当前位置: 首页 > 专利查询>中山大学专利>正文

一种基于Sn掺杂PbSe量子点的中红外焦平面探测器制备方法技术

技术编号:41333456 阅读:19 留言:0更新日期:2024-05-20 09:53
本发明专利技术涉及中红外焦平面探测器热成像技术领域,更具体地,涉及一种基于Sn掺杂PbSe量子点的中红外焦平面探测器制备方法。中红外焦平面探测器的制备是在ROIC基底上,分别采用离子束溅射法,旋涂法,旋涂法,离子束溅射法依次构建了Au底电极,PbS空穴传输层,Sn掺杂的PbSe光敏层,ZnO电子传输层的PIN异质结,最终采用离子束溅射法蒸镀ITO顶电极构成。基于Sn掺杂的PbSe量子点具备高中红外响应的优势,且本发明专利技术的方法能够实现低成本、芯片化、工艺简单的非制冷型PbSe中红外焦平面探测器的制备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及中红外焦平面探测器热成像,更具体地,涉及一种基于sn掺杂pbse量子点的中红外焦平面探测器制备方法。


技术介绍

1、至今为止红外探测器已经经历了从第一代到第四代的发展,从单像素探测器逐渐发展为大面阵、小型化、低成本、双色以及多列阵的焦平面探测器。按照大气窗口透过的工作红外波长划分,可以将红外探测器划分为近红外探测器(1-3μm),中红外探测器(3-5μm)和远红外探测器(8-10μm)。另外,根据探测器的使用温度不同,又可以将红外探测器分成制冷型和非制冷型探测器。制冷型探测器由于其探测率高,信噪比低而受到广泛应用,但由于其体积大(杜瓦瓶封装)以及能耗大(液氮循环制冷)也限制了进一步的发展。非制冷型探测器由于其芯片级尺寸,室温工作温度而受到民用市场青睐,按照其工作原理不同又可分为热敏型探测器和光子型探测器。其中,光子型探测器的响应速度要比热敏型探测器高1-2个数量级,因此在焦平面列阵的热成像方面具备较大的优势。

2、目前,国内外非制冷型光子型红外探测器已经实现近红外区(1-3μm)焦平面探测器阵列的突破并且实现了商品化应用,包括in本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于Sn掺杂PbSe量子点的中红外焦平面探测器制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的基于Sn掺杂PbSe量子点的中红外焦平面探测器制备方法,其特征在于,Sn掺杂的PbSe量子点和PbS量子点通过热注入法合成,其中Sn掺杂的PbSe量子点在合成之后应用室温氧化法和液相碘化法进行表面改性处理。

3.根据权利要求2所述的基于Sn掺杂PbSe量子点的中红外焦平面探测器制备方法,其特征在于,所述步骤S2包括:

4.根据权利要求3所述的基于Sn掺杂PbSe量子点的中红外焦平面探测器制备方法,其特征在于,所述步骤S21包括:

<...

【技术特征摘要】

1.一种基于sn掺杂pbse量子点的中红外焦平面探测器制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的基于sn掺杂pbse量子点的中红外焦平面探测器制备方法,其特征在于,sn掺杂的pbse量子点和pbs量子点通过热注入法合成,其中sn掺杂的pbse量子点在合成之后应用室温氧化法和液相碘化法进行表面改性处理。

3.根据权利要求2所述的基于sn掺杂pbse量子点的中红外焦平面探测器制备方法,其特征在于,所述步骤s2包括:

4.根据权利要求3所述的基于sn掺杂pbse量子点的中红外焦平面探测器制备方法,其特征在于,所述步骤s21包括:

5. 根据权利要求4所述的基于sn掺杂pbse量子点的中红外焦平面探测器制备方法,其特征在于,所述步骤s211具体包括:称取适量氧化铅于容器a中,再在容器a中加入氧化铅重量2~3倍的ode和oa溶液,将容器a在100℃~110℃下真空加热一段时间,待温度升至140℃~150℃。

6.根据权利要求2所述的基于sn掺杂pbse量子点的中红外焦平面...

【专利技术属性】
技术研发人员:李朝晖陈逸帆
申请(专利权)人:中山大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1