踪测向,红外照相、通迅、摄谱仪、分光光度计的棱镜,透镜、大型天文望远镜的反射窗,高温作业窗、反应堆、放射性装置;火箭,导弹的鼻锥体,喷嘴和天线罩:人造卫星的无线电绝缘零件,辐射;热天秤,真空吸附装置,精密铸造等。石英还用于:化工、冶金、电工、科研等方面。在化工方面:可做高温耐酸性气体的燃烧、冷却的和通风装置,酸性溶液的蒸发,冷却吸物收,贮存装置,蒸馏水,盐酸、硝酸、硫酸等的制备和其它物理化学实验用品。在高温业作方面:可做光学玻璃的,坩埚成萤光体客气,电炉炉芯管,气体燃烧辐射体,在光学方面:石英玻璃和石英玻璃棉可作火箭的喷咀,宇宙飞船防热罩和观察窗等,总之,随着现代科学技术的发展,石英玻璃在各个领域方面得到更加广泛的应用。扩散工艺石英舟装载硅片进行扩散时,工艺气体从扩散炉尾部通入,硅片在石英舟上垂直放片时气流方向和硅片放片方向垂直,硼扩散时反应产生的副产物掉落在石英舟上并持续进行反应,硅片靠近石英舟区域浓度明显偏大 ...
【技术保护点】
1.一种扩散硼淀积新型石英舟,包括石英舟本体(1),其特征在于:所述石英舟本体(1)上设有一级舟槽支架(2),一级舟槽支架(2)的上方两端对称设有一级石英舟槽(4),所述一级舟槽支架(2)的底部设有底部支架(3),底部支架(3)与一级舟槽支架(2)焊接连接,所述底部支架(3)的底部对称设有二级石英舟槽(5),/n所述一级石英舟槽(4),二级石英舟槽(5)上均设有舟槽槽口,舟槽槽口的入口倾角为88度。/n
【技术特征摘要】
1.一种扩散硼淀积新型石英舟,包括石英舟本体(1),其特征在于:所述石英舟本体(1)上设有一级舟槽支架(2),一级舟槽支架(2)的上方两端对称设有一级石英舟槽(4),所述一级舟槽支架(2)的底部设有底部支架(3),底部支架(3)与一级舟槽支架(2)焊接连接,所述底部支架(3)的底部对称设有二级石英舟槽(5),
所述一级石英舟槽(4),二级石英舟槽(5)上均设有舟槽槽口,舟槽槽口的入口倾角为88度。
2.根据权利要求1所述的一种扩散硼淀积新型石英舟,其特征在于:所述石英舟本体(1)的内部中央设有硅片放置槽。
3.根据权利要求1所述的一种扩散硼淀积新型石英舟,...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔文荣,
申请(专利权)人:江苏晟驰微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。