【技术实现步骤摘要】
实施例涉及一种蒸镀用掩模及其制备方法。
技术介绍
1、显示装置正被应用于多种设备。例如，显示装置不仅应用于诸如智能手机、平板电脑等小型设备，还应用于诸如电视、监视器、公共显示器(public display)等大型设备。尤其是，最近对于500ppi(每英寸像素：pixel per inch)以上的超高清晰度uhd(ultra highdefinition)的需求正在增加，并且高清晰度显示装置正应用于小型设备以及大型设备。因此，对于用于实现低电力及高清晰度的技术的关注度也在提高。
2、通常使用的显示装置按照驱动方法可以粗分为lcd(液晶显示器：liquid crystaldisplay)以及oled(有机发光二极管：organic light emitting diode)等。
3、作为一种利用液晶(liquid crystal)驱动的显示装置，lcd是具有在所述液晶的下部配置有包括ccfl(冷阴极荧光灯：cold cathode fluorescent lamp)或led(发光二极管：light emitting diode)等光源的结构且以利用配置于所述光源上的所述液晶来调节从所述光源发出的光的量的方式驱动的显示装置。
4、另外，作为一种利用有机物驱动的显示装置，oled无需单独的光源，有机物自身能够起到光源的作用，从而以低电力驱动。另外，oled能够表现无限的对比度，并具有比lcd快约1000倍以上的响应速度，而且可视角优秀，因此，作为能够替代lcd的显示装置而备受瞩目。
5、
6、所述蒸镀用掩模可包括蒸镀区域的有效部和除所述有效部以外的非有效部。并且，所述有效部可包括位于中心的有效区域和包围所述有效区域的外缘区域。所述非有效部是所述有效部的所述外缘区域的周围区域。
7、另一方面，蒸镀用掩模的非蒸镀区域中能够形成分散应力的多个槽。
8、多个所述槽可通过蚀刻等蚀刻工艺来形成，其中，形成多个所述槽时可能发生由蚀刻引起的应力，由于这种应力，蒸镀用掩模发生弯曲，从而降低利用蒸镀用掩模的蒸镀效率和蒸镀品质。
9、因此，需要用于解决上述问题的新的蒸镀用掩模及其制备方法。
技术实现思路
1、技术问题
2、实施例旨在提供一种蒸镀用掩模及其制备方法，能够均匀地形成没有蒸镀不良的约500ppi以上的高清晰度或者约800ppi以上的超高清晰度(uhd级别)的图案。
3、技术方案
4、实施例的蒸镀用掩模包括用于形成蒸镀图案的蒸镀区域和除蒸镀区域以外的非蒸镀区域，所述蒸镀区域包括沿长度方向隔开的多个有效部和除有效部以外的非有效部，所述有效部包括：通孔，包括形成在一表面上的多个小表面孔、形成在与所述一表面相反的另一表面上的多个大表面孔、连通所述小表面孔和所述大表面孔的连通部；以及岛部，位于多个所述通孔之间，所述非有效部包括彼此隔开的多个第一槽，所述第一槽彼此隔开配置，所述第一槽的面积占所述非有效部的总面积的10％～60％。
5、专利技术效果
6、形成于所述非有效部的多个槽能够提高蒸镀用掩模的真直度。
7、即，在所述蒸镀用掩模的非蒸镀部形成多个槽时，由于被轧制的蒸镀用掩模的特性，可能发生蒸镀用掩模的弯曲。即，在所述蒸镀用掩模的非蒸镀部形成多个槽时，所述蒸镀用掩模的上部与下部的尺寸差异变大，因此，由于这种差异而蒸镀用掩模发生弯曲，从而能够减小蒸镀用掩模的真直度。
8、因此，通过在所述非有效部形成具有特定形状且具有规定面积以上的多个槽，能够使蒸镀用掩模的弯曲现象最小化。即，通过将在所述蒸镀用掩模的非蒸镀部形成多个槽时产生的应力有效地分散于多个所述槽，使由应力引起的基板弯曲现象最小化，从而能够增加蒸镀用掩模的真直度。
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1.一种蒸镀用掩模，为用于OLED像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模，所述蒸镀用掩模包括：
2.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述第一槽被配置为分散在所述非蒸镀区域中产生的应力。
3.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述蒸镀区域的所述非有效部的所述多个第一槽配置在所述多个有效部各自的下部表面和上部表面上。
4.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述蒸镀区域的所述非有效部的所述多个第一槽配置在所述多个有效部各自的侧表面、下部表面和上部表面上。
5.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述第一槽的面积占所述非有效部的总面积的10％～60％。
6.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述第一槽的形状与所述通孔的形状不同。
7.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述第一槽包括曲面、点状或条状。
8.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，以所述蒸镀用掩模的拉伸方向为基准，上部表面的长度与下部表面的长度之差为5μm至10μm。
9.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，进一步包括配
10.根据权利要求9所述的蒸镀用掩模，其中，所述蒸镀区域包括第一有效区域、第三有效区域和位于所述第一有效区域与所述第三有效区域之间的第二有效区域，并且
...【技术特征摘要】
1.一种蒸镀用掩模，为用于oled像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模，所述蒸镀用掩模包括：
2.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述第一槽被配置为分散在所述非蒸镀区域中产生的应力。
3.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述蒸镀区域的所述非有效部的所述多个第一槽配置在所述多个有效部各自的下部表面和上部表面上。
4.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述蒸镀区域的所述非有效部的所述多个第一槽配置在所述多个有效部各自的侧表面、下部表面和上部表面上。
5.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其中，所述第一槽的面积占所述非有效部的总面积的10...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓源，严太寅，曹守铉，
申请(专利权)人：LG伊诺特有限公司，
类型：发明
国别省市：
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