图像获取装置及图像获取方法制造方法及图纸

一种图像获取装置及图像获取方法，可恰当地获取表示对象层的变质的部分的图像。图像获取装置中，将一部分因光的照射而变质的基材上的抗蚀剂层作为拍摄对象。图像在获取时，将从光照射部到线状的拍摄区域的光轴与抗蚀剂层的法线形成的照射角、及从拍摄区域到线传感器的光轴与法线形成的检测角设定为规定的设定角度。而且，使对抗蚀剂层具有透射性且波长不包含于抗蚀剂层的感光波长范围的光从光照射部出射，同时使基材沿与拍摄区域交叉的方向移动，由此利用线传感器获取图像。由此，能够不对非感光部分造成影响地恰当地获取表示抗蚀剂层的已感光的部分的图像。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
以前，对形成于基材上的各种图案进行检查。例如，在对形成于基材上的透明电极图案进行检查时，利用经由透明配线而连接于透明电极的金属电极进行导通检查。然而，在图案中产生了缺陷的情形时，仅利用导通检查无法确认其位置或种类，从而难以改善因该缺陷引起的良率的降低。因此，专利文献1中提出有获取形成于基材上的透明电极图案的检查图像的装置。专利文献1的装置中，求出从光照射部到拍摄区域的光轴与基材的法线形成的照射角的设定角度，将照射角设定为设定角度，且将从拍摄区域到线传感器的光轴与法线形成的检测角也设定为该设定角度，由此获取对比度高的检查图像。此外，专利文献2中揭示有如下方法:对基板上的抗蚀剂层进行曝光后，使用波长522nm?645nm的光对抗蚀剂层的感光部分进行光学检查。日本专利特开2012-251808号公报日本专利特开2004-347913号公报
技术实现思路
在将图案形成于基材时，对形成有抗蚀剂层的基材进行曝光工艺及显影工艺，从而形成抗蚀剂层的图案。此时，在进行显影工艺前，如专利文献2所述获取表示抗蚀剂层的感光部分的图像，由此能够提前判断曝光工艺中有无异常。然而，当专利文献2的方法中所用的光的波长522nm?645nm包含于抗蚀剂层的感光波长范围时，无法不对抗蚀剂层的非感光部分造成影响地获取图像。另外，存在如下有益的情况:除了表示抗蚀剂层的感光部分的图像以外，也获取如下图像，所述图像表示一部分因规定的处理而变质的层中的变质的部分。本专利技术是鉴于所述问题而成，其目的在于恰当地获取如下图像，所述图像表示一部分因规定的处理而变质的层中的变质的部分。技术方案1所述的专利技术是图像获取装置，其包括:支撑部，对基材进行支撑，所述基材是以由其它材料形成于基材上的层、或包含基材自身的表面的层作为对象层，且所述对象层的一部分因规定的处理而变质；光照射部，出射对所述对象层具有透射性的波长的光；线传感器，接收来自照射有所述光的线状的拍摄区域的光；移动机构，使所述基材相对于所述拍摄区域沿与所述拍摄区域交叉的方向相对地移动；以及角度变更机构，一边将从所述光照射部到所述拍摄区域的光轴与所述对象层的法线形成的照射角、及从所述拍摄区域到所述线传感器的光轴与所述法线形成的检测角维持为相等，一边变更所述照射角及所述检测角。技术方案2所述的专利技术是根据技术方案1所述的图像获取装置，其中所述对象层是利用感光性材料形成的层，且所述对象层的所述一部分因光的照射而变质，并且从所述光照射部出射的光的波长不包含于所述感光性材料的感光波长范围。技术方案3所述的专利技术是根据技术方案2所述的图像获取装置，其中所述对象层是利用光致抗蚀剂而形成于所述基材上的层。技术方案4所述的专利技术是根据技术方案1所述的图像获取装置，其中所述对象层是设于所述基材自身的光波导的层，且所述对象层的所述一部分因掺杂所致的其他材料的添加而变质。技术方案5所述的专利技术是图像获取方法，其包括如下工序:将在基材上以其他材料形成的层或是包含基材自身的表面的层作为对象层，且准备使所述对象层的一部分因规定的处理而变质所的基材时，求出从光照射部到线状的拍摄区域的光轴与对象层的法线形成的照射角的设定角度，所述光照射部出射对所述对象层具有透射性的波长的光；将所述照射角设定为所述设定角度，且将从所述拍摄区域到线传感器的光轴与所述法线形成的检测角也设定为所述设定角度；以及使所述基材相对于所述拍摄区域沿与所述拍摄区域交叉的方向相对地移动而获取图像。