镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备，其中该检测装置包括载具本体、距离检测机构和控制装置，其中，距离检测机构设置在镀膜设备上，用于依据预设的检测周期检测载具本体在设定方向上的距离值；控制装置用于根据距离值和预设的检测周期计算获得设定方向上的加速度波动值，并根据加速度波动值确定产品在设定方向上的镀膜均匀性。本发明专利技术提供的镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备，实现了基材在镀膜过程中对镀膜均匀性的检测，从而提高了生产效率，节约了投入成本，同时可以确定在镀膜过程中，载具本体移动时加速度的变化对镀膜均匀性造成的影响，从而可以确定造成镀膜均匀性不良的原因和机理。

On line testing device, testing method and coating equipment for coating uniformity

【技术实现步骤摘要】
镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备
本专利技术涉及PVD设备镀膜
，尤其涉及一种镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子的材料源转移到基材表面上的过程。其中，立式PVD设备是实现该过程的一种普遍应用的生产设备，为了实现规模效应以降低成本、增加产品的竞争力，越来越多的工厂生产或应用立式PVD设备。在采用立式PVD设备镀膜时，基材一般是由载具承载进行移动。镀膜均匀性与移动速度和加工功率的稳定性有直接关系。但是，通常加工功率由专业设备直接反馈。因此，控制载具移动速度的稳定性是控制镀膜均匀的关键因素。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备，以解决上述现有技术中的问题，实现基材在镀膜过程中移动速率波动对镀膜均匀性造成影响的检测，提高检测效率，降低检测成本，使镀膜结果更加可控。本专利技术提供了一种镀膜均匀性在线检测装置，其中，包括：载具检测模块，所述载具检测模块用于依据预设的检测周期检测载具与所述载具检测模块的距离值；控制装置，用于根据所述距离值和所述预设的检测周期确定所述载具的速度信息，并根据所述速度信息确定设置在载具上的产品的镀膜均匀性。如上所述的镀膜均匀性在线检测装置，其中，优选的是，所述载具检测模块包括第一载具检测机构和/或第二载具检测机构；所述第一载具检测机构设置在与载具镀膜移动方向相对的方向；所述第二载具检测机构设置在与载具镀膜移动方向垂直的方向。如上所述的镀膜均匀性在线检测装置，其中，优选的是，还包括报警模块，镀膜均匀性为不合格时，发出警示信号。如上所述的镀膜均匀性在线检测装置，其中，优选的是，所述第一载具检测机构和所述第二载具检测机构均为激光传感器。如上所述的镀膜均匀性在线检测装置，其中，优选的是，还包括激光反射件，所述激光反射件转动设置在所述载具上，所述激光反射件的转动中心竖直设置，所述第一载具检测机构发送的激光信号照射至所述激光反射件。如上所述的镀膜均匀性在线检测装置，其中，优选的是，所述载具上设置有开口，所述开口在垂直于载具镀膜移动方向上贯通所述载具，所述激光反射件转动设置在所述开口中。如上所述的镀膜均匀性在线检测装置，其中，优选的是，所述激光反射件通过扭簧转动设置在所述开口中。本专利技术还提供了一种镀膜设备，包括载具，其中，所述镀膜设备还包括本专利技术提供的镀膜均匀性在线检测装置，所述载具检测模块设置在所述镀膜设备上。本专利技术还提供了一种镀膜均匀性在线检测方法，其中，包括：依据预设的周期获取载具检测模块检测的所述载具检测模块到载具的距离信息；根据所述载具检测模块到载具的距离信息和所述周期，确定所述载具移动的速度的信息；根据所述载具移动的速度的信息确定载具上设置的产品的镀膜均匀性。如上所述的镀膜均匀性在线检测方法，其中，优选的是，所述载具检测模块到载具的距离信息，包括第一距离信息和第二距离信息；所述载具检测模块包括第一载具检测机构和第二载具检测机构；所述第一距离信息为所述第一载具检测机构到载具的距离信息；所述第二距离信息为所述第二载具检测机构到载具的距离信息。如上所述的镀膜均匀性在线检测方法，其中，优选的是，根据所述载具移动的速度的信息确定载具上设置的产品的镀膜均匀性，包括：根据所述第一距离信息和所述周期确定所述载具在镀膜移动方向上的第一速度信息，并根据所述第一速度信息确定载具上设置的产品在镀膜移动方向上的镀膜均匀性；根据所述第二距离信息和所述周期确定所述载具在垂直于镀膜移动方向上的第二速度信息，并根据所述第二速度信息确定载具上设置的产品在垂直于镀膜移动方向上的镀膜均匀性。如上所述的镀膜均匀性在线检测方法，其中，优选的是，在确定所述第一速度信息和所述第二速度信息之后，所述方法还包括：判断所述第一速度信息是否小于设定的第一阈值；如果是，则确定产品在镀膜移动方向上的镀膜均匀性为合格；判断所述第二速度信息是否小于设定的第二阈值；如果是，则确定产品在垂直于镀膜移动方向上的镀膜均匀性为合格。如上所述的镀膜均匀性在线检测方法，其中，优选的是，如果判断所述第一速度信息是否小于设定的第一阈值的结果为否，或者判断所述第二速度信息是否小于设定的第二阈值的结果为否，所述检测方法还包括：发出警示音，提示产品镀膜均匀性不合格。本专利技术提供的镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备，实现了基材在镀膜过程中对镀膜均匀性的检测。无需对镀膜后的产品在线下通过专用检测设备进行镀膜均匀性检测，从而提高了生产效率，节约了投入成本。同时，本申请的镀膜均匀性在线检测装置可以确定在镀膜过程中，本体随载体移动时加速度的变化对镀膜均匀性造成的影响，从而可以确定造成镀膜均匀性不良的原因和机理。附图说明下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的说明。图1为本专利技术实施例提供的镀膜均匀性在线检测装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的镀膜均匀性在线检测方法的流程图。附图标记说明：100-载具200-第一载具检测模块300-第二载具检测模块400-激光反射件具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能解释为对本专利技术的限制。如图1所示，本专利技术实施例提供了一种镀膜均匀性在线检测装置，其包括载具检测模块和控制装置，载具检测模块用于依据预设的检测周期检测载具100与载具检测模块的距离值；控制装置用于根据距离值和预设的检测周期确定载具100的速度信息，并根据速度信息确定设置在载具100上的产品的镀膜均匀性。其中，载具用于承载待镀膜的基材，基材随载具在镀膜区域的匀速移动实现均匀镀膜。具体地，载具检测模块可以包括第一载具检测机构200和/或第二载具检测机构300。在本实施例中，以载具检测模块包括第一载具检测机构200和第二载具检测机构300为例进行说明。第一载具检测机构200设置在与载具镀膜移动方向相对的方向，以检测第一载具检测机构200与载具100间的第一距离信息。控制装置根据第一距离信息和预设的检测周期获得第一速度信息。在本申请的实施例中，该控制装置还可以根据第一速度信息确定产品在镀膜移动方向上的镀膜均匀性。第二载具检测机构300设置在与载具镀膜移动方向垂直的方向，以检测第二载具检测机构300与载具100间的第二距离信息。控制装置可以根据第二距离信息和预设的检测周期获得第二速度信息。在本申请的实施例中，该控制装置还可以根据第二速度信息确定产品在垂直于镀膜移动方向上的镀膜均匀性。其中，第一距离信息和第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜均匀性在线检测装置，其特征在于，包括：/n载具检测模块，所述载具检测模块用于依据预设的检测周期检测载具与所述载具检测模块的距离值；/n控制装置，用于根据所述距离值和所述预设的检测周期确定所述载具的速度信息，并根据所述速度信息确定设置在载具上的产品的镀膜均匀性。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜均匀性在线检测装置，其特征在于，包括：
载具检测模块，所述载具检测模块用于依据预设的检测周期检测载具与所述载具检测模块的距离值；
控制装置，用于根据所述距离值和所述预设的检测周期确定所述载具的速度信息，并根据所述速度信息确定设置在载具上的产品的镀膜均匀性。


