本发明专利技术涉及平板玻璃表面的异物检测装置，包括：A面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部朝向A面，以A面的法线向量为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束；A面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄，该激光束是从A面激光束照射装置而照射；B面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部，以A面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述A面照射第2波长的激光束；B面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄，该激光束是从B面激光束照射装置而照射；以及检测信号处理部。本发明专利技术可对存在于平板玻璃基板上的异物附着于A面与B面中的哪一面进行准确检测。
【技术实现步骤摘要】
【专利说明】[00011 本申请是申请号201010141431.1，申请日2010年03月25日，专利技术名称为"平板玻璃 表面的异物检测装置"专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及一种平板玻璃(flat glass plate)表面的异物检测装置，更具体而 言，涉及一种可对蒸镀着微电路(micro-circuit)的图案的面的异物进行准确检测的平板 玻璃表面的异物检测装置。
技术介绍
用于平板显示器(plat display)的平板玻璃，只在一面上蒸镀着微电路的图案， 玻璃业界将该面称作"A面"，而另一面上并未蒸镀着微电路的图案，且玻璃业界将该另一面 称作"B面"。 在平板玻璃的A面的表面有异物的情况下，如果将微电路的图案蒸镀在此异物之 上，则容易引起微电路的图案不良。因此，必须在蒸镀微电路的图案之前，准确检查出玻璃 基板(特别是应蒸镀着电路的A面)上是否有异物。 图1是现有的平板玻璃表面的异物检测装置的示意图。现有的平板玻璃表面的异 物检测装置使用激光束（laser beam)照射部20将具有较小厚度的激光束从倾斜方向射入 至平板玻璃。所射入的激光束31的一部分在通过平板玻璃后会透过该平板玻璃而形成一种 透过激光束35,而所射入的激光束31的剩余部分则被平板玻璃所反射，从而形成反射激光 束33。 如图1所示，当使激光束以与平板玻璃的面形成较大角度的方式而从倾斜方向射 入时，所射入的激光束31到达平板玻璃的A面的部位与投射激光束35到达平板玻璃的B面的 部位之间会存在SL程度的水平距离上的差异。 当在A面的上部使用A面摄像装置11来对异物进行拍摄时，能够对只存在于平面玻 璃的A面上的异物进行拍摄。此时的原理中利用了如下现象，即，当A面摄像装置11进行拍摄 时，仅到达平板玻璃的A面的激光束因 A面的异物81而产生散射并朝向透镜（lens)射入，而 到达平板玻璃的B面的激光束在偏离了SL程度的位置处到达平板玻璃的B面，因此不会射入 至A面摄像装置11的透镜中。然而，图1的现有的平板玻璃表面的异物检测装置中存在如下 问题：如果所使用的激光束的厚度不是非常薄，则无法只对平板玻璃的A面的异物进行检 测，而根据现实中能够使用的激光束的厚度，存在于平板玻璃的B面上的一部分异物91也会 一同被检测到。 因平板玻璃的A面与平板玻璃的B面上附着有异物不过是普通的现象，所以在如图 1所示的现有的异物检测装置中会检测到位于平板玻璃的B面上的一部分异物，因而如果使 用该检测结果，则无法获取与平板玻璃的A面上的异物相关的准确信息。此外，目前的现状 为，如果平板玻璃的厚度越薄，则射入激光束31到达平板玻璃的A面的部位与投射激光束35 到达平板玻璃的B面部位之间的水平距离上的差异即SL减少，从而检测结果更不准确。 另一问题则为：当平板玻璃的移送装置上下振动时，准确地区分A面的异物与B面 的异物将变得更加困难。因而存在如下问题，即：为了解决如上所述的问题，必须在现有的 平板玻璃的异物检测装置中使用高价的精密搬送设备。
技术实现思路
本专利技术是为了解决所述问题而完成的，其目的在于提供一种平板玻璃表面的异物 检测装置，其即便使用上下振动的相对廉价的搬送装备，也能够对附着于蒸镀着微电路的 图案的平板玻璃的表面的A面上的异物进行准确检测。 本专利技术的所述目的可通过平板玻璃表面的异物检测装置而达成，所述平板玻璃表 面的异物检测装置对附着于平板玻璃的表面上的异物进行检测，所述平板玻璃包括由A面 与B面构成的两面，其特征在于包括:A面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部朝向所 述A面，以A面的法线向量(normal vector)为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1 波长的激光束;A面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄，所述激 光束是从A面激光束照射装置而照射;B面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部，以A面 的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度朝向所述A面而照射第2波长的激光束， 所述第2波长的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透过后所得;B 面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄，所述激光束是从B面激 光束照射装置而照射；以及检测信号处理部，对从A面摄像装置及B面摄像装置所输入的影 像图像进行分析，通过对哪个摄像装置更清晰地输出异物来进行判别，而对附着异物的面 进行判别。