一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备及其使用方法，包括主体、固定器警示器，所述主体的顶部安装有固定器，所述固定器的内壁安装有清洗箱，所述清洗箱的内部底壁安装有防水壳，所述伸缩管的外壁固定安装有马达，所述马达的输出端安装有驱动齿轮，且驱动齿轮与齿轮槽啮合，所述清洗盘的底部安装有多个清洗喷头。本发明专利技术通过安装有清洗箱可以实现清洗功能，将待刻蚀的部件放在传送带上，经过化学刻蚀后，继续向前移动，第一电动伸缩杆带动限位杆向下移动，使得限位杆带动圆环和清洗盘向下移动，随后清洗盘带动伸缩管伸长，使得清洗盘将部件笼罩，第一水泵将储清洗箱中的水抽出，通过清洗喷头对部件进行清洗，实现清洗功能。实现清洗功能。实现清洗功能。

【技术实现步骤摘要】
一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备及其使用方法


[0001]本专利技术涉及刻蚀
，具体为一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备及其使用方法。

技术介绍

[0002]蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。也可对各种金属如：铁、铜、铝、钛金、不锈钢、锌版、等金属和金属制品的表面蚀刻图纹、花纹、几何形状，并能精确镂空。也可专业针对各种型号的国产和进口不锈钢进行蚀刻和薄板切割，如今广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。
[0003]现有的刻蚀机存在的缺陷是：
[0004]1、专利文件CN113675114A公开了刻蚀设备，保护的权项“刻蚀设备包含刻蚀机以及冷却系统；冷却系统包含蒸发器、抽气机构、冷凝器以及控制单元；蒸发器具有蒸发腔室，蒸发腔室内充注有制冷剂，并连通有出口和进口，刻蚀机连接有冷却管路，冷却管路内流通有刻蚀液，并邻设于蒸发腔室，蒸发器用以通过制冷剂与刻蚀液的热交换而使刻蚀液降温，制冷剂吸热后由液态蒸发为气态；抽气机构连接于蒸发腔室的出口，用以将气态的制冷剂输送至冷凝器；冷凝器分别连接于抽气机构与蒸发腔室的进口，用以将气态的制冷剂冷凝为液态，再将液态的制冷剂输送至蒸发腔室进行循环；控制单元分别连接并控制蒸发器、抽气机构和冷凝器”，刻蚀进行后需要对部件进行清洗，但是对部件的侧面或者边缘位置清洗不够仔细容易留下残留物；
[0005]2、专利文件CN108461420A公开了刻蚀设备，保护的权项“包括密封罩、承载板以及多个排气结构，承载板位于密封罩内，多个排气结构环绕承载板设置，每一个排气结构包括排气管道和抽气泵，排气管道包括进气口和出气口，进气口与密封罩连通，出气口与抽气泵连通，排气管道的管壁上设置有多个进气孔，进气孔的气流方向与排气管道的管壁垂直，抽气泵产生的气流方向与排气管道的管壁平行。本专利技术提出的刻蚀设备的排气管道的管壁上设置有多个进气孔，进气孔中的气流在抽气泵产生的气流的作用下会偏离排气管道的管壁并朝向出气口，从而使得刻蚀制程中产生的微粒不容易沉积在排气管道的管壁上，优化刻蚀环境、提升刻蚀制程的良率、延长设备的维护周期”，现有的装置使用时，需要使用另外的设备进行烘干，增加了工序的复杂性，不够方便；
[0006]3、专利文件CN107507793A公开了蚀刻设备，保护的权项“包括蚀刻腔室，以及收容所述蚀刻腔室的可旋转的承载平台、与承载平台的表面平行的上电极板、下电极板及两个遮挡板；下电极板设于所述承载平台上，上电极板设于所述蚀刻腔室顶部，两个遮挡板设于
所述上电极板与下电极板之间且所述遮挡板相对承载平台移动，两个遮挡板以所述承载平台的轴线对称设置，每一遮挡板在承载平台的表面的正投影由承载平台的轴心沿着承载平台的旋转轨迹的半径延伸，遮挡板正投影的长度与所述半径长度相等，所述基板由轴心向外包括中心区和边缘区，通过改变所述遮挡板垂直于所述半径方向的宽度或者/和承载平台旋转的旋转角速度以使位于基板的中心区和边缘区被蚀刻深度相同”，现有的装置大多不能够对液体含量检测，不够方便；
[0007]4、专利文件CN110349828A公开了干蚀刻设备，保护的权项“该干蚀刻设备包括蚀刻腔体,第一电极和第二电极，在对基板进行干蚀刻处理时，第一电极和第二电极相对设置、且位于蚀刻腔体内，第一电极设置有凸起图案，基板放置在所述凸起图案的支撑面上，蚀刻单元，用于向所述蚀刻腔体内输入蚀刻气体，并在所述第一电极和第二电极所形成电场的控制下，对所述基板的膜层进行蚀刻，防静电构件，该防静电构件用于对所述第一电极进行预处理，以缓解所述基板上的静电积累；基于防静电构件，本专利技术提供的干蚀刻设备缓解了蚀刻膜层时基板上静电的积累，避免了静电释放导致的显示面板损坏，缓解了现有干蚀刻设备存在的静电释放损坏显示面板的技术问题，提高了显示面板的制造良率”，现有的装置大多不能够对工作人员警示，不够方便。

