【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，特别涉及一种贴膜设备及膜量监控方法。
技术介绍
1、贴膜设备在半导体制造领域具有非常广泛的应用。特别是在后段封装测试的工艺中，需要将各种类型的胶带(如back grinding tape，背面研磨胶带；dicing tape，切割胶带；heat resistant peelable adhesive tape，耐热可剥离胶带)平整地贴在晶圆的正面或者背面，同时也贴在比晶圆尺寸稍大的同心固定框架(frame)上，以便执行相应的半导体工艺。
2、现有的贴膜设备中，依赖一种光学传感器作为膜量监控装置。其原理是依赖胶带不透光的性质，通过固定位置处的激光发射器和光信号接收器来监测剩余胶带的外半径。当胶带厚度不足时，触发传感器。
3、采用这种膜量监控装置的贴膜设备具有以下四方面的缺陷：
4、第一，容易造成胶带冗余浪费，光学传感器触发条件依赖于光信号接收器上接收的特定波长光功率能量，而其发射光斑约有5mm直径，因此无法非常精确的知道胶带的具体外半径，势必会造成胶带的冗余浪费。
5、第二，如果换上的胶带为使用过的，其剩余膜量很少以至于无法触发光学传感器，则无法对剩余膜量进行卡控。
6、第三，这种膜量监控装置对于胶带的透光性有要求，不适用于透光率较高的胶带。
7、第四，万一意外导致光学传感器位置偏离或者损坏，则整个贴膜设备将处于无膜量监控的状态。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种贴膜设备及
2、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种贴膜设备，所述贴膜设备包括：
3、贴覆装置，所述贴覆装置用于承载胶带并将所述胶带输送至待粘贴器件上；以及，
4、至少两个膜量监控装置，所述至少两个膜量监控装置均用于监测所述胶带的剩余膜量，所述至少两个膜量监控装置包括第一膜量监控装置，所述第一膜量监控装置为接触式传感器，所述第一膜量监控装置用于和所述胶带的外表面相接触以测量所述胶带的外半径并通过所述胶带的外半径获取所述胶带的剩余膜量。
5、可选的，在所述的贴膜设备中，所述第一膜量监控装置为气缸型接触式传感器。
6、可选的，在所述的贴膜设备中，所述至少两个膜量监控装置包括第二膜量监控装置，所述第二膜量监控装置为计数器，所述第二膜量监控装置用于根据所述胶带的已贴膜次数来获取所述胶带的剩余膜量。
7、可选的，在所述的贴膜设备中，所述第二膜量监控装置和所述贴覆装置相连，从所述贴覆装置的工作记录中获取所述胶带的已贴膜次数。
8、可选的，在所述的贴膜设备中，所述贴膜设备仅包括两个所述膜量监控装置。
9、可选的，在所述的贴膜设备中，所述贴膜设备还包括报警装置，所述报警装置与各所述膜量监控装置均连接，并且在至少一个所述膜量监控装置获取的所述胶带的剩余膜量低于一预设值时，发出警报。
10、本专利技术还提供一种上述贴膜设备的膜量监控方法，所述膜量监控方法包括：
11、至少两个膜量监控装置监测贴覆装置承载的胶带的剩余膜量，其中，至少一个所述膜量监控装置和所述胶带的外表面相接触以测量所述胶带的外半径并通过所述胶带的外半径获取所述胶带的剩余膜量。
12、可选的，在所述的膜量监控方法中，至少两个膜量监控装置监测贴覆装置承载的胶带的剩余膜量还包括：至少一个所述膜量监控装置根据所述胶带的已贴膜次数来获取所述胶带的剩余膜量。
13、可选的，在所述的膜量监控方法中，至少一个所述膜量监控装置根据所述胶带的已贴膜次数来获取所述胶带的剩余膜量包括：至少一个所述膜量监控装置从所述贴覆装置的工作记录中获取所述胶带的已贴膜次数，并根据所述胶带的已贴膜次数来获取所述胶带的剩余膜量。
14、可选的，在所述的膜量监控方法中，所述膜量监控方法还包括：
15、在所述胶带的剩余膜量低于一预设值时，报警装置发出警报。
16、在本专利技术提供的贴膜设备及膜量监控方法中，所述贴膜设备包括至少两个膜量监控装置，所述至少两个膜量监控装置均用于监测所述胶带的剩余膜量，由此，对胶带的剩余膜量的监测具有双重保险机制，即使其中一个膜量监控装置发生损坏、偏移等问题，还是至少一个膜量监控装置能够正常监控胶带的剩余膜量，保证了剩余膜量监控的可靠性。进一步的，所述至少两个膜量监控装置包括第一膜量监控装置，所述第一膜量监控装置为接触式传感器，所述第一膜量监控装置用于和所述胶带的外表面相接触以测量所述胶带的外半径并通过所述胶带的外半径获取所述胶带的剩余膜量。由于采用了接触式传感器进行剩余膜量的监控，其对于胶带的透光性没有要求，并且精度更高，相对于光学传感器，其能够极大地减少胶带的冗余浪费，同时还能有效、可靠地监测使用过的胶带或者是透光性较高的胶带，保证了剩余膜量监控的可靠性。
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1.一种贴膜设备，其特征在于，所述贴膜设备包括：
2.如权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述第一膜量监控装置为气缸型接触式传感器。
3.如权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述至少两个膜量监控装置包括第二膜量监控装置，所述第二膜量监控装置为计数器，所述第二膜量监控装置用于根据所述胶带的已贴膜次数来获取所述胶带的剩余膜量。
4.如权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述第二膜量监控装置和所述贴覆装置相连，从所述贴覆装置的工作记录中获取所述胶带的已贴膜次数。
5.如权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴膜设备仅包括两个所述膜量监控装置。
6.如权利要求1～5中任一项所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴膜设备还包括报警装置，所述报警装置与各所述膜量监控装置均连接，并且在至少一个所述膜量监控装置获取的所述胶带的剩余膜量低于一预设值时，发出警报。
7.一种如权利要求1～6中任一项所述的贴膜设备的膜量监控方法，其特征在于，所述膜量监控方法包括：
8.如权利要求7所述的膜量监控方法，其特征在于，
9.如权利要求8所述的膜量监控方法，其特征在于，至少一个所述膜量监控装置根据所述胶带的已贴膜次数来获取所述胶带的剩余膜量包括：至少一个所述膜量监控装置从所述贴覆装置的工作记录中获取所述胶带的已贴膜次数，并根据所述胶带的已贴膜次数来获取所述胶带的剩余膜量。
10.如权利要求7～9中任一项所述的膜量监控方法，其特征在于，所述膜量监控方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种贴膜设备，其特征在于，所述贴膜设备包括：
2.如权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述第一膜量监控装置为气缸型接触式传感器。
3.如权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述至少两个膜量监控装置包括第二膜量监控装置，所述第二膜量监控装置为计数器，所述第二膜量监控装置用于根据所述胶带的已贴膜次数来获取所述胶带的剩余膜量。
4.如权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述第二膜量监控装置和所述贴覆装置相连，从所述贴覆装置的工作记录中获取所述胶带的已贴膜次数。
5.如权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴膜设备仅包括两个所述膜量监控装置。
6.如权利要求1～5中任一项所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴膜设备还包括报警装置，所述报警装置与各所述膜量监控装置均连接，并且在...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴子祺，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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