水晶探头遮罩装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种水晶探头遮罩装置。本发明专利技术通过在水晶探头遮罩装置的遮罩开口处设置过滤网，且由马达通过切换杆控制过滤网的切换或旋转，以减少直接沉积在晶振片表面的材料，从而提高晶振片的使用寿命。

Crystal probe mask device

【技术实现步骤摘要】
水晶探头遮罩装置
本专利技术属于显示
，尤其涉及一种水晶探头遮罩装置。
技术介绍
OLED器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜，在蒸镀过程中，采用晶振片进行蒸镀速率及膜厚监测。蒸镀的材料通过膜厚检测装置的开口区沉积到晶振片上，利用晶振片固有频率及膜厚的线性关系来显示实时镀率及膜厚。随着膜厚的增加，晶振片基频下降，若下降太多可能导致晶振片发生跳频现象，造成监测的膜厚不准确。因此在晶振片上沉积一定的厚度后，需要及时更换晶振片。而更换晶振片时需停机开腔处理，影响产能。另外，蒸镀水晶探头晶振片保持架的遮罩上设有开口，且开口直径大于晶振片直径，于是，蒸镀的材料可通过开口直接沉积到晶振片上。因此，如何提高晶振片的使用寿命，是显示技术中的一项重要课题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种水晶探头遮罩装置，通过在水晶探头遮罩装置的遮罩开口处设置过滤网，且由马达通过切换杆控制过滤网的切换或旋转，以减少直接沉积在晶振片表面的材料，从而提高晶振片的使用寿命。本专利技术提供一种水晶探头遮罩装置，其包括：一遮罩，所述遮罩设有一开口；一晶振片保持架，设于所述遮罩的腔体内，所述晶振片保持架包括一晶振片；一过滤结构，设于所述开口的上方，所述过滤结构包括一过滤网和至少一切换杆；以及一马达，与所述至少一切换杆电性连接，所述马达用于通过所述切换杆控制所述过滤网的更换。进一步地，所述马达还与所述晶振片保持架电性连接，控制所述晶振片的更换。进一步地，所述至少一切换杆用于固接所述过滤网。进一步地，所述至少一切换杆为滚动杆，所述过滤网覆盖于所述开口。进一步地，所述至少一切换杆为旋转杆，所述过滤网与所述开口平行，所述过滤网的面积大于所述开口的面积。进一步地，所述开口的直径范围为2至3毫米。进一步地，所述开口的中心与所述晶振片的中心为同轴设置。进一步地，所述过滤网上设有多个开孔，且所述多个开孔为规则排列。进一步地，所述多个开孔的形状包括圆形及方形。进一步地，所述过滤网的材料包括不锈钢。本专利技术实施例提供一种水晶探头遮罩装置，通过在水晶探头遮罩装置的遮罩开口处设置过滤网，且由马达通过切换杆控制过滤网的切换或旋转，以减少直接沉积在晶振片表面的材料，从而提高晶振片的使用寿命。附图说明下面结合附图，通过对本专利技术的具体实施方式详细描述，将使本专利技术的技术方案及其有益效果显而易见。图1是本专利技术一实施例提供的一种水晶探头遮罩装置的侧视图。图2是图1所示的所述水晶探头遮罩装置的正视图。图3是图1所示的所述水晶探头遮罩装置的过滤网的结构示意图。图4是图1所示的所述水晶探头遮罩装置的马达的连接结构示意图。图5是本专利技术另一实施例提供的一种水晶探头遮罩装置的侧视图。图6是图5所示的所述水晶探头遮罩装置的正视图。图7是图5所示的所述水晶探头遮罩装置的马达的连接结构示意图。图8是本专利技术又一实施例提供的一种水晶探头遮罩装置的侧视图。图9是图8所示的所述水晶探头遮罩装置的正视图。图10是图8所示的所述水晶探头遮罩装置的马达的连接结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的说明书和权利要求书以及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应当理解，这样描述的对象在适当情况下可以互换。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。在具体实施方式中，下文论述的附图以及用来描述本专利技术公开的原理的各实施例仅用于说明，而不应解释为限制本专利技术公开的范围。所属领域的技术人员将理解，本专利技术的原理可在任何适当布置的系统中实施。将详细说明示例性实施方式，在附图中示出了这些实施方式的实例。