【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种生产线，尤其涉及一种蒸发真空设备生产线，应用于高真空蒸镀设备。
技术介绍
1、真空蒸镀是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。真空蒸镀是用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
2、真空蒸发镀膜设备的主体是腔室，并以腔室为依托集成而搭建真空系统、加热系统、冷却系统、传输系统、蒸发源和工艺监测设备。腔室主体为金属钣金焊件成的真空腔室，分为蒸发腔和非蒸发腔室两种。其中，蒸发源设于蒸发腔中，蒸发源加热器工作时产生的高温，可达500℃以上，对蒸发源外壳产生高温烘烤，因此需要对外壳进行整体降温。但是常规的冷却方式仅对密封部位进行水冷降温，或者单一的整体水冷，很难保证外壳被均匀降温，从而可能影响加热器的加热均匀性，进而影响镀膜设备性能。常用蒸发源坩埚高度无法调节或者调节结构复杂，导致蒸发源组装难度提高，继而使蒸发设备工艺参数调节方式受到一定限制。比如冷却系统一般设置在坩埚的下方，如果不能简单可靠地调节蒸发源坩埚高度，尽量使得坩埚靠近冷却系统，显然会极大地影响冷却效果。
3、此外，传输系统主要是确保产品在真空状态下平稳输送，由于传动需要持续旋转，以常见方式驱动难于保证在腔室外压差不变的情况下完成平稳输送，无法实现高压差下的完全密封，而且腔室内温度接近200-500℃。因此，如何改进传输系统，解决密封和耐高温的问题，一直是本领域的重点研究对象，并在持续进行改进。
1、本专利技术所要解决的技术问题是提供一种蒸发真空设备生产线，不但适合在高温状态下稳定运行，有较好的密封性，能有效解决真空状态下的冷却及输送问题，而且输送能量转换率高，方便拆卸和维护。
2、本专利技术为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种蒸发真空设备生产线，包括依次相连的上料平台、进料腔体、第一缓冲腔体、工艺镀膜腔体、第二缓冲腔体、出料腔体和卸料平台；所述工艺镀膜腔体中设置有蒸发源，所述进料腔体和出料腔体的两侧设置有闸阀，各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形成真空腔室，所述真空腔室的两侧设置传动输送装置带动真空腔室内的输送载盘向前输送，每个腔体上至少设置一路冷却管道。
3、进一步地，所述工艺镀膜腔体为蒸发腔，所述蒸发腔底部设有斜面，所述蒸发源安装在蒸发腔的正下方或斜下方形成不同的镀膜角度；所述蒸发源外设置外壳圆周本体，所述外壳圆周本体的下方设置有底部法兰盘，所述外壳圆周本体上设置有第一冷却器，所述底部法兰盘上设置有第二冷却器，所述底部法兰盘的中央和加热器的正下方设置有加热器支撑架，所述加热器支撑架上设置有第三冷却器；所述第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器独立冷却或选择性串联后进行冷却。
4、进一步地，所述第一冷却器包括内圆柱筒和外圆柱筒，所述内圆柱筒和外圆柱筒的一端焊接上封板，另一端焊接下封板形成第一冷却夹层，所述下封板上引出有第一进水管和第一出水管；所述第一进水管和第一出水管对称分布在外壳圆周本体的两侧；所述底部法兰盘内设置冷却水道形成所述第二冷却器，所述冷却水道的一端为第二进水管，另一端为第二出水管；所述冷却水道围绕底部法兰盘外圆周延伸一圈，所述第二进水管和第二出水管并排布置在一个电极旁；所述加热器支撑架上形成有第二冷却夹层，所述第二冷却夹层上引出第三进水口和第三出水口。
5、进一步地，所述蒸发源为坩埚并设置高度调节装置，所述高度调节装置包括坩埚底托，所述坩埚底托通过连接杆和调节螺栓相连，所述调节螺栓与蒸发源的底部法兰螺纹连接，所述调节螺栓上套设锁紧螺母，通过旋转调节螺栓进行高度调节并通过锁紧螺母锁定调整后的整体高度；所述调节螺栓上形成有凹槽，所述凹槽内设置有密封圈与蒸发源外壳的底部形成径向密封；所述坩埚底托与蒸发源坩埚底部部分接触形成隔热空腔。
