一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备制造技术

本发明专利技术涉及碳化硅涂层石墨载盘加工技术领域，且公开了一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备，包括箱体和箱盖，所述箱体内设有一组摆动机构，一组所述摆动机构的数量不少于两个，所述摆动机构上设有夹紧件，多个所述夹紧件高度从左往右逐渐升高，所述箱体内设有第一底板，通过设置的第一进水管将清洗剂溶液送入箱体内部，然后清洗剂溶液沿着第一底板快速流淌，再配合第一出水管将清洗剂溶液抽出，如此可以使得清洗剂溶液循环流动对石墨基体进行冲洗，同时清洗剂溶液沿着第一底板阶梯面由高处向低处流动，在重力作用下，清洗剂溶液能够以更快的速度进行流动，如此可以对石墨基体表面进行有效的冲洗，提高了清洗效率

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备


[0001]本专利技术涉及碳化硅涂层石墨载盘加工
，具体为一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备
。

技术介绍

[0002]碳化硅涂层石墨载盘采用物理或化学气相沉积
、
喷涂等方法，在石墨表面制备碳化硅保护层，制备出的碳化硅保护层可牢牢的巴结在石墨基体上，使石墨基座表面致密
、
无空隙，赋予石墨基体特殊的性能，包括抗氧化
、
耐酸碱
、
耐冲刷
、
耐腐蚀等，碳化硅涂层石墨盘是目前单晶硅外延生长用和氮化镓外延生长用最好的基座之一，是外延炉的核心部件
。
[0003]在加工生产碳化硅涂层石墨盘时，需要先将石墨基体加工出所需要的形状尺寸，然后再在加工好的石墨基体上通过物理或化学气相沉积
、
喷涂等方法紧密附着上碳化硅涂层，为了保证附着上的碳化硅涂层的附着牢固度，需要预先对加工好的石墨基体表面进行彻底的清洗处理
。
[0004]现有的石墨基体表面清洗设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备，包括箱体（1）和箱盖（2），其特征在于，所述箱体（1）内设有一组摆动机构（3），一组所述摆动机构（3）的数量不少于两个，所述摆动机构（3）上设有夹紧件（4），多个所述夹紧件（4）高度从左往右逐渐升高，所述箱体（1）内设有第一底板（5），所述第一底板（5）顶部为阶梯状且从左往右逐渐升高，所述第一底板（5）顶部阶梯状与多个夹紧件（4）高度相适配，所述箱体（1）左侧面和右侧面分别设有第一出水管（6）和第一进水管（7）；所述摆动机构（3）包括直杆（
31
），所述直杆（
31
）端部设有球面副（
32
），所述球面副（
32
）上连接有固定块（
33
），所述固定块（
33
）外侧面为圆锥形，所述摆动机构（3）还包括设在直杆（
31
）上的驱动块（
34
），且驱动块（
34
）侧面与固定块（
33
）圆锥形外侧面相抵触
。2.
根据权利要求1所述的一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备，其特征在于，所述摆动机构（3）还包括设在直杆（
31
）上的液压缸（
35
），所述液压缸（
35
）与驱动块（
34
）相连接
。3.
根据权利要求2所述的一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备，其特征在于，所述驱动块（
34
）为球体，所述驱动块（
34
）外球面与固定块（
33
）圆锥形外侧面相抵触
。4.
根据权利要求3所述的一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备，其特征在于，还包括转动设置在箱体（1）内的转板（8），所述箱体（1）外侧设有第一电机（9），所述第一电机（9）与转板（8）相连接，所述转板（8）侧面上转动设有多个转筒（
10
），所述转筒（
10
）转动套接在直杆（
31
）外周面上，所述液压缸（
35
）通过连接板与转筒（
10
）固定连接
。5.
根据权利要求4所述的一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备，其特征在于，所述箱体（1）内设有第二底板（
11
），所述第二底板（
11
）形状尺寸与第一底板（5）相同，所述第二底板（
11
）和第一底板（5）水平对称分布在箱体（1）内部，所述箱体（1）内底壁上设有气缸（
12
），所述气缸（
12
）上连接有横挡板（
13
），所述横挡板（
13
）顶部紧抵在第一底板（5）和第二底板（
11
）底部，所述横挡板（
13
）上设有隔板（
131
），所述箱体（1）的左侧面...

【专利技术属性】
技术研发人员：董发，姜佑霖，
申请(专利权)人：昊石新材料科技南通有限公司，
类型：发明
国别省市：