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揭露了一种储存装置，其与用于批处理支承于晶舟中的晶圆的至少一个批式炉偕同使用。该储存装置包含贮匣旋转料架，用于储存多个晶圆匣于可旋转平台层上。旋转料架壳体限定出容纳该平台层于其中的迷你环境腔室。该储存装置的气体再循环回路随后包含气体入口通道...
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