6、进一步地，所述电极为带密封的可调整电极，所述电极包括电极主体和橡胶密封件，所述橡胶密封件套设于电极主体外；所述电极主体包括石墨电极和电极杆，所述石墨电极和电极杆通过电极螺杆相连进行长度调节，并通过调节锁紧螺母锁紧长度；所述橡胶密封件置于法兰螺套和密封锁紧螺母之间，所述法兰螺套焊接在外壳法兰上；所述法兰螺套和密封锁紧螺母螺纹连接，挤压橡胶密封件使电极主体与外壳法兰形成密封的整体。
7、进一步地，所述传动输送装置包括机架组件，所述机架组件上设置有腔室组件，所述腔室组件的两侧设置有传动组件；所述传动组件和驱动组件相连，所述驱动组件固定在机架组件；所述腔室组件包括真空腔室和腔室盖板；所述传动组件包括传动主轴、磁耦合旋转轴和输送载盘，所述磁耦合旋转轴的数目为多个，并排安装于真空腔室的两侧，所述输送载盘位于真空腔室内且布置在磁流体旋转轴端部的驱动轮上，所述传动主轴和其中一个磁流体旋转轴通过同步轮相连，相邻两个磁流体旋转轴通过同步带相连带动腔室内的输送载盘向前输送。
8、进一步地，所述驱动组件包括伺服电机和减速机，所述减速机的主动轮通过主动轮同步带再由主动轴张紧组件张紧连接传动组件的第一被动轮和传动主轴；所述伺服电机和减速机固定在电机安装板上，所述主动轮上安装有第一端盖压片，并采用主动轴张紧组件对主动轮同步带进行松边张紧。
9、进一步地，所述磁耦合旋转轴包括基体组件，所述基体组件的一端为传动输入端，另一端为传动输出端；所述基体组件内设置有磁笼组件，所述磁笼组件为非接触式磁笼组件，所述传动输入端由深沟球轴承支撑旋转轴将动力输送至非接触式磁笼，并通过轴承保持支架和基体组件密封相连，所述传动输出端由深沟球轴承支撑旋转轴将动力从磁笼输出，并通过轴承保持支架和基体组件密封相连，所述传动输出端的末端为输送导向装置。
10、进一步地，所述基体组件包括基体和基体壳，所述基体壳内密封设置水冷管路；所述磁笼组件包括磁笼、磁片、分割件和磁片固定盘，所述磁笼贴合设置在基体壳的内壁上，所述磁片通过磁片固定盘呈环绕方式排布在磁笼的内壁上，在静态状态下n极和s极一一相互隔空相吸；所述分割件设置在基体壳和传动输入端之间。
11、进一步地，所述工艺镀膜腔体中安装有膜厚检测传感器，当蒸发源输出的能量超出需求膜厚范围时，所述膜厚检测传感器会实时检测到异常的镀膜厚度并将偏差量反馈至蒸发源能量控制器，蒸发源能量控制器调整输出能量，进而控制蒸发源的蒸发膜厚和蒸发速度，形成镀膜膜厚的实时在线闭环控制；同时所述蒸发源能量控制器与抽真空装置互锁，未达到蒸发工作的真空度时，限制蒸发源工作。
12、本专利技术对比现有技术有如下的有益效果：本专利技术提供的蒸发真空设备生产线，各组件拆卸及维护方便快捷，采用非接触式传动，完全与腔室内部隔断，具有良好的密封性；能有效解决真空状态下的冷却及输送问题，而且输送能量转换率高，方便拆卸和维护。此外，本专利技术还通过对蒸发源所在蒸发腔的冷却部分进行针对性改进，很好地保护蒸发源零部件；既能保证整体冷却的均匀性，又能降低冷却结构的布置难度。
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1.一种蒸发真空设备生产线，其特征在于，包括依次相连的上料平台、进料腔体、第一缓冲腔体、工艺镀膜腔体、第二缓冲腔体、出料腔体和卸料平台；所述工艺镀膜腔体中设置有蒸发源，所述进料腔体和出料腔体的两侧设置有闸阀，各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形成真空腔室，所述真空腔室的两侧设置传动输送装置带动真空腔室内的输送载盘向前输送，每个腔体上至少设置一路冷却管道。
2.如权利要求1所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述工艺镀膜腔体为蒸发腔，所述蒸发腔底部设有斜面，所述蒸发源安装在蒸发腔的正下方或斜下方形成不同的镀膜角度；所述蒸发源外设置外壳圆周本体，所述外壳圆周本体的下方设置有底部法兰盘，所述外壳圆周本体上设置有第一冷却器，所述底部法兰盘上设置有第二冷却器，所述底部法兰盘的中央和加热器的正下方设置有加热器支撑架，所述加热器支撑架上设置有第三冷却器；所述第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器独立冷却或选择性串联后进行冷却。
3.如权利要求2所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述第一冷却器包括内圆柱筒和外圆柱筒，所述内圆柱筒和外圆柱筒的一端焊接上封板，另一端焊接下封
4.如权利要求2所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述蒸发源为坩埚并设置高度调节装置，所述高度调节装置包括坩埚底托，所述坩埚底托通过连接杆和调节螺栓相连，所述调节螺栓与蒸发源的底部法兰螺纹连接，所述调节螺栓上套设锁紧螺母，通过旋转调节螺栓进行高度调节并通过锁紧螺母锁定调整后的整体高度；所述调节螺栓上形成有凹槽，所述凹槽内设置有密封圈与蒸发源外壳的底部形成径向密封；所述坩埚底托与蒸发源坩埚底部部分接触形成隔热空腔。
5.如权利要求3所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述电极为带密封的可调整电极，所述电极包括电极主体和橡胶密封件，所述橡胶密封件套设于电极主体外；所述电极主体包括石墨电极和电极杆，所述石墨电极和电极杆通过电极螺杆相连进行长度调节，并通过调节锁紧螺母锁紧长度；所述橡胶密封件置于法兰螺套和密封锁紧螺母之间，所述法兰螺套焊接在外壳法兰上；所述法兰螺套和密封锁紧螺母螺纹连接，挤压橡胶密封件使电极主体与外壳法兰形成密封的整体。
6.如权利要求1所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述传动输送装置包括机架组件，所述机架组件上设置有腔室组件，所述腔室组件的两侧设置有传动组件；所述传动组件和驱动组件相连，所述驱动组件固定在机架组件；所述腔室组件包括真空腔室和腔室盖板；所述传动组件包括传动主轴、磁耦合旋转轴和输送载盘，所述磁耦合旋转轴的数目为多个，并排安装于真空腔室的两侧，所述输送载盘位于真空腔室内且布置在磁流体旋转轴端部的驱动轮上，所述传动主轴和其中一个磁流体旋转轴通过同步轮相连，相邻两个磁流体旋转轴通过同步带相连带动腔室内的输送载盘向前输送。
7.如权利要求6所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述驱动组件包括伺服电机和减速机，所述减速机的主动轮通过主动轮同步带再由主动轴张紧组件张紧连接传动组件的第一被动轮和传动主轴；所述伺服电机和减速机固定在电机安装板上，所述主动轮上安装有第一端盖压片，并采用主动轴张紧组件对主动轮同步带进行松边张紧。
8.如权利要求6所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述磁耦合旋转轴包括基体组件，所述基体组件的一端为传动输入端，另一端为传动输出端；所述基体组件内设置有磁笼组件，所述磁笼组件为非接触式磁笼组件，所述传动输入端由深沟球轴承支撑旋转轴将动力输送至非接触式磁笼，并通过轴承保持支架和基体组件密封相连，所述传动输出端由深沟球轴承支撑旋转轴将动力从磁笼输出，并通过轴承保持支架和基体组件密封相连，所述传动输出端的末端为输送导向装置。
9.如权利要求8所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述基体组件包括基体和基体壳，所述基体壳内密封设置水冷管路；所述磁笼组件包括磁笼、磁片、分割件和磁片固定盘，所述磁笼贴合设置在基体壳的内壁上，所述磁片通过磁片固定盘呈环绕方式排布在磁笼的内壁上，在静态状态下N极和S极一一相互隔空相吸；所述分割件设置在基体壳和传动输入端之间。
10.如权利要求1所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述工艺镀膜腔体中安装有膜厚检测传感器，当蒸发源输出的能量超出需求膜厚范围时，所述膜厚检测传感器会实时检测到异常的镀膜厚度并将偏差量反馈至蒸发源能量控制器，蒸发源能量控制器调整输出能量，进而控制蒸发源的蒸发膜厚和蒸发速度，形成镀膜膜厚的实时在线闭环控制；同时所述蒸发源能量控制器与抽真空装置互锁，未达到蒸发工...
