一种蓝宝石晶片的退火治具制造技术
【技术实现步骤摘要】
（一）
本技术属于蓝宝石加工
，尤其涉及一种蓝宝石晶片的退火治具。（二）
技术介绍
蓝宝石具有优异的机械、化学、光学、电学等综合性能，被广泛应用于耐高温器件、特种窗口、光学系统、微电子、光电子等方面，成为现代工业中重要的基础材料。近年来，蓝宝石更是引起了人们极大的关注，除了已经大量用作氮化镓基蓝光LED的衬底外，消费类电子方面也显示出广阔的市场前景。蓝宝石晶体在生长和晶片加工过程中，内部都会有应力存在，使蓝宝石的光学、机械等性能发生变化。因此，通常在使用前需要对蓝宝石晶片进行退火处理，以最大限度的降低蓝宝石晶片的应力。目前，常用的方式是将蓝宝石晶片堆垛在一起进行退火处理。这种方式存在一定的问题：蓝宝石导热能力不强，堆垛过多晶片会导致晶片周边与内部及外层与内层晶片受热不均匀，退火效果一致性差。尤其对于大尺寸、有棱角的晶片，甚至可能导致晶片碎裂。而如果采用将晶片单独悬挂后再进行退火处理的方式，退火效率又太低。因此，有必要设计开发出一种高效、实用的蓝宝石晶片退火治具。（三）
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种针对现有蓝宝石晶片，尤其是大尺寸蓝宝石晶片在退火过程中受热不均匀的问题，具有高效率、高成品率、高稳定性、低成本等特点的蓝宝石晶片的退火治具。本技术的目的是这样实现的：该治具采用耐高温陶瓷制成（如氧化铝、氧化锆等），包括如下部件：(1)底座：底座的下表面为水平面，底座的上表面为波浪式结构，波浪式结构中均匀分布着横、纵向排列规整的凹槽；(2)隔离立柱：隔离立柱为可拆卸结构。立柱的横截面积与底座上表面波浪式结构中的凹槽的横截面积一致，隔离立柱的四条棱边均采取...
【技术保护点】
一种蓝宝石晶片的退火治具，其特征在于它包括如下部件：(1) 底座：底座的下表面为水平面，底座的上表面为波浪式结构，波浪式结构中均匀分布着横、纵向排列规整的凹槽；(2) 隔离立柱：隔离立柱为可拆卸结构，立柱的横截面积与底座上表面波浪式结构中的凹槽的横截面积一致，隔离立柱的四条棱边设置有倒角；(3) 隔层结构：隔层结构上、下表面均设置横、纵向排列均匀的隔离立柱，隔层结构底部凹槽的位置与底座顶部凹槽的位置相对应。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶片的退火治具，其特征在于它包括如下部件：(1)底座：底座的下表面为水平面，底座的上表面为波浪式结构，波浪式结构中均匀分布着横、纵向排列规整的凹槽；(2)隔离立柱：隔离立柱为可拆卸结构，立柱的横截面积与底座上表面波浪式结构中的凹槽的横截...
【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，张学军，袁志勇，罗永森，
申请(专利权)人：哈尔滨秋冠光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：黑龙江;23
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