下载平板玻璃表面的异物检测装置的技术资料

文档序号:6102708

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本发明涉及平板玻璃表面的异物检测装置,包括:A面激光束照射装置,从平板玻璃的A面的上部朝向A面,以A面的法线向量为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束;A面摄像装置,对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄,该激光束是...
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