技术方案6所述的专利技术是根据技术方案5所述的图像获取方法，其中所述对象层是利用感光性材料形成的层，且所述对象层的所述一部分因光的照射而变质，并且从所述光照射部出射的光的波长不包含于所述感光性材料的感光波长范围。技术方案7所述的专利技术是根据技术方案6所述的图像获取方法，其中所述对象层是利用光致抗蚀剂而形成于所述基材上的层。技术方案8所述的专利技术是根据技术方案5所述的图像获取方法，其中所述对象层是设于所述基材自身的光波导的层，且所述对象层的所述一部分因掺杂所致的其他材料的添加而变质。根据本专利技术，能够恰当地获取表示对象层的变质的部分的图像。【附图说明】图1是表示图案形成系统的构成的图。图2是表示图像获取部的正视图。图3是表示工艺监视装置的功能构成的方块图。图4是表不形成图案的处理的流程的图。图5是表示形成图案的处理的流程的图。图6是表示基材的剖面图。图7是表不获取图像的处理的流程的图。图8是表示各波长的感光图案的对比度与照射角的关系的图。图9是表不感光图案图像的照片。图10是表示图像获取装置的构成的图。图11是表示基材的剖面图。1:图案形成系统3、3a?3d:图像获取部4:工艺监视装置9、9a:基材10:计算机11:搬送机构11a:移动机构12:缓冲装置21:曝光装置22:显影装置23:蚀刻装置24:抗蚀剂剥离装置30:图像获取装置31:光照射部32:线传感器33:角度变更机构34:底壁35、36:电动机41:缺陷检测部42:显示部90:拍摄区域91:树脂膜92:透明导电膜93:抗蚀剂层94:光波导的层110:搬送辊110a:平台111:供给部112:回收部211:掩模部341:第一开口342:第二开口921:透明电极图案930:感光图案931:抗蚀剂图案941:核心θ 1:照射角θ 2:检测角J1:(光照射部的)光轴J2:(线传感器的)光轴N:(基材的)法线S11 ?S26、S121 ?S123:步骤【具体实施方式】图1是表示本专利技术的一实施形态的图案形成系统1的构成的图。图案形成系统1利用蚀刻将图案形成于膜状的基材9。基材9的本体是由对可见光透明的树脂形成的、带状的连续片材。基材9例如具有由氧化铟锡(Indium Tin Oxide, ΙΤ0)形成的透明导电膜，且基材9的一主表面是透明导电膜的表面。在基材9的主表面上、即透明导电膜上预先形成有作为感光性材料的光致抗蚀剂的层(以下称为“抗蚀剂层”)。图案形成系统1包括搬送机构11、曝光装置21、缓冲装置12、显影装置22、蚀刻装置23、以及抗蚀剂剥离装置24。搬送机构11包括供给部111、回收部112、以及多个搬送辊110。供给部111以卷的形式保持图案形成前的基材9，并且从卷依次抽出基材9的各部位(即连续地存在于带状的基材9的多个部位)。回收部112以卷的形式依次回收图案形成后的基材9的部位。如此，在图案形成系统1中采用所谓的卷对卷(roll to roll)方式，即:由供给部111从卷抽出的基材9的各部位移动至回收部112，并被卷绕成卷状。多个搬送辊110沿着基材9的移动路径配置，并且从下方对移动中途的基材9进行支撑。S卩，多个搬送辊110是对基材9进行支撑的支撑部。图1中，将基材9的移动路径分为上下两段来加以图示。从供给部111朝向回收部112依序配置有曝光装置21、缓冲装置当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图像获取装置，其特征在于包括：支撑部，对基材进行支撑，所述基材是以由其它材料形成于基材上的层、或包含基材自身的表面的层作为对象层，且所述对象层的一部分因规定的处理而变质；光照射部，出射对所述对象层具有透射性的波长的光；线传感器，接收来自照射有所述光的线状的拍摄区域的光；移动机构，使所述基材相对于所述拍摄区域沿与所述拍摄区域交叉的方向相对地移动；以及角度变更机构，一边将从所述光照射部到所述拍摄区域的光轴与所述对象层的法线形成的照射角、及从所述拍摄区域到所述线传感器的光轴与所述法线形成的检测角维持为相等，一边变更所述照射角及所述检测角。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：藤原成章，
申请(专利权)人：斯克林集团公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP