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本发明公开了一种降低TVS漏电流的钝化工艺，涉及降低TVS漏电流的钝化工艺技术领域，包括预处理、钝化处理、退火处理、后续处理和性能测试，所述预处理确保TVS器件表面清洁无污染。本发明通过利用温度传感器对钝化过程中的温度进行实时监测，并用膜厚...
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