晶圆专用储存架制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路
，特别涉及晶圆的储存装置。
技术介绍
现有的晶圆一般集装于储存箱中，由于放置不合理，晶圆之间会相互接触，还存在碰撞箱内壁的状况，从而存在一定的破损率。
技术实现思路
针对现有晶圆储存装置存在的上述问题，申请人进行研究及改进，提供一种晶圆专用储存架，晶圆放置于可一定角度范围内转动的支撑框中，避免晶圆碰撞，调节安放角度，方便储运。为了解决上述问题，本专利技术采用如下方案：一种晶圆专用储存架，包括顶横梁、底横梁及安装于所述顶横梁与底横梁之间的多个支撑框，所述支撑框间隔布置于顶横梁与底横梁之间，支撑框的上下两端均设有转轴，借助所述转轴与顶横梁及底横梁转动连接，支撑框上设有贯通的、可容晶圆置入的安放槽，所述安放槽的上下两端具有软垫。本专利技术的技术效果在于：本专利技术中，间隔设置的支撑框，晶圆的安放操作简单，支撑框可调节角度，方便储存架根据需要置入包装箱中，使用方便。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中：1、顶横梁；2、底横梁；3、支撑框；4、转轴；5、安放槽；6、软垫。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步说明。如图1所示，本实施例的晶圆专用储存架，包括顶横梁1、底横梁2及安装于顶横梁1与底横梁2之间的多个支撑框3，支撑框3间隔布置于顶横梁1与底横梁2之间，支撑框3的上下两端均设有转轴4，借助转轴4与顶横梁1及底横梁2转动连接，支撑框3上设有贯通的、可容晶圆置入的安放槽5，安放槽5的上下两端具有软垫6。使用时，将晶圆直接卡入安放槽5中，由于软垫6的设置，可防止晶圆脱离。晶圆放入后，可适当转动支撑框3的角度，以将...
【技术保护点】
一种晶圆专用储存架，其特征在于：包括顶横梁(1)、底横梁(2)及安装于所述顶横梁(1)与底横梁(2)之间的多个支撑框(3)，所述支撑框(3)间隔布置于顶横梁(1)与底横梁(2)之间，支撑框(3)的上下两端均设有转轴(4)，借助所述转轴(4)与顶横梁(1)及底横梁(2)转动连接，支撑框(3)上设有贯通的、可容晶圆置入的安放槽(5)，所述安放槽(5)的上下两端具有软垫(6)。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆专用储存架，其特征在于：包括顶横梁(1)、底横梁(2)及安装于所述顶横梁(1)与底横梁(2)之间的多个支撑框(3)，所述支撑框(3)间隔布置于顶横梁(1)与底横梁(2)之间，支...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕耀安，
申请(专利权)人：无锡宏纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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