平板玻璃表面的异物检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及平板玻璃表面的异物检测装置，包括：Ａ面激光束照射装置，从平板玻璃的Ａ面的上部朝向Ａ面，以Ａ面的法线向量为基准且以第一角度照射已向Ｓ方向偏光的第１波长的激光束；Ａ面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的Ａ面上的部位进行拍摄，该激光束是从Ａ面激光束照射装置而照射；Ｂ面激光束照射装置，从平板玻璃的Ａ面的上部，以Ａ面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述Ａ面照射第２波长的激光束，所述第２波长的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透过后所得；Ｂ面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的Ｂ面上的部位进行拍摄，该激光束是从Ｂ面激光束照射装置而照射；以及检测信号处理部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种平板玻璃(flat glass plate)表面的异物检测装置，更具体而 言，涉及一种可对蒸镀着微电路(micro-circuit)的图案的面的异物进行准确检测的平板 玻璃表面的异物检测装置。
技术介绍
用于平板显示器(plat display)的平板玻璃，只在一面上蒸镀着微电路的图案， 玻璃业界将该面称作“A面”，而另一面上并未蒸镀着微电路的图案，且玻璃业界将该另一面 称作“B面”。在平板玻璃的A面的表面有异物的情况下，如果将微电路的图案蒸镀在此异物之 上，则容易引起微电路的图案不良。因此，必须在蒸镀微电路的图案之前，准确检查出玻璃 基板(特别是应蒸镀着电路的A面)上是否有异物。图1是现有的平板玻璃表面的异物检测装置的示意图。现有的平板玻璃表面的异 物检测装置使用激光束(laser beam)照射部20将具有较小厚度的激光束从倾斜方向射入 至平板玻璃。所射入的激光束31的一部分在通过平板玻璃后会透过该平板玻璃而形成一 种透过激光束35，而所射入的激光束31的剩余部分则被平板玻璃所反射，从而形成反射激 光束33。如图1所示，当使激光束以与平板玻璃的面形成较大角度的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种平板玻璃表面的异物检测装置，对附着于平板玻璃的表面上的异物进行检测，所述平板玻璃包括由Ａ面与Ｂ面构成的两面，其特征在于包括：Ａ面激光束照射装置，从所述平板玻璃的Ａ面的上部朝向所述Ａ面，以Ａ面的法线向量为基准且以第一角度照射已向Ｓ方向偏光的第１波长的激光束；Ａ面摄像装置，对将激光束照射至所述平板玻璃的Ａ面上的部位进行拍摄，所述激光束是从所述Ａ面激光束照射装置而照射；Ｂ面激光束照射装置，从所述平板玻璃的Ａ面的上部，以Ａ面的法线向量为基准且以比所述第一角度更小的第二角度朝向所述Ａ面而照射第２波长的激光束，所述第２波长的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透过后所得；Ｂ面摄像装...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金贤祐，朴晋弘，金台皓，李昌夏，
申请(专利权)人：三星康宁精密素材株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]