The invention discloses a new type quartz boat with glass passivation, which comprises a quartz boat mechanism. The quartz boat mechanism is provided with a first-class quartz boat bracket, a quartz boat slot, a first-class quartz boat, a main bracket, a second-class quartz boat, a first-class quartz boat on the quartz boat mechanism. The inclination angle of the first-class quartz boat slot is 80 degrees. When the glass is sintered, a large flow of gas needs to be introduced to adjust the silicon wafer After the angle, the impact of the air flow on the silicon wafer is reduced and the damage of the silicon wafer is reduced. The width of the quartz boat groove is 10 mm. The residual glass powder in the boat groove is cleaned regularly to reduce the probability of the edge of the silicon wafer sticking to the quartz boat. The technical scheme effectively reduces the probability of the silicon wafer breaking, improves the yield and greatly reduces the cost of product passivation.
【技术实现步骤摘要】
一种玻璃钝化新型石英舟
本专利技术涉及半导体玻璃烧结
,具体为一种玻璃钝化新型石英舟。
技术介绍
石英又名石英玻璃,石英玻璃是以二氧化硅组成的矿物质。石英玻璃主要用于电光源,半导体,光学新技术等方面。新型光源方面:做高压水银灯、长弧氙灯、碘钨灯、碘化铊灯、红外线灯和杀菌灯等。半导体方面:是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料,如生长锗,硅单晶的坩埚、舟皿炉芯管和钟罩等。在新
中:用其声、光、电学的极佳性能、做雷达上的超声延迟线,红外跟踪测向,红外照相、通迅、摄谱仪、分光光度计的棱镜,透镜、大型天文望远镜的反射窗,高温作业窗、反应堆、放射性装置;火箭,导弹的鼻锥体,喷嘴和天线罩:人造卫星的无线电绝缘零件,辐射;热天秤,真空吸附装置,精密铸造等。玻璃钝化芯片,是用融凝玻璃来保护PN结,用于生产高压大功率整流器件,玻璃起到减小漏电流、提高反向击穿电压的作用。常用的玻璃钝化保护工艺一般采用刮涂法、光阻法或电泳法进行玻璃涂覆,然后对玻璃进行高温烧结,旨在除去玻璃中的有机成分及碳元素,冷却后凝固形成结构致密、热稳定性好、机械性能强的玻璃体,而单张晶片经过光刻及蚀刻工艺往往有几千颗芯片,因此玻璃烧结的均匀性显得至关重要。当前玻璃烧结使用的是75槽的石英舟,进行烧结时硅片垂直放置在石英舟上,由于玻璃烧结前是粉末状,烧结完成后变成固态钝化层,因此烧结完成后大量的玻璃粉残留在石英舟槽中,当站点的硅片碎片率达到1.12%。
技术实现思路
本专利技术的目的在 ...
【技术保护点】
1.一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构(1),其特征在于:所述石英舟机构(1)上设有主支架(5),主支架(5)的上方设有一级石英舟支架(2),所述一级石英舟支架(2)与主支架(5)之间焊接固定,所述一级石英舟支架(2)的上方靠近两端的端头上设有一级石英舟(4),所述主支架(5)的底部对称设有二级石英舟(6),二级石英舟(6)的两端端头与主支架(5)的内壁焊接连接,所述一级石英舟(4),二级石英舟(6)的内部均设有石英舟槽(3)。/n
【技术特征摘要】
1.一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构(1),其特征在于:所述石英舟机构(1)上设有主支架(5),主支架(5)的上方设有一级石英舟支架(2),所述一级石英舟支架(2)与主支架(5)之间焊接固定,所述一级石英舟支架(2)的上方靠近两端的端头上设有一级石英舟(4),所述主支架(5)的底部对称设有二级石英舟(6),二级石英舟(6)的两端端头与主支架(5)的内壁焊接连接,所述一级石英舟(4),二级石英舟(6)的内部均设有石英舟槽(3)。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃钝化新型石英舟,其特征在于:所述石英舟槽(3)宽为10mm,槽深15mm。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃钝化新型石英舟,其特征在于:所述石英舟槽(3)倾角为80...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔文荣,
申请(专利权)人:江苏晟驰微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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