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的在于提供一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备及其使用方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0009]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备，包括主体、固定器警示器，所述主体的顶部安装有固定器，所述固定器的内壁安装有清洗箱，所述清洗箱的内部底壁安装有防水壳，所述防水壳的内部底壁安装有第一水泵，所述第一水泵的输出端安装有伸缩管，所述主体的内部顶壁安装有第一电动伸缩杆，所述伸缩管的底部安装有轴承，所述轴承的底部安装有清洗盘，所述清洗盘的顶部安装有圆环，所述圆环的顶部设有限位槽，所述限位槽的内壁贯穿安装有限位杆，且限位杆的顶部与第一电动伸缩杆的底部连接，所述清洗盘的顶部设有齿轮槽，所述伸缩管的外壁固定安装有马达，所述马达的输出端安装有驱动齿轮，且驱动齿轮与齿轮槽啮合，所述清洗盘的底部安装有多个清洗喷头；
[0010]所述主体的外壁安装有警示器。
[0011]优选的，所述主体的顶部安装有盖板，盖板的顶部安装有把手，主体的外壁安装有显示屏，主体的外壁安装有多个控制钮，主体的外壁安装有电机，主体的内壁安装有多个传动杆，传动杆的外壁环绕安装有传送带，且传动杆的一端与电机的输出端连接，固定器的内壁安装有储存腔，固定器的内壁安装有加热腔，主体的内部底壁安装有一号检测器，清洗箱的内部顶壁安装有二号检测器，主体的内部底壁安装有分隔板。
[0012]优选的，所述储存腔的内部底壁安装有固定壳，固定壳的内部底壁安装有第二水泵，第二水泵的输出端安装有可伸缩的连接管，连接管的底部安装有固定板，固定板的底部安装有多个刻蚀喷头，主体的内部顶壁安装有第二电动伸缩杆，且第二电动伸缩杆的底部与固定板的顶部连接。
[0013]优选的，所述加热腔的内壁安装有多个金属杆，金属杆的外壁环绕安装有电热丝，
固定器的外壁安装有风机，加热腔的底部贯穿安装有加热管，加热管的外壁安装有控制阀，加热管的底部安装有烘干板，烘干板的外壁安装有支撑板，控制阀的内壁安装有密封槽，控制阀的外壁安装有固定架，固定架的内壁安装有第三电动伸缩杆，第三电动伸缩杆的一端安装有密封板。
[0014]优选的，所述第一水泵的输入端延伸出防水壳的外壁，所述控制钮位于显示屏的一侧，所述第二水泵的输入端延伸出固定壳的外壁，所述密封板的一端延伸进控制阀的内部。
[0015]优选的，所述二号检测器的内部顶壁安装有电池，二号检测器的底部贯穿安装有信号发射器，二号检测器的底部贯穿安装有信号接收器，二号检测器的底部安装有滑杆，滑杆的外壁安装有浮块，浮块的顶部安装有反射板。
[0016]优选的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备，包括主体(1)、固定器(9)警示器(56)，其特征在于：所述主体(1)的顶部安装有固定器(9)，所述固定器(9)的内壁安装有清洗箱(17)，所述清洗箱(17)的内部底壁安装有防水壳(18)，所述防水壳(18)的内部底壁安装有第一水泵(19)，所述第一水泵(19)的输出端安装有伸缩管(27)，所述主体(1)的内部顶壁安装有第一电动伸缩杆(20)，所述伸缩管(27)的底部安装有轴承(26)，所述轴承(26)的底部安装有清洗盘(21)，所述清洗盘(21)的顶部安装有圆环(22)，所述圆环(22)的顶部设有限位槽(23)，所述限位槽(23)的内壁贯穿安装有限位杆(24)，且限位杆(24)的顶部与第一电动伸缩杆(20)的底部连接，所述清洗盘(21)的顶部设有齿轮槽(25)，所述伸缩管(27)的外壁固定安装有马达(28)，所述马达(28)的输出端安装有驱动齿轮(29)，且驱动齿轮(29)与齿轮槽(25)啮合，所述清洗盘(21)的底部安装有多个清洗喷头(30)；所述主体(1)的外壁安装有警示器(56)。2.根据权利要求1所述的一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备，其特征在于：所述主体(1)的顶部安装有盖板(2)，盖板(2)的顶部安装有把手(3)，主体(1)的外壁安装有显示屏(4)，主体(1)的外壁安装有多个控制钮(5)，主体(1)的外壁安装有电机(6)，主体(1)的内壁安装有多个传动杆(7)，传动杆(7)的外壁环绕安装有传送带(8)，且传动杆(7)的一端与电机(6)的输出端连接，固定器(9)的内壁安装有储存腔(10)，固定器(9)的内壁安装有加热腔(31)，主体(1)的内部底壁安装有一号检测器(50)，清洗箱(17)的内部顶壁安装有二号检测器(43)，主体(1)的内部底壁安装有分隔板(59)。3.根据权利要求2所述的一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备，其特征在于：所述储存腔(10)的内部底壁安装有固定壳(11)，固定壳(11)的内部底壁安装有第二水泵(12)，第二水泵(12)的输出端安装有可伸缩的连接管(13)，连接管(13)的底部安装有固定板(15)，固定板(15)的底部安装有多个刻蚀喷头(16)，主体(1)的内部顶壁安装有第二电动伸缩杆(14)，且第二电动伸缩杆(14)的底部与固定板(15)的顶部连接。4.根据权利要求2所述的一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备，其特征在于：所述加热腔(31)的内壁安装有多个金属杆(33)，金属杆(33)的外壁环绕安装有电热丝(34)，固定器(9)的外壁安装有风机(32)，加热腔(31)的底部贯穿安装有加热管(35)，加热管(35)的外壁安装有控制阀(36)，加热管(35)的底部安装有烘干板(37)，烘干板(37)的外壁安装有支撑板(38)，控制阀(36)的内壁安装有密封槽(39)，控制阀(36)的外壁安装有固定架(40)，固定架(40)的内壁安装有第三电动伸缩杆(41)，第三电动伸缩杆(41)的一端安装有密封板(42)。5.根据权利要求1
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4任意一项所述的一种提高光刻胶耐刻蚀性的设备，其特征在于：所述第一水泵(19)的输入端延伸出防水壳(18)的外壁，所述控制钮(5)位于显示屏(4)的一侧，所述第二水泵(12)的输入端延伸出固定壳(11)的外壁，所述密封板(42)的一端延伸进控制阀(36)的内部。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：王黎明，
申请(专利权)人：江苏晟驰微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：