一种提高气相沉积炉处理效率和安全性的方法技术

本发明专利技术公开了一种提高气相沉积炉处理效率和安全性的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，启动初始画面，按“进入工作系统”键进入主控画面；步骤二，功能按钮负责屏幕的切换，“气氛控制”、“温度控制”、“加温工艺”、“历史数据”、“事件记录”；步骤三，温度控制程序给定；步骤四，加热控制；步骤五，灯头移动控制。本发明专利技术中，灯头移动控制，采用折回过程中一块一慢的速度变化，与沉积处温度相配合，使每一点沉积的温度差相同，热用效果相近，避免出现纺锤体形状，从而减小直径拨动范围，两端更加均匀。

A method to improve the efficiency and safety of gas deposition furnace

【技术实现步骤摘要】
一种提高气相沉积炉处理效率和安全性的方法
本专利技术涉及气相沉积
，尤其涉及一种提高气相沉积炉处理效率和安全性的方法。
技术介绍
气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积；现有的气相沉积工艺中有采用OVD工艺进行沉积，0VD的沉积原理是颗粒的热泳运动,而颗粒的沉积过程则是一传热传质过程。气相沉积过程主要取决于预制棒周围气体的流量和温度,因此热传导和颗粒沉积是0VD中最关键的问题,例如预制棒的移动速度,载流氧的流量,棒的移动方式等，沉积的速率和旋转速度、预制棒半径、喷灯口到预制棒中心距离、喷灯口的半径、喷灯口的射流速度以及射流、空气和预制棒表面的温度等，其中灯头移动对气相沉积效率所造成的影响最为显著。
技术实现思路
本专利技术的目的在于：为了解决灯头移动对气相沉积效率造成显著影响的问题，而提出的一种提高气相沉积炉处理效率和安全性的方法。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种提高气相沉积炉处理效率和安全性的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，启动初始画面，按“进入工作系统”键进入主控画面，开始工作，主控面板在系统工作的过程中对整体起监控作用，系统运行时的主要参数都反映在主控面板中；步骤二，功能按钮负责屏幕的切换，“气氛控制”切换至抽空管路的控制画面，“温度控制”切换至温度参数相关的控制画面，“加温工艺”切换至温度参数设定画面，“历史数据”切换至过去参数记录画面，“事件记录”切换至过去运行过程中发生的事件记录信息画面；步骤三，温度控制程序给定，选择所要运行的工艺曲线，运行、复位、暂停、及当前给定值setpoint的显示，据设定不同的参数完成不同的控制功能；步骤四，加热控制，控制电源柜的加热电源投入、切除，并显示三路电源的投切情况及非常态报警显示；步骤五，灯头移动控制，采用折回过程中一块一慢的速度变化，与沉积处温度向配合，使每一点沉积的温度差相同，热用效果相近。作为上述技术方案的进一步描述：所述步骤二中，“气氛控制”充气电动蝶阀调节器为反向调节器，抽空电动蝶阀调节器为正向调节器，(1)显示该电动蝶阀的工作状态包括伺服、断电状态；(2)炉内绝对压力数值显示，截取1000Pa以内的压力值，作为调节的控制反馈量；(3)实时控制设定值，通过设定该参数使炉内压力保持恒定，需要充气蝶阀和抽空蝶阀配合动作；(4)控制器输出指示，随着输出量的增大该指示灯逐渐变亮；(5)控制器手动指示，显示控制器当前的工作状态；(6)控制器输出指示，随着输出量的增大该指示进度条向右依次全部点亮；(7)电动蝶阀的工作状态的控制按钮，该按钮显示伺服状态时，按下为蝶阀伺服，并显示断电，再次按下，蝶阀断电，并显示伺服，两控制器操作完全相同。作为上述技术方案的进一步描述：所述步骤二中“历史数据”画面显示生产过程中发生时间，如阀门打开、关闭时间，加热打开、关闭时间，手动工作时间。综上所述，由于采用了上述技术方案，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术中，灯头移动控制，采用折回过程中一块一慢的速度变化，与沉积处温度相配合，使每一点沉积的温度差相同，热用效果相近，避免出现纺锤体形状，从而减小直径拨动范围，两端更加均匀。2、本专利技术中，通过控制面板中“气氛控制”切换至抽空管路的控制画面，“温度控制”切换至温度参数相关的控制画面，“加温工艺”切换至温度参数设定画面，“历史数据”切换至过去参数记录画面，“事件记录”切换至过去运行过程中发生的事件记录信息画面，“气氛控制”充气电动蝶阀调节器为反向调节器，抽空电动蝶阀调节器为正向调节器，简单便捷。