一种降低TVS漏电流的钝化工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种降低TVS漏电流的钝化工艺，涉及降低TVS漏电流的钝化工艺技术领域，包括预处理、钝化处理、退火处理、后续处理和性能测试，所述预处理确保TVS器件表面清洁无污染。本发明专利技术通过利用温度传感器对钝化过程中的温度进行实时监测，并用膜厚检测仪对TVS表面所生成的薄膜厚度进行监测，然后数据处理对监测到的温度、膜厚数据进行数据清洗，将数据中存在的错误或异常进行纠正然后反馈调节进一步对处理后的数据利用机器学习算法进行处理，找出最佳钝化温度，并生成反馈建议，之后自适应控制根据反馈调节给出的反馈建议对钝化过程中的温度进行调节，便于通过钝化处理生成均匀致密的薄膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及降低tvs漏电流的钝化工艺，具体为一种降低tvs漏电流的钝化工艺。

技术介绍

1、tvs称为雪崩击穿二极管，tvs漏电流指的是在最大反向工作电压条件下，流过tvs的电流，这个参数会影响电路的性能，现有的tvs通常很小，一般处于微安级别，但在高阻抗电路中，这个小电流也会造成一定的功耗，在高精度的数据采集系统中，漏电流可能会影响到信号的准确性，利用钝化工艺使tvs的漏电流降低，难以把控最佳钝化温度，最终导致钝化效果不佳。

2、现有的降低tvs漏电流的钝化工艺存在的缺陷是：

3、1、申请文件cn117174665a，公开了一种tvs二极管表面钝化结构及其制备工艺，主要考虑如何确保器件具有良好的高可靠性、化学稳定性及高温特性，而没有考虑如何在钝化过程中，根据具体钝化情况找到最佳钝化温度；

4、2、专利文件cn219759568u，公开了一种tvs二极管表层钝化结构，主要考虑如何在保证钝化性能的同时，提高钝化结构与硅基体的电性能，而没有考虑如何改良沉积薄膜的结构和性能，进而提升钝化效果；

<p>5、3、专利文件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种降低TVS漏电流的钝化工艺，其特征在于：包括预处理、钝化处理、退火处理、后续处理和性能测试，所述预处理确保TVS器件表面清洁无污染，所述钝化处理利用沉积技术在预处理后的TVS表面形成双层膜结构，所述退火处理将经过钝化处理的TVS在高温下进行退火，所述后续处理在退火处理后，负责去除膜表面存在的杂质，所述性能测试负责对经过钝化处理的TVS进行测试，验证是否降低了TVS的漏电流；

2.根据权利要求1所述的一种降低TVS漏电流的钝化工艺，其特征在于：所述传感器包括温度传感器和膜厚检测仪。

3.根据权利要求1所述的一种降低TVS漏电流的钝化工艺，其特征在于：所述预处...

【技术特征摘要】

1.一种降低tvs漏电流的钝化工艺，其特征在于：包括预处理、钝化处理、退火处理、后续处理和性能测试，所述预处理确保tvs器件表面清洁无污染，所述钝化处理利用沉积技术在预处理后的tvs表面形成双层膜结构，所述退火处理将经过钝化处理的tvs在高温下进行退火，所述后续处理在退火处理后，负责去除膜表面存在的杂质，所述性能测试负责对经过钝化处理的tvs进行测试，验证是否降低了tvs的漏电流；

2.根据权利要求1所述的一种降低tvs漏电流的钝化工艺，其特征在于：所述传感器包括温度传感器和膜厚检测仪。

3.根据权利要求1所述的一种降低tvs漏电流的钝化工艺，其特征在于：所述预处理包括脱脂和酸洗，所述脱脂利用超声波清洗技术去除掉tvs表面存在的油脂，所述酸洗通过喷射酸液到tvs表面，快速的去除掉tvs表面的氧化皮和其他污染物。

4.根据权利要求1所述的一种降低tvs漏电流的钝化工艺，其特征在于：所述退火处理包括加热处理和冷却处理，所述加热处理负责对钝化后的tvs缓慢加热到预设温度，并在达到温度后保...

【专利技术属性】
技术研发人员：王黎明，
申请(专利权)人：江苏晟驰微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：