【技术特征摘要】
1.一种蒸发真空设备生产线，其特征在于，包括依次相连的上料平台、进料腔体、第一缓冲腔体、工艺镀膜腔体、第二缓冲腔体、出料腔体和卸料平台；所述工艺镀膜腔体中设置有蒸发源，所述进料腔体和出料腔体的两侧设置有闸阀，各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形成真空腔室，所述真空腔室的两侧设置传动输送装置带动真空腔室内的输送载盘向前输送，每个腔体上至少设置一路冷却管道。
2.如权利要求1所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述工艺镀膜腔体为蒸发腔，所述蒸发腔底部设有斜面，所述蒸发源安装在蒸发腔的正下方或斜下方形成不同的镀膜角度；所述蒸发源外设置外壳圆周本体，所述外壳圆周本体的下方设置有底部法兰盘，所述外壳圆周本体上设置有第一冷却器，所述底部法兰盘上设置有第二冷却器，所述底部法兰盘的中央和加热器的正下方设置有加热器支撑架，所述加热器支撑架上设置有第三冷却器；所述第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器独立冷却或选择性串联后进行冷却。
3.如权利要求2所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述第一冷却器包括内圆柱筒和外圆柱筒，所述内圆柱筒和外圆柱筒的一端焊接上封板，另一端焊接下封板形成第一冷却夹层，所述下封板上引出有第一进水管和第一出水管；所述第一进水管和第一出水管对称分布在外壳圆周本体的两侧；
4.如权利要求2所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述蒸发源为坩埚并设置高度调节装置，所述高度调节装置包括坩埚底托，所述坩埚底托通过连接杆和调节螺栓相连，所述调节螺栓与蒸发源的底部法兰螺纹连接，所述调节螺栓上套设锁紧螺母，通过旋转调节螺栓进行高度调节并通过锁紧螺母锁定调整后的整体高度；所述调节螺栓上形成有凹槽，所述凹槽内设置有密封圈与蒸发源外壳的底部形成径向密封；所述坩埚底托与蒸发源坩埚底部部分接触形成隔热空腔。
5.如权利要求3所述的蒸发真空设备生产线，其特征在于，所述电极为带密封的可调整电极，所述电极包括电极主体和橡胶密封件，所述橡胶密封件套设于电极主体外；所述电极主体包括石墨电极和电极杆，所述石墨电极和电极杆通过电极螺杆相连进行长度调节，并通过调节锁紧螺母锁紧长度；所述橡胶密封件置于法兰螺套和密封锁紧螺母之间，所述法兰螺套焊接在外壳法兰上；所述法兰螺套和密封锁紧螺母螺纹连接，挤压橡胶密封件使电极主体与外壳法兰形成密封的整体。
6.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：闻益，徐钧，吴宾宾，李仁龙，
申请(专利权)人：浙江晟霖益嘉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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