【技术实现步骤摘要】
本技术涉及通风结构，具体涉及一种原子层沉积设备用通风结构。
技术介绍
1、原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。
2、现有技术中，原子层沉积设备在工作时内部的压力容器和电器元件等会产生一定的热量，目前主要是在设备的后端开设敞口的通风口方便进行散热，然而这样灰尘和杂质容易进入到设备内部，并且长时间后敞口位置的滤网也容易堵塞，使得通风散热的效率降低，降低了设备内部元器件的使用寿命，为此提出一种原子层沉积设备用通风结构。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：为解决原子层沉积设备在工作时内部的压力容器和电器元件等会产生一定的热量，目前主要是在设备的后端开设敞口的通风口方便进行散热，然而这样灰尘和杂质容易进入到设备内部，并且长时间后敞口位置的滤网也容易堵塞，使得通风散热的效率降低，降低了设备内部元器件的使用寿命的问题，本技术提供了一种原子层沉积设备用通风结构。
2、本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
3、一种原子层沉积设备用通风结构，包括机体，所述机体的侧壁上固定安装有联通壳体，所述联通壳体与机体上安装零部件的内部相连通，且联通壳体的侧壁上固定安装有通风管，所述通风管与联通壳体相连通设置，所述通风管的侧壁上固定安装有分隔板，所述分隔板上位于通风管的端口位置设置有防尘机构，且分
4、优选地，所述防尘机构包括驱动电机，所述驱动电机嵌设安装在分隔板上，且驱动电机的输出轴上固定安装有连接环，所述连接环上固定套设有过滤网环。
5、优选地，所述通风管的端口侧壁上开设有环形槽，所述过滤网环转动安装在环形槽内设置。
6、优选地，所述通风冷却机构包括冷却箱，所述冷却箱固定安装在分隔板上，且冷却箱封堵位于分隔板上的通风管空间，所述冷却箱上插接安装有通气管，所述分隔板上位于冷却箱的一侧固定安装有引气风扇。
7、优选地，所述通气管呈曲形管状结构，且通气管的曲形部分设置在冷却箱内设置。
8、优选地，所述换热机构包括换热箱，所述换热箱固定安装在联通壳体的侧壁上，且换热箱的上侧固定安装有换热管，所述换热箱的侧壁上固定安装有衔接管，所述衔接管的一端与换热箱相连通，且衔接管的另一端与冷却箱相连通设置。
9、本技术的有益效果如下：
10、1、在本技术中，当设备在工作过程中，启动设置的引气风扇，使得外部的气体通过分隔板上的空间进行流动，并且气体通过通气管流动时，冷却箱内的冷却水会对气体进行降温，从而加快设备内部的散热效果，流动气体会通过通风管内位于分隔板下侧的空间进行排出，在散热过程中，启动驱动电机带动连接环和过滤网环进行转动，流动的气体会将过滤网环上蓄积的灰尘吹落，从而避免了蓄积的灰尘对散热造成影响，能够有效保证了良好的通风散热效果。
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1.一种原子层沉积设备用通风结构，其特征在于，包括机体(1)，所述机体(1)的侧壁上固定安装有联通壳体(2)，所述联通壳体(2)与机体(1)上安装零部件的内部相连通，且联通壳体(2)的侧壁上固定安装有通风管(3)，所述通风管(3)与联通壳体(2)相连通设置，所述通风管(3)的侧壁上固定安装有分隔板(10)，所述分隔板(10)上位于通风管(3)的端口位置设置有防尘机构，且分隔板(10)的上侧安装有通风冷却机构，所述联通壳体(2)的侧壁上固定安装有换热机构，且换热机构与通风冷却机构相连通设置。
2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备用通风结构，其特征在于，所述防尘机构包括驱动电机(14)，所述驱动电机(14)嵌设安装在分隔板(10)上，且驱动电机(14)的输出轴上固定安装有连接环(8)，所述连接环(8)上固定套设有过滤网环(4)。
3.根据权利要求2所述的一种原子层沉积设备用通风结构，其特征在于，所述通风管(3)的端口侧壁上开设有环形槽(9)，所述过滤网环(4)转动安装在环形槽(9)内设置。
4.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备用通风结构
5.根据权利要求4所述的一种原子层沉积设备用通风结构，其特征在于，所述通气管(13)呈曲形管状结构，且通气管(13)的曲形部分设置在冷却箱(11)内设置。
6.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备用通风结构，其特征在于，所述换热机构包括换热箱(6)，所述换热箱(6)固定安装在联通壳体(2)的侧壁上，且换热箱(6)的上侧固定安装有换热管(7)，所述换热箱(6)的侧壁上固定安装有衔接管(5)，所述衔接管(5)的一端与换热箱(6)相连通，且衔接管(5)的另一端与冷却箱(11)相连通设置。
...【技术特征摘要】
1.一种原子层沉积设备用通风结构，其特征在于，包括机体(1)，所述机体(1)的侧壁上固定安装有联通壳体(2)，所述联通壳体(2)与机体(1)上安装零部件的内部相连通，且联通壳体(2)的侧壁上固定安装有通风管(3)，所述通风管(3)与联通壳体(2)相连通设置，所述通风管(3)的侧壁上固定安装有分隔板(10)，所述分隔板(10)上位于通风管(3)的端口位置设置有防尘机构，且分隔板(10)的上侧安装有通风冷却机构，所述联通壳体(2)的侧壁上固定安装有换热机构，且换热机构与通风冷却机构相连通设置。
2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备用通风结构，其特征在于，所述防尘机构包括驱动电机(14)，所述驱动电机(14)嵌设安装在分隔板(10)上，且驱动电机(14)的输出轴上固定安装有连接环(8)，所述连接环(8)上固定套设有过滤网环(4)。
3.根据权利要求2所述的一种原子层沉积设备用通风结构，其特征在于，所述通风管(3)的端口侧壁上开设有环形槽(9)，所述过滤网环...
【专利技术属性】
技术研发人员：南炳允，张小强，金在宽，
申请(专利权)人：东领科技装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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