2.根据权利要求1所述的镀膜均匀性在线检测装置，其特征在于，所述载具检测模块包括第一载具检测机构和/或第二载具检测机构；
所述第一载具检测机构设置在与载具镀膜移动方向相对的方向；
所述第二载具检测机构设置在与载具镀膜移动方向垂直的方向。


3.根据权利要求1所述的镀膜均匀性在线检测装置，其特征在于，还包括报警模块，镀膜均匀性为不合格时，发出警示信号。


4.根据权利要求1所述的镀膜均匀性在线检测装置，其特征在于，所述第一载具检测机构和所述第二载具检测机构均为激光传感器。


5.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，还包括激光反射件，所述激光反射件转动设置在所述载具上，所述激光反射件的转动中心竖直设置，所述第一载具检测机构发送的激光信号照射至所述激光反射件。


6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述载具上设置有开口，所述开口在垂直于载具镀膜移动方向上贯通所述载具，所述激光反射件转动设置在所述开口中。


7.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，所述激光反射件通过扭簧转动设置在所述开口中。


8.一种镀膜设备，包括载具，其特征在于，所述镀膜设备还包括权利要求1-7任一项所述的镀膜均匀性在线检测装置，所述镀膜均匀性在线检测装置设置在所述镀膜设备上。


9.一种镀膜均匀性在线检测方法，其特征在于，包括：
依据预设的周期获取载具检测模块检测的所述载具检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄传虎，王建新，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11