一种液态化学品温控供应系统及晶圆刻蚀清洗设备技术方案

本实用新型专利技术涉及一种液态化学品温控供应系统，包括至少一个化学品储存室和至少一个反应腔，每个化学品储存室均对应设置有化学槽循环加热管路，所述化学槽循环加热管路输出端通过第一传输管路与各所述反应腔连通；各所述第一传输管路中均设置有第一加热器和第一温度侦测计，且所述第一温度侦测计设置于所述第一传输管路与所述反应腔相连接的一端的端口处；实现液态化学品到达各反应腔时的温度与从化学槽循环加热管路输出时的温度一致。本实用新型专利技术还涉及一种晶圆刻蚀清洗设备，其能有效提高产品的工艺稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学品供应
，特别涉及一种液态化学品温控供应系统及晶圆刻蚀清洗设备。
技术介绍
在湿式单片晶圆清洗和蚀刻过程中，会用到多种化学品。针对液态化学品的供应系统，需要对液态化学品的浓度和温度实现高精度控制，从而实现工艺的高度稳定性。目前，单片晶圆清洗和蚀刻机台中，液态化学品供应系统都是使用化学槽循环加热，通过温度侦测值实现PID反馈来达到工艺需求温度；然后，将温度控制稳定后的液态化学品输送到各个反应腔体来实施工艺流程。但是，由于温度控制仅设置在化学槽循环加热管路中，而液态化学品从化学槽循环加热管路输出端到达各反应腔需经传输管路，具有热损耗，导致化学品到达各反应腔时的实际温度与从化学槽循环加热管路输出时的温度存在温差，且到达各反应腔传输管路长度不同，温差各异；最终影响产品的工艺稳定性，尤其对于高温的化学品蚀刻工艺，微小的温差对工艺反应的蚀刻率影响显著。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种液态化学品温控供应系统，其能够有效补偿传输管路热损耗，保证液态化学品到达各反应腔时的温度与从化学槽循环加热管路输出时的温度一致。本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种液态化学品温控供应系统，包括至少一个化学品储存室和至少一个反应腔，每个化学品储存室均对应设置有化学槽循环加热管路，所述化学槽循环加热管路输出端通过第一传输管路与各所述反应腔连通；各所述第一传输管路中均设置有第一加热器和第一温度侦测计，且所述第一温度侦测计设置于所述第一传输管路与所述反应腔相连接的一端的端口处。本技术的有益效果是：根据第一温度侦测计侦测到的第一传输管路与反应腔相连接的一端的端口处输出的液态化学品的温度，调节第一加热器的输出功率，对第一传输管路中所产生的热损耗进行补偿，从而实现液态化学品到达各反应腔时的温度与从化学槽循环加热管路输出时的温度一致；且化学槽循环加热管路输出端到各反应腔的第一传输管路长度固定，对第一加热器的输出功率可一次设定，无需实时变动，操作简单易行。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进。进一步，所述系统还包括第一控制器，所述第一加热器、第一控制器和第一温度侦测计依次电连接。采用上述进一步方案的有益效果是，第一控制器根据第一温度侦测计侦测到的第一传输管路与反应腔相连接的一端的端口处输出的液态化学品的温度，自动调节第一加热器的输出功率，实现自动化控制。进一步，所述化学槽循环加热管路包括化学槽、抽取泵、第二加热器、第二温度侦测计和过滤器，所述化学槽、抽取泵、第二加热器、第二温度侦测计和过滤器通过第二传输管路依次首尾连接形成回路，所述过滤器的输出端还与所述第一传输管路连接。采用上述进一步方案的有益效果是，化学品储存室中的液态化学品进入化学槽，经抽取泵的抽取在回路中循环流动，并根据第二温度侦测计侦测到的第二传输管路中液态化学品的温度，调节第二加热器的输出功率，对回路中的液态化学品进行加热，实现化学槽循环加热管路输出的液态化学品的温度稳定。进一步，所述系统还包括第二控制器，所述第二加热器、第二控制器和第二温度侦测计依次电连接。采用上述进一步方案的有益效果是，第二控制器根据第二温度侦测计侦测到的第二传输管路中液态化学品的温度，自动调节第二加热器的输出功率，实现自动化控制。本技术的另一技术方案如下：一种晶圆刻蚀清洗设备，包括上述一种液态化学品温控供应系统。本技术的有益效果是：液态化学品到达各反应腔时的温度与从化学槽循环加热管路输出时的温度一致，有效提高反应腔中晶圆刻蚀清洗的工艺稳定性。附图说明图1为本技术一种液态化学品温控供应系统示意图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、化学品储存室，2、反应腔，3、化学槽循环加热管路，31、化学槽，32、抽取泵，33、第二加热器，34、第二温度侦测计，35、过滤器，4、第一传输管路，41、第一加热器，42、第一温度侦测计，5、第二传输管路。具体实施方式以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。如图1所示，一种液态化学品温控供应系统，包括至少一个化学品储存室1和至少一个反应腔2，每个化学品储存室1均对应设置有化学槽循环加热管路3，所述化学槽循环加热管路3输出端通过第一传输管路4与各所述反应腔2连通；各所述第一传输管路4中均设置有第一加热器41和第一温度侦测计42，且所述第一温度侦测计42设置于所述第一传输管路4与所述反应腔2相连接的一端的端口处。所述化学槽循环加热管路3包括化学槽31、抽取泵32、第二加热器33、第二温度侦测计34和过滤器35，所述化学槽31、抽取泵32、第二加热器33、第二温度侦测计34和过滤器35通过第二传输管路5依次首尾连接形成回路，所述过滤器35的输出端为所述化学槽循环加热管路3输出端与所述第一传输管路4连接。所述系统还包括第一控制器，所述第一加热器41、第一控制器和第一温度侦测计42依次电连接。所述系统还包括第二控制器，所述第二加热器33、第二控制器和第二温度侦测计34依次电连接。一种晶圆刻蚀清洗设备，包括上述一种液态化学品温控供应系统。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液态化学品温控供应系统，其特征在于，包括至少一个化学品储存室(1)和至少一个反应腔(2)，每个化学品储存室(1)均对应设置有化学槽循环加热管路(3)，所述化学槽循环加热管路(3)输出端通过第一传输管路(4)与各所述反应腔(2)连通；各所述第一传输管路(4)中均设置有第一加热器(41)和第一温度侦测计(42)，且所述第一温度侦测计(42)设置于所述第一传输管路(4)与所述反应腔(2)相连接的一端的端口处。

【技术特征摘要】
1.一种液态化学品温控供应系统，其特征在于，包括至少一个化学品储存室(1)和至少一个反应腔(2)，每个化学品储存室(1)均对应设置有化学槽循环加热管路(3)，所述化学槽循环加热管路(3)输出端通过第一传输管路(4)与各所述反应腔(2)连通；各所述第一传输管路(4)中均设置有第一加热器(41)和第一温度侦测计(42)，且所述第一温度侦测计(42)设置于所述第一传输管路(4)与所述反应腔(2)相连接的一端的端口处。2.根据权利要求1所述一种液态化学品温控供应系统，其特征在于，还包括第一控制器，所述第一加热器(41)、第一控制器和第一温度侦测计(42)依次电连接。3.根据权利要求1所述一种液态...

【专利技术属性】
技术研发人员：金小斗，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42