此外，将参考附图详细描述根据示例性实施例的终端。附图中的相同附图标号指代相同的元件。本具体实施方式中使用的术语仅用来描述特定实施方式，而并不意图显示本专利技术的概念。除非上下文中有明确不同的意义，否则，以单数形式使用的表达涵盖复数形式的表达。在本专利技术说明书中，应理解，诸如“包括”、“具有”以及“含有”等术语意图说明存在本专利技术说明书中揭示的特征、数字、步骤、动作或其组合的可能性，而并不意图排除可存在或可添加一个或多个其他特征、数字、步骤、动作或其组合的可能性。附图中的相同参考标号指代相同部分。参阅图1，本专利技术一实施例提供的一种水晶探头遮罩装置的侧视图。水晶探头遮罩装置包括遮罩11、开口111、晶振片保持架12、晶振片121以及过滤网131。参阅图2，本专利技术所述实施例提供所述水晶探头遮罩装置的正视图，其包括遮罩11、开口111、过滤结构13、过滤网131以及切换杆132。遮罩11设有一开口111。所述开口111用于在蒸镀过程中通过蒸镀的材料。晶振片保持架12设于遮罩的腔体内。晶振片保持架12包括一晶振片121，蒸镀材料沉积在晶振片121上，晶振片121通过沉积蒸镀材料的质量变化与晶振片121频率变化关系，从而测出蒸镀到晶振片121上的膜厚，再通过基板上沉积的膜厚与晶振片121上沉积的膜厚之间的比例关系，计算出实际膜厚。晶振片121的中心与开口111的中心为同轴设置。遮挡结构13设于开口111的上方。遮挡结构13包括过滤网131和切换杆132。切换杆132用于固设过滤网131。遮挡结构13用于减少直接沉积到晶振片121上的蒸镀材料，以提高晶振片121的使用寿命，从而提高生产效率。在本专利技术实施例中，切换杆132为两根滚动杆，分别设于过滤网131的两侧，且过滤网131覆盖于开口111。过滤网131的材料包括不锈钢等耐热、不易变形的材料。如图3所示，所述过滤网131上设有多个开孔，且所述多个开孔为规则排列，便于蒸镀材料的均匀通过。其中，开孔的直径为0.5毫米至1毫米，开孔的形状包括圆形及方形，但不限于此。如图4所示，马达14分别与切换杆132和晶振片121电性连接。马达14既能控制晶振片121的更换，亦能通过切换杆132控制过滤网131的更换，从而提高生产效率。具体的，当过滤网131达到饱和后，通过马达14控制切换杆132实现饱和过滤网和清洁过滤网的更换，以减少堵孔状况。参阅图5，本专利技术另一实施例提供的一种水晶探头遮罩装置的侧视图。水晶探头遮罩装置包括遮罩11、开口111、晶振片保持架12、晶振片121、遮挡结构13、过滤网131以及切换杆132。参阅图6，本专利技术另一实施例提供所述水晶探头遮罩装置的正视图，其包括遮罩11以及过滤网131。遮罩11设有一开口111。所述开口111用于在蒸镀过程本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水晶探头遮罩装置，其特征在于，包括：/n一遮罩，所述遮罩设有一开口；/n一晶振片保持架，设于所述遮罩的腔体内，所述晶振片保持架包括一晶振片；/n一过滤结构，设于所述开口的上方，所述过滤结构包括一过滤网和至少一切换杆；以及/n一马达，与所述至少一切换杆电性连接，所述马达用于通过所述切换杆控制所述过滤网的更换。/n

【技术特征摘要】
1.一种水晶探头遮罩装置，其特征在于，包括：
一遮罩，所述遮罩设有一开口；
一晶振片保持架，设于所述遮罩的腔体内，所述晶振片保持架包括一晶振片；
一过滤结构，设于所述开口的上方，所述过滤结构包括一过滤网和至少一切换杆；以及
一马达，与所述至少一切换杆电性连接，所述马达用于通过所述切换杆控制所述过滤网的更换。


2.根据权利要求1所述的水晶探头遮罩装置，其特征在于，所述马达还与所述晶振片保持架电性连接，控制所述晶振片的更换。


3.根据权利要求1所述的水晶探头遮罩装置，其特征在于，所述至少一切换杆用于固接所述过滤网。


4.根据权利要求3所述的水晶探头遮罩装置，其特征在于，所述至少一切换杆为滚动杆，所述过滤网覆盖于所述开口。

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【专利技术属性】
技术研发人员：阮丽霞，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44