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本技术公开了一种喷淋均匀的原子层沉积喷淋设备，涉及喷淋装置技术领域。本技术，包括进水管，所述进水管的下方设置有连接管，所述进水管和连接管之间设置有用于对喷淋液进行过滤的过滤机构，所述连接管的底部固定连接有喷淋盘，所述喷淋盘的顶部固定连接有连...
该专利属于东领科技装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东领科技装备有限公司授权不得商用。

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