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ITO玻璃表面的处理方法技术

技术编号:11412466 阅读:147 留言:0更新日期:2015-05-06 12:23
本发明专利技术公开了一种ITO玻璃表面的处理方法,采用高频放电方法对ITO玻璃表面进行了处理,具体为:将ITO玻璃表面清洗干净烘干后,使用A型电火花真空检测器对ITO玻璃进行表面处理,高频放电处理时间为0-5min。在本发明专利技术方法处理的ITO玻璃上,依次制备真空蒸发有机层和全反射阴极,本发明专利技术处理OLED阳极ITO的方法可以有效提高ITO功函数,从而使OLED驱动电压下降,亮度和效率提高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种ITO玻璃表面的处理方法,其特征在于,采用高频放电方法对ITO玻璃表面进行了处理,具体为:将ITO玻璃表面清洗干净烘干后,使用A型电火花真空检测器对ITO玻璃进行表面处理,高频放电处理时间为0‑5min。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱文清钱冰洁肖腾俞静婷翟光胜汤梅孙亮亮
申请(专利权)人:上海大学
类型:发明
国别省市:上海;31

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