【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及表面处理的，特别是涉及一种高稳定性的低温真空镀膜设备。
技术介绍
1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜装置包括镀膜腔体，镀膜腔体的底部固定连接有驱动机构，驱动机构连接镀膜腔体底部的转盘并带动转盘转动，转盘上固定有真空镀膜夹具，夹具上固定有工件，从而使工件在真空镀膜腔体内转动充分镀膜。
2、现有技术中的低温真空镀膜设备存在以下问题：操作人员需手动打开或者关闭真空腔体，手动将放置待镀膜材料的小车放入或者拉出到真空腔体中，手动的方式操作不便，增加了操作者的劳动强度。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其结构简单，可自动打开真空腔体，并且可自动移动待镀膜材料的小车，减轻操作者的劳动强度。
2、本专利技术的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，包括：镀膜箱、箱门、驱动箱门动作的驱动机构、滑动在镀膜箱内的夹持器以及驱动夹持器移...
【技术保护点】
1.一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，包括：镀膜箱（1）、箱门（2）、驱动箱门（2）动作的驱动机构、滑动在镀膜箱（1）内的夹持器以及驱动夹持器移动的动力机构，箱门（2）与镀膜箱（1）滑动配合；
2.如权利要求1所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动机构包括固定在镀膜箱（1）两侧的连接板（11），连接板（11）上开设通孔二和通孔三（12），通孔二包括直线段（13）和圆弧形段（14），通孔三（12）与直线段（13）平行，且圆弧形段（14）的圆心与通孔三（12）一端圆心重合；
3.如权利要求2所述的一种高稳定性的低温真空...
【技术特征摘要】
1.一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，包括：镀膜箱（1）、箱门（2）、驱动箱门（2）动作的驱动机构、滑动在镀膜箱（1）内的夹持器以及驱动夹持器移动的动力机构，箱门（2）与镀膜箱（1）滑动配合；
2.如权利要求1所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动机构包括固定在镀膜箱（1）两侧的连接板（11），连接板（11）上开设通孔二和通孔三（12），通孔二包括直线段（13）和圆弧形段（14），通孔三（12）与直线段（13）平行，且圆弧形段（14）的圆心与通孔三（12）一端圆心重合；
3.如权利要求2所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，所述动力机构包括滑动在镀膜箱（1）内部的滑板（19），固定板（3）固定在滑板（19）上；
4.如权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜佑霖，董发，
申请(专利权)人：昊石新材料科技南通有限公司，
类型：发明
国别省市：
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