一种气动蓝宝石晶片下蜡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气动蓝宝石晶片下蜡装置，包括：进气连接口（1）、中间连接管（2）、气缸控制开关（3）、底盘（4）、气缸（5）、弧状推片（6）。当操作者按动气缸控制开关，气缸在压缩空气的带动下伸出，从而使得所述弧状推片推动黏贴在陶瓷盘上的晶片沿径向向外运动，直至晶片三分之一伸出陶瓷盘外，使之能轻松快速将晶片取下，然后卸压使弧状推片缩回。本实用新型专利技术的一种快速、轻便、气动蓝宝石晶片下蜡装置，可大大提高下蜡的效率、缩短陶瓷盘周转周期，避免操作人员的烫伤，有效降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本次技术涉及一种下蜡装置，特别是一种气动蓝宝石晶片下蜡装置。
技术介绍
蓝宝石因具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高等一系列优点，而被广泛应用作LED衬底。在蓝宝石衬底的制造过程中，主要经过切片、双面研磨、铜抛和CMP抛光。在铜抛过程中，首先要用石蜡将晶片贴在陶瓷盘表面，然后到抛光机台上进行单面抛光，抛光完后需加热将石蜡融化，从而将晶片从陶瓷盘上取下。在晶片下蜡过程中，虽然石蜡已被加热融化，但晶片表面与陶瓷盘表面仍然贴合非常紧密，需要用雅阁力板将晶片一片一片的推到陶瓷盘边缘，再将晶片取下。由于陶瓷盘表面温度较高，约150°C手工操作取片很容易造成烫伤。在用雅阁力板向外推时，如果用力过大，容易造成晶片崩边，且易将晶片推出盘面而摔坏，另外一片一片的操作，效率也非常低。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足之处，提供了本次技术涉及一种快速、轻便、气动蓝宝石晶片下蜡装置用于蓝宝石晶片铜抛后下蜡作业中，可大大提高下蜡的效率、缩短陶瓷盘周转周期，避免操作人员的烫伤，有效降低生产成本。本技术所采用技术方案是：使用压缩空气进入气压阀产生推力从而推动外圈弧状推片。在弧状推片推动下，使粘结在陶瓷盘上晶片产生位移，从而方便人员取片。包括：底盘4，气缸5，弧状推片6、中间连接管2、气缸控制开关3、进气连接口1。当操作者按动气缸控制开关，气缸在压缩空气的带动下伸出，从而使得所述弧状推片推动黏贴在陶瓷盘上的晶片沿径向向外运动，直至晶片三分之一伸出陶瓷盘外，使之能轻松快速将晶片取下，然后卸压使弧状推片缩回。优先的，在按住气缸控制开关，由压缩空气带动气缸，气缸伸出轴承带动弧状推片并以缓慢的速度向外扩散运动。优先的，所述气缸伸出速度可进行控制；气缸伸出距离在3~5cm范围内可调。气缸推出压力在50N~100N范围内。优先的，所述弧状推片通过螺丝-7固定在气缸的一端，通过旋转螺丝来进行拆卸及更换。优先的，所述弧状推片为一种耐高温150℃以上、硬度适当材质例如亚克力材质，保证在推动过程中，不会造成晶片崩角。优先的，所述弧状推片侧面与水平方向成一定倾斜角度，角度范围在20°～45°之间，在气缸推动过程中，不会因为晶片厚度薄，造成推片从晶片表面滑出。优先的，所述中间连接管，同时控制4个气缸的气体进出。每个气缸进出气连接口可使用塑料气管连接到中间连接管；4个气缸连接一起，统一由一个进气连接口进气；中间连接管材质采用外壁采用金属加工品，内部连接管路使用可耐0.5MPa空气压的塑料管道。