【技术实现步骤摘要】
本技术涉及喷淋装置，具体涉及一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备。
技术介绍
1、原子层沉积设备是一种用于薄膜生长的高精度化学气相沉积技术。它具有逐层反应的特点，通过交替注入不同的前体材料和气体，使得薄膜在原子尺度上逐步生长。在ald工艺过程中，化学反应前驱体通常通过安装在反应腔顶部的喷淋装置进入反应腔发生薄膜沉积反应。
2、公开号为cn115404463a的中国专利文件公开了一种原子层沉积喷淋装置，包括若干个第一导气柱阵列，每个第一导气柱阵列包括若干个第一导气柱；若干个第二导气柱阵列，每个第二导气柱阵列包括若干个第二导气柱；第一导气柱阵列和第二导气柱阵列间隔交替排布；冷却组件，包括若干个第一冷却带和若干个第二冷却带；第一冷却带与第一导气柱阵列一一热接触对应。针对上述技术方案，在使用中存在如下缺陷：若发生化学反应前驱体在原子层沉积喷淋装置内发生冷凝，不仅严重影响薄膜厚度和组分的均匀性，长期还会堵塞喷淋装置，但现有的喷淋设备在发生堵塞后，往往需要人工进行疏通，疏通清理过程十分麻烦，费时费力，影响喷淋设备正常使用。
3、为此提出一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：为解决上述
技术介绍
中提到的问题，本技术提供了一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备。
2、本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
3、一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，包括进水管，所述进水管的下方设置有连接管，所述进水管和连接管之间设置有用于对喷淋
4、进一步地，所述过滤机构包括过滤管，且过滤管与进水管螺纹连接，且过滤管与连接管活动插接，所述过滤管的内壁活动卡接有过滤芯。
5、进一步地，所述过滤管的内壁固定连接有密封圈，且密封圈为橡胶材质。
6、进一步地，所述高度调节组件包括安装盒，且安装盒的数量为两个，且安装盒的内壁与连接柱表面滑动连接，所述安装盒的侧面固定连接有安装耳，所述安装盒内壁转动连接有螺纹柱，且螺纹柱与左侧的连接柱螺纹连接，所述螺纹柱的底部固定连接有旋钮。
7、进一步地，所述自动清理组件包括电动推杆，且电动推杆固定安装在喷淋盘的顶面，所述电动推杆的伸缩端端部固定连接有固定架，且固定架与喷淋盘的内壁滑动连接，所述固定架的底部固定连接有插柱，且插柱与出水孔内壁活动插接。
8、进一步地，所述出水孔和插柱的数量相同，且出水孔和插柱均呈阵列状分布。
9、本技术的有益效果如下：
10、本技术通过进水管引入喷淋液，通过过滤机构和连接管可将喷淋液导入喷淋盘的内部，再通过出水孔可将液体喷出，对原子层沉积材料进行喷淋，通过过滤机构可对喷淋液中的杂质进行过滤，降低出水孔堵塞概率，通过高度调节组件可控制连接柱下降，带动喷淋盘和连接管下降，即可带动连接管脱离过滤机构的底部，将过滤机构从进水管表面拆卸后，可对过滤机构进行更换，反向操作可对过滤机构进行重新安装，当出水孔发生堵塞后，通过自动清理组件可对出水孔进行疏通清理，在使用中实现了便于在喷淋设备发生堵塞后进行快速疏通的效果，操作起来十分简单，疏通清理过程更加省时省力，避免了因堵塞对喷淋设备正常使用造成影响。
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1.一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，其特征在于，包括进水管(1)，所述进水管(1)的下方设置有连接管(2)，所述进水管(1)和连接管(2)之间设置有用于对喷淋液进行过滤的过滤机构(4)，所述连接管(2)的底部固定连接有喷淋盘(3)，所述喷淋盘(3)的顶部固定连接有连接柱(5)，所述连接柱(5)表面设置有用于调节连接柱(5)高度的高度调节组件(6)，所述喷淋盘(3)的底部贯通开设有出水孔(7)，所述喷淋盘(3)表面设置有用于对出水孔(7)进行疏通的自动清理组件(8)。
2.根据权利要求1所述的一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，其特征在于，所述过滤机构(4)包括过滤管(401)，且过滤管(401)与进水管(1)螺纹连接，且过滤管(401)与连接管(2)活动插接，所述过滤管(401)的内壁活动卡接有过滤芯(402)。
3.根据权利要求2所述的一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，其特征在于，所述过滤管(401)的内壁固定连接有密封圈(403)，且密封圈(403)为橡胶材质。
4.根据权利要求1所述的一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，其特征在于，所述高度
5.根据权利要求1所述的一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，其特征在于，所述自动清理组件(8)包括电动推杆(801)，且电动推杆(801)固定安装在喷淋盘(3)的顶面，所述电动推杆(801)的伸缩端端部固定连接有固定架(802)，且固定架(802)与喷淋盘(3)的内壁滑动连接，所述固定架(802)的底部固定连接有插柱(803)，且插柱(803)与出水孔(7)内壁活动插接。
6.根据权利要求5所述的一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，其特征在于，所述出水孔(7)和插柱(803)的数量相同，且出水孔(7)和插柱(803)均呈阵列状分布。
...【技术特征摘要】
1.一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，其特征在于，包括进水管(1)，所述进水管(1)的下方设置有连接管(2)，所述进水管(1)和连接管(2)之间设置有用于对喷淋液进行过滤的过滤机构(4)，所述连接管(2)的底部固定连接有喷淋盘(3)，所述喷淋盘(3)的顶部固定连接有连接柱(5)，所述连接柱(5)表面设置有用于调节连接柱(5)高度的高度调节组件(6)，所述喷淋盘(3)的底部贯通开设有出水孔(7)，所述喷淋盘(3)表面设置有用于对出水孔(7)进行疏通的自动清理组件(8)。
2.根据权利要求1所述的一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，其特征在于，所述过滤机构(4)包括过滤管(401)，且过滤管(401)与进水管(1)螺纹连接，且过滤管(401)与连接管(2)活动插接，所述过滤管(401)的内壁活动卡接有过滤芯(402)。
3.根据权利要求2所述的一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，其特征在于，所述过滤管(401)的内壁固定连接有密封圈(403)，且密封圈(403)为橡胶材质。
4.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：金在宽，宋广伟，刘载安，
申请(专利权)人：东领科技装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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