根据本专利技术的平板玻璃表面的异物检测装置，即便使用发生上下振动的精度低的 平板玻璃的移送装置，也可对存在于平板玻璃基板上的异物附着于A面与B面中的哪一面进 行准确检测，因此使用该异物检测装置，能够使生产液晶显示器（Liquid Crystal Display，IXD)、有机电致发光(electroluminescence，EL)等的平板显示器时有可能发生的 微图案的不良现象减少。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段， 并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。【附图说明】 为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发 明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根 据这些附图获得其他的附图。 图1是现有的平板玻璃表面的异物检测装置的示意图。 图2是示意地表示本专利技术的平板玻璃表面的异物检测装置的较佳实施方式的结构 图。 图3是图2的A-A'方向的局部剖面图。图4是表示相对于S偏光波对玻璃的射入角的透过率（transmittance)及反射率 (reflectance)的图表。图5是说明相对于激光束的射入角的反射角及透过角的波形图。图6是表示相对于P偏光波对玻璃的射入角的透过率及反射率的图表。 图7是用于说明P偏光及S偏光的波形图。 图8是用于说明由A面激光照射装置所照射的激光束在因附着于玻璃基板上的异 物而产生散射后，由A面摄像装置进行检测的过程的说明图。 图9是表示经由本专利技术的平板玻璃表面的异物检测装置来对附着于玻璃基板上的 异物进行检测，且视觉上显示出该检测结果的实施方式。 图10是用于说明即便在玻璃基板的移送装置垂直移动的情况下，也可通过本专利技术 的平板玻璃表面的异物检测装置来准确进行异物的检测的说明图。 图11是用于说明本专利技术中所使用的激光束的形状的说明图。 11 :A面摄像装置 当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种平板玻璃表面的异物检测装置，对存在于透明的平板玻璃的A面以及B面上的异物进行检测，并且检测所述异物是否存在于所述A面以及所述B面，其中所述平板玻璃被移送以及因附着的所述异物而散射激光束，所述异物检测装置的特征在于包括：A面激光束照射装置，以A面的法线向量为基准且以第一角度照射具有第1波长的S偏光的激光束至所述平板玻璃的所述A面上的区域S；A面摄像装置，对所述区域S进行拍摄；B面激光束照射装置，以所述平板玻璃的所述A面的法线向量为基准且以比所述第一角度更小的第二角度朝向所述A面上的所述区域S而照射第2波长的激光束，被照射在所述区域S上的所述激光束的大部分在所述平板玻璃的厚度方向上透过，所述第2波长不同于所述第1波长；B面摄像装置，对将激光束照射至所述平板玻璃的B面上的所述区域S部位进行拍摄，所述激光束是从所述B面激光束照射装置透过至所述平板玻璃的B面；以及检测信号处理部，对从所述A面摄像装置及所述B面摄像装置所输入的影像图像进行分析，利用所述异物的清晰度而对附着所述异物的面进行判别，其中所述异物的清晰度基于所述A面摄像装置及所述B面摄像装置所拍摄已检测的所述异物的影像的分辨率，其中，所述A面激光束照射装置以及所述B面激光束照射装置皆设置于所述A面的上方，所述A面摄像装置以及所述B面摄像装置接收散射的激光束，所述散射的激光束是被附着在所述A面与所述B面的异物所散射，其中，所述A面激光束照射装置位于第一侧并从所述第一侧照射，其中第一侧与所述平板玻璃的移送方向垂直，所述B面激光束照射装置位于第二侧并从所述第二侧照射，以所述A面的法线向量为基准，所述第二侧为所述第一侧的相对侧，其中，所述A面摄像装置以及所述B面摄像装置皆垂直设置于所述区域S的上方，所述A面摄像装置设置在：来自所述A面激光束照射装置的激光束的反射光的光路之外，所述B面摄像装置设置在：来自所述B面激光束照射装置的激光束的反射光的光路之外。...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：金贤祐，朴晋弘，金台皓，李昌夏，
申请(专利权)人：康宁精密素材株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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