附图说明图1为本技术的外观示意图；图2为本技术中弧状推片部分放大图附图标示：1、进气连接口；2、中间连接管；3、气缸控制开关；4、底盘；5、气缸；6、弧状推片；7、螺丝。具体实施方式参看图1和图2，本次技术提出一种气动蓝宝石晶片下蜡装置。下蜡装置包括：进气连接口1、中间连接管2、气缸控制开关3、底盘4、气缸5、弧状推片6。按动气缸控制开关3后，通过压缩空气带动气缸5伸出，从而使得所述弧状推片6推动黏贴在陶瓷盘上的晶片沿径向向外运动，直至晶片三分之一伸出陶瓷盘外，使之能轻松快速将晶片取下，然后卸压使弧状推片6缩回。所述气缸5伸出速度可进行控制；气缸5伸出距离在3~5cm范围内可调。气缸5推出压力在50N~100N范围内。所述弧状推片6通过螺丝7固定在气缸5的一端，通过旋转螺丝来进行拆卸及更换。所述弧状推片6为一种耐高温150℃以上、硬度适当材质例如亚克力材质，保证在推动过程中，不会造成晶片崩角。弧状推片6侧面与水平方向成一定倾斜角度，角度范围在20°～45°之间，在气缸5推动过程中，不会因为晶片厚度薄，造成推片从晶片表面滑出。所述中间连接管2，同时控制4个气缸5的气体进出。每个气缸5进出气连接口可使用塑料气管连接到中间连接管2；4个气缸5连接一起，统一由一个进气连接口1进气；中间连接管2材质采用外壁采用金属加工品，内部连接管路使用可耐0.5MPa空气压的塑料管道。具体来说，在蓝宝石衬底的制造过程中，主要经过切片、双面研磨、铜抛和CMP抛光。在铜抛过程中，首先要用石蜡将晶片贴在陶瓷盘表面，然后到抛光机台上进行单面抛光，抛光完后需加热将石蜡融化，从而将晶片从陶瓷盘上取下。在晶片下蜡过程中，先将陶瓷盘放置在平板加热器上加热，待平板加热器上测量温度显示在125℃以上，此时晶片表面仍与陶瓷盘表面贴合。先使下蜡装置接入压缩空气，再将下蜡装置放置于陶瓷盘中央位置，按动气缸控制开关3，通过压缩空气带动气缸伸出，从而使得所述弧状推片6推动黏贴在陶瓷盘上的晶片沿径向向外运动，直至晶片三分之一伸出陶瓷盘外，使之能轻松快速将晶片取下，然后卸压使弧状推片6缩回。可大大提高下蜡的效率、缩短陶瓷盘周转周期，避免操作人员的烫伤，有效降低生产成本。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气动蓝宝石晶片下蜡装置，包括进气连接口（1）、中间连接管（2）、气缸控制开关（3）、底盘（4）、气缸（5）、弧状推片（6），其特征在于：所述中间连接管，同时控制4个气缸的气体进出，每个气缸通过塑料气管连接到中间连接管，4个气缸连接一起，统一由一个进气连接口进气，当按动气缸控制开关，气缸在压缩空气带动下伸出，从而使得所述弧状推片推动黏贴在陶瓷盘上的晶片沿径向向外运动。

【技术特征摘要】
1.一种气动蓝宝石晶片下蜡装置，包括进气连接口（1）、中间连接管（2）、气缸控制开关（3）、底盘（4）、气缸（5）、弧状推片（6），其特征在于：所述中间连接管，同时控制4个气缸的气体进出，每个气缸通过塑料气管连接到中间连接管，4个气缸连接一起，统一由一个进气连接口进气，当按动气缸控制开关，气缸在压缩空气带动下伸出，从而使得所述弧状推片推动黏贴在陶瓷盘上的晶片沿径向向外运动。2.根据权利要求1所述的一种气动蓝宝石...

【专利技术属性】
技术研发人员：李再来，余学志，胡中伟，温锦良，陈铭欣，
申请(专利权)人：福建晶安光电有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35