具体实施方式下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例1一种提高气相沉积炉处理效率和安全性的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，启动初始画面，按“进入工作系统”键进入主控画面，开始工作，主控面板在系统工作的过程中对整体起监控作用，系统运行时的主要参数都反映在主控面板中，(1)加热磁性调压器工作状态，显示“正常”、“故障”两种状态；(2)报警滚动条，显示上电状态及有报警标志；(3)实时曲线显示，反映当前三个温度和一个绝对压力随时间变化规律；(4)炉内绝对压力数值显示，反映内部工作时的气体压力；(5)充气管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小；(6)炉内三个温区的温度数值显示，反映内部工作时的三个不同部位的温度；(7)示意条显示气体流动方向；⑻抽空管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小；(9)示意条显示气体流动方向；(10)抽空管路上的1#真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小；(11)抽空管路上的2#真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小；(12)抽空管路上的1#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行、故障状态；(13)抽空管路上的2#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行、故障状态；步骤二，功能按钮负责屏幕的切换，“气氛控制”切换至抽空管路的控制画面，“温度控制”切换至温度参数相关的控制画面，“加温工艺”切换至温度参数设定画面，“历史数据”切换至过去参数记录画面，“事件记录”切换至过去运行过程中发生的事件记录信息画面，“气氛控制”充气电动蝶阀调节器为反向调节器，抽空电动蝶阀调节器为正向调节器，(1)显示该电动蝶阀的工作状态包括伺服、断电状态；(2)炉内绝对压力数值显示，截取1000Pa以内的压力值，作为调节的控制反馈量；(3)实时控制设定值，通过设定该参数使炉内压力保持恒定，需要充气蝶阀和抽空蝶阀配合动作；(4)控制器输出指示，随着输出量的增大该指示灯逐渐变亮；(5)控制器手动指示，显示控制器当前的工作状态；(6)控制器输出指示，随着输出量的增大该指示进度条向右依次全部点亮；(7)电动蝶阀的工作状态的控制按钮，该按钮显示伺服状态时，按下为蝶阀伺服，并显示断电，再次按下，蝶阀断电，并显示伺服，两控制器操作完全相同；步骤三，温度控制程序给定，选择所要运行的工艺曲线，运行、复位、暂停、及当前给定值setpoint的显示，据设定不同的参数完成不同的控制功能，“历史数据”画面显示生产过程中发生时间，如阀门打开、关闭时间，加热打开、关闭时间，手动工作时间；步骤四，加热控制，控制电源柜的加热电源投入、切除，并显示三路电源的投切情况及非常态报警显示；步骤五，灯头移动控制，采用折回过程中一块一慢的速度变化，与沉积处温度相配合，使每一点沉积的温度差相同，热用效果相近，避免出现纺锤体形状，从而减小直径拨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高气相沉积炉处理效率和安全性的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤一，启动初始画面，按“进入工作系统”键进入主控画面，开始工作，主控面板在系统工作的过程中对整体起监控作用，系统运行时的主要参数都反映在主控面板中；/n步骤二，功能按钮负责屏幕的切换，“气氛控制”切换至抽空管路的控制画面，“温度控制”切换至温度参数相关的控制画面，“加温工艺”切换至温度参数设定画面，“历史数据”切换至过去参数记录画面，“事件记录”切换至过去运行过程中发生的事件记录信息画面；/n步骤三，温度控制程序给定，选择所要运行的工艺曲线，运行、复位、暂停、及当前给定值setpoint的显示，据设定不同的参数完成不同的控制功能；/n步骤四，加热控制，控制电源柜的加热电源投入、切除，并显示三路电源的投切情况及非常态报警显示；/n步骤五，灯头移动控制，采用折回过程中一块一慢的速度变化，与沉积处温度向配合，使每一点沉积的温度差相同，热用效果相近。/n

【技术特征摘要】
1.一种提高气相沉积炉处理效率和安全性的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，启动初始画面，按“进入工作系统”键进入主控画面，开始工作，主控面板在系统工作的过程中对整体起监控作用，系统运行时的主要参数都反映在主控面板中；
步骤二，功能按钮负责屏幕的切换，“气氛控制”切换至抽空管路的控制画面，“温度控制”切换至温度参数相关的控制画面，“加温工艺”切换至温度参数设定画面，“历史数据”切换至过去参数记录画面，“事件记录”切换至过去运行过程中发生的事件记录信息画面；
步骤三，温度控制程序给定，选择所要运行的工艺曲线，运行、复位、暂停、及当前给定值setpoint的显示，据设定不同的参数完成不同的控制功能；
步骤四，加热控制，控制电源柜的加热电源投入、切除，并显示三路电源的投切情况及非常态报警显示；
步骤五，灯头移动控制，采用折回过程中一块一慢的速度变化，与沉积处温度向配合，使每一点沉积的温度差相同，热用效果相近。


2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓峰，黄子丹，
申请(专利权)人：昊石新